公开(公告)号：CN203550968U

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201320400110.8

申请日：2013-07-05

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： U.奥斯塞勒奇纳 ,  M.莫茨

IPC: G01D3/036

CPC classification number: G01R33/0029 ,  G01R33/0082 ,  G01R33/072 ,  G01R33/077 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本实用新型涉及包括应力补偿电路的垂直霍尔传感器电路。一种垂直霍尔传感器电路包括第一掺杂型的在半导体衬底内形成且具有相对于霍尔效应相关电特性的应力相关性的垂直霍尔效应区。该垂直霍尔传感器电路还包括应力补偿电路，其包括横向电阻器装置和垂直电阻器装置中的至少一个，分别地用于基于提供给应力补偿电路的基准信号而生成应力相关横向电阻器装置信号，并且用于基于基准信号而生成应力相关垂直电阻器装置信号。该垂直霍尔传感器电路还包括用于基于应力相关横向电阻器装置信号和应力相关垂直电阻器装置信号中的至少一个而向所述装置提供第一信号的第一电路。