公开(公告)号：KR100585091B1

公开(公告)日：2006-05-30

申请号：KR1020030037860

申请日：2003-06-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김정민 ,  이만영 ,  이승건

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67253 ,  F04B51/00 ,  Y10S134/902

Abstract: 펌프의 이상을 미연에 예측하여, 세정 중 펌프가 돌발적으로 정지되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 세정 장치 및 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 웨이퍼 세정 장치는, 약액이 수용되어 있으며, 웨이퍼가 침지되어 약액에 의해 세정이 진행되는 세정조와, 상기 세정조에서 오버플로우된 약액을 흡입하는 펌프와, 상기 펌프에 의해 흡입된 약액내의 불순물을 여과시키는 필터부와, 상기 필터부에 의해 여과된 약액을 일정 온도로 승온시켜 상기 세정조에 공급하는 히터부, 및 상기 펌프 구동시 동작되며 상기 펌프에 흡입되는 약액의 유량을 연산하여 상기 약액의 유량에 따라 펌프의 이상을 예측하도록 프로그램된 펌프 이상 예측부를 구비한 프로그램이 가능한 로직 제어부 포함한다.
펌프, PLC, 프로그램, 모니터링

公开(公告)号：KR3004112190000S

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR3020050023788

申请日：2005-07-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민 ,  이혜미 ,  최은하

公开(公告)号：KR3004112180000S

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR3020050025099

申请日：2005-07-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 최은하 ,  김정민

公开(公告)号：KR3004112140000S

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR3020050025102

申请日：2005-07-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민 ,  이혜미 ,  박영민

公开(公告)号：KR3004112130000S

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR3020050025101

申请日：2005-07-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민 ,  이혜미 ,  박영민

公开(公告)号：KR3004061380000S

公开(公告)日：2006-02-14

申请号：KR3020050015732

申请日：2005-05-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민 ,  양윤호

公开(公告)号：KR3003913010000S

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：KR3020040036932

申请日：2004-12-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민 ,  양윤호

公开(公告)号：KR3003912990000S

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：KR3020040036645

申请日：2004-11-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민 ,  박영민

公开(公告)号：KR3003823010000S

公开(公告)日：2005-05-30

申请号：KR3020040029755

申请日：2004-09-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 김정민

公开(公告)号：KR3003570850000S

公开(公告)日：2004-07-19

申请号：KR3020030030213

申请日：2003-10-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Designer： 정상욱 ,  김정민