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公开(公告)号：KR1019970008414A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950021300
申请日：1995-07-20
IPC: H01L21/3205
Abstract: 본 발명은 Ta와, 금속, 이들 금속의 산화물 또는 금속 산화물의 혼합물로 이루어지는 확산 방지막 및 그것을 포함하는 반도체 소자에 관한 것이다. 상기 금속은 Ce, Zr, Y, Th 또는 Hf이 바람직하며, 금속 산화물은 MO
2-x (M:Ce, Zr, Y, Th 또는 Hf, 0≤x≤1)가 바람직하다.
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