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公开(公告)号：KR1020110075256A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090131665
申请日：2009-12-28
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 세종공업 주식회사
Abstract: PURPOSE: A metal thin-film type strain gage pressure sensor is provided to maintain a sound bonding interface between an insulating layer and a diaphragm in a high-pressure and high-temperature state by improving the material of a junction. CONSTITUTION: A metal thin-film type strain gage pressure sensor includes a diaphragm(7), an insulating layer(5), a junction, and a strain gage(3). The diaphragm has a pressure introducing port. The insulating layer is formed on the diaphragm. The junction is formed between the diaphragm and the insulating layer. The strain gauge is formed on the insulating layer. The junction is formed of Cu-Ni alloy and the Ag-Ti alloy. The Cu-Ni alloy comprises Cu of 65~70 weight% and Ni of 30~35 weight%. The Ag-Ti alloy includes Ti of 93~97 weight%, 8~10 weight% and remnant Ag.
Abstract translation: 目的：提供一种金属薄膜型应变计压力传感器，通过改善结点的材料，在高压和高温状态下，保持绝缘层与隔膜之间的声键合界面。 构成：金属薄膜型应变计压力传感器包括隔膜（7），绝缘层（5），接头和应变计（3）。 隔膜具有压力引入口。 绝缘层形成在隔膜上。 接合处形成在隔膜和绝缘层之间。 应变计形成在绝缘层上。 接头由Cu-Ni合金和Ag-Ti合金形成。 Cu-Ni合金含有65〜70重量％的Cu和30〜35重量％的Ni。 Ag-Ti合金包括93〜97重量％，8〜10重量％的Ti和残余Ag。
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公开(公告)号：KR100919005B1
公开(公告)日：2009-09-24
申请号：KR1020070075390
申请日：2007-07-27
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 세종공업 주식회사
Abstract: 본원 발명은 수소를 검출하는 수소검출센서에 관한 것으로서, 수소 검출을 위한 촉매의 표면적의 증가 및 반응속도와 감도의 향상을 위하여 내측에 도전성 금속물질을 가지는 판구조 또는 침상구조의 촉매를 구비하여 저농도 뿐아니라 고농도에서의 수소의 농도를 검출할 수 있도록 하며, 반응속도 및 감도를 향상시키는 수소검출센서 및 그 제조방법을 제공하는 것을 그 목적으로 하는 것으로서,
상술한 본원발명의 수소검출센서는기판과; 상기 기판의 상부면에 증착 형성되는 산화막과; 상기 산화막의 상부에서 형성되는 적어도 하나 이상의 코일 형태의 히터와; 상기 히터를 포함하여 상기 산화막의 상부에 증착형성되는 절연층과; 상기 절연층의 상부에 형성되는 도전성 금속물질 층인 제 1 반응부와; 상기 제 1 반응부 상에서 포토레지스터(PR: Photo Register)를 매개로 하여 적어도 하나 이상의 판상 또는 침상 구조 중 어느 하나로 형성되는 도전성 금속층인 제 2 반응부와; 상기 제 2 반응부의 표면에 형성되어 수소와 반응하는 촉매물질층인 제 3 반응부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
도전성 금속, 수소검출센서, 백금족 금속, 판상구조, 침상구조, 방열판구조-
公开(公告)号：KR1020090011622A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070075391
申请日：2007-07-27
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 세종공업 주식회사
Abstract: A hydrogen leakage sensor and a method of manufacturing the hydrogen leakage sensor are provided to mass-product sensors requiring reliability by using MEMS(Micro Electro Mechanical System) technology at a low cost, drive the sensors with low power and reduce the size of the sensors. A hydrogen leakage sensor includes an SOI(Silicon On Insulator) substrate(100), a silicon oxide layer(200) formed on both sides of the SOI substrate, a first adhesive layer(300) formed of Ti on the silicon oxide layer, a platinum heater(400) formed on the first adhesive layer, an alumina insulating layer(500) formed on the platinum heater to completely cover the heater, a second adhesive layer(600) formed of Ti on the alumina insulating layer, a platinum group catalytic layer(700) formed on the second adhesive layer, and a back etched part(800) formed at the bottom face of the SOI substrate.
Abstract translation: 将氢泄漏传感器和氢泄漏传感器的制造方法提供给以低成本使用MEMS（微机电系统）技术需要可靠性的大量产品传感器，驱动具有低功率的传感器并减小传感器的尺寸 。 氢泄漏传感器包括SOI（绝缘体上硅）衬底（100），形成在SOI衬底的两侧上的氧化硅层（200），由氧化硅层上的Ti形成的第一粘合剂层（300） 形成在第一粘合剂层上的铂加热器（400），形成在铂加热器上以完全覆盖加热器的氧化铝绝缘层（500），在氧化铝绝缘层上由Ti形成的第二粘合剂层（600） 形成在第二粘合剂层上的层（700）和形成在SOI衬底的底面的背蚀刻部（800）。
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公开(公告)号：KR1020090011621A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070075390
申请日：2007-07-27
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 세종공업 주식회사
Abstract: A hydrogen sensor and a method of manufacturing the hydrogen sensor are provided to improve the sensitivity and reaction speed of the hydrogen sensor by forming a conductive metal layer and reduce the size of a hydrogen sensor chip. A hydrogen sensor includes a substrate(1), an oxide layer(2) evaporated on the surface of the substrate, at least one coil-shaped heater formed on the oxide layer, an insulating layer(4) formed on the oxide layer including the heater, a first reactive part(5) formed of a conductive metal material, a second reactive part formed of a conductive metal material in a plate or needle-like structure, and a third reactive part(7a,7b) corresponding to a catalytic material layer reacting to hydrogen gas on the surfaces of the first and second reactive parts.
Abstract translation: 提供氢传感器和氢传感器的制造方法，以通过形成导电金属层来提高氢传感器的灵敏度和反应速度，并减小氢传感器芯片的尺寸。 氢传感器包括基板（1），在基板的表面上蒸发的氧化物层（2），形成在氧化物层上的至少一个线圈状加热器，形成在氧化物层上的绝缘层（4） 加热器，由导电金属材料形成的第一反应部分（5），由导电金属材料形成为板状或针状结构的第二反应部分和对应于催化材料的第三反应部分（7a，7b） 层在第一和第二反应部分的表面上与氢气反应。
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公开(公告)号：KR100795845B1
公开(公告)日：2008-01-21
申请号：KR1020010048554
申请日：2001-08-11
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: G01B11/30
Abstract: 본 발명은 열연판의 이송속도를 검출하는 엔코더와, 상기 이송되는 열연판에 빛을 조사하는 조명등과, 상기 조명등에 의해 빛이 조사되는 열연판의 부위를 촬상하고 이에 해당된 전기적인 신호를 출력하는 영상촬상부와, 상기 영상촬상부에서 출력되는 신호를 영상신호로 처리하는 제1, 2 영상신호처리부와, 상기 제1, 2 영상신호처리부에서 출력되는 영상신호와 기준영상신호를 비교하여 열연판에 결함부위가 있는 가를 판단함과 동시에 상기 엔코더에서 출력되는 데이터에 따라 영상촬영부에서 촬영되는 열연판의 폭을 결정하는 제어신호를 공급하는 시스템콘트롤러와, 상기 시스템콘트롤러에서 판단한 결과 열연판에 결함부위가 있을 때 출력되는 제어신호에 의해 결함부위의 영상신호를 기입하는 데이터 저장부와, 상기 데이터 저장부에 저장된 영상신호나 영상촬영부에서 촬영한 열연판의 정지화상을 연속적으로 디스플레이 하는 결함표시용 모니터로 구성되어, 열연판의 결함부위를 원격으로 검사하는 열연판 표면의 원격검사 장치에 관한 것이다.
열연판, 조명등, 시스템콘트롤러, 영상촬상부, 이송롤, 엔코더-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100655887B1
公开(公告)日：2006-12-11
申请号：KR1020040069823
申请日：2004-09-02
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: H01L41/107 , H01L41/187
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은, 고효율 로젠형 압전 변압기에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 원판형 압전체의 중앙에 홀을 형성하고, 상기 홀의 내면에 전극을 설치하여 입력부와 출력부 사이의 정전용량 값의 차이가 최대가 되게 함으로써, 승압 및 감압 특성이 모두 향상됨과 동시에, 압전체의 구동시 원판형 압전체의 중앙부에 집중되는 역학적 스트레스를 완화시키고, 압전체의 고정이 용이하도록 하기 위한, 고효율 로젠형 압전 변압기를 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 고효율 로젠형 압전 변압기에 있어서, 소정의 크기의 직경과 두께를 가지는 원판형으로, 그 원판형의 중심부에 소정의 크기의 직경을 가지는 원통형의 홀이 형성된, 세라믹 재질의 압전체; 상기 홀의 내면을 따라 배치된 입력전극; 상기 입력전극과 일정한 절연 간격을 유지하도록, 상기 압전체의 일면에 배치된 출력전극; 및 상기 입력전극과 일정한 절연 간격을 유지하고, 상기 출력전극과 중첩되도록, 상기 압전체의 타면에 배치된 공통전극을 포함함.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 휴대용 정보통신 기기 등에 이용됨.
압전 변압기, 로젠형, 세라믹, 입력전극, 출력전극, 공통전극-
公开(公告)号：KR1020060021982A
公开(公告)日：2006-03-09
申请号：KR1020040070719
申请日：2004-09-06
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
CPC classification number: G01J5/08 , H01L21/7624 , H01L35/32
Abstract: 본 발명은 멤브레인 구조의 고온부를 지지하는 실리콘지지대를 추가하여 구성한 써모파일 적외선 센서에 관한 것이다.
본 발명에 따른 써모파일 적외선 센서는, 실리콘 기판 상에 실리콘전극과 알루미늄으로 이루어상 열전쌍들을 포함하며, 멤브레인 구조의 중앙의 고온부와 상기 고온부의 양 측면에 형성된 저온부를 포함하는 써모파일 적외선 센서에, 상기 열전쌍들 사이에 상기 고온부와 저온부를 연결하는 실리콘 지지대를 더 형성한다.
멤브레인, 써모파일, 적외선 센서, 열전쌍, 제백효과, 지지대-
公开(公告)号：KR1020060021026A
公开(公告)日：2006-03-07
申请号：KR1020040069824
申请日：2004-09-02
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 주식회사 월텍
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은, 고주파 초음파 센서용 음향 정합층 및 그를 이용한 초음파 센서의 제조 방법에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 기존에 음향 임피던스 정합층으로 사용하고 있는 에폭시와 알루미나 파우더 복합물 이외에 두께 조절과 공정이 아주 용이한 실리콘 웨이퍼를 음향 정합층으로 사용함으로써, 광대역 특성을 갖는 동시에 상대적으로 높은 감도를 가지도록 하기 위한, 고주파 초음파 센서용 음향 정합층을 제공하는데 그 목적이 있음.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 압전 세라믹 및 상기 압전 세라믹의 일면에 도포되는 텅스턴이 섞인 고무 재질의 후면재를 포함하여 구성되며, 결합재와의 임피던스 정합을 위한 고주파 초음파 센서의 음향 정합층에 있어서, 상기 압전 세라믹의 다른 일면에 접합되도록 배치되며, 그 두께는 파장의 1/4이고, 실리콘 웨이퍼 재질인 제 1정합층; 상기 결합재와 접합되는 지연재-상대적으로 그 음향 임피던스 및 결합계수가 낮음-; 및 상기 제 1정합층과 상기 지연재 사이에 접합되도록 배치되며, 그 두께는 파장의 1/4이고, 에폭시 복합재 재질인 제 2정합층을 포함함.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 초음파 센서 등에 이용됨.
광대역, 초음파 센서, 음향 정합층, 실리콘 웨이퍼-
公开(公告)号：KR100545017B1
公开(公告)日：2006-01-24
申请号：KR1020030095283
申请日：2003-12-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: G01N31/00
Abstract: 본 발명은 측정용액의 이온의 농도나 기타 측정 대상물질의 기준을 형성하여 안정적인 측정을 가능케 하는 액간 접촉부가 구비된 박막형 액간 접촉부가 구비된 화학센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상하로 개방된 홀이 구비된 실리콘 구조물; 상기 홀의 내벽에 형성된 기준전극; 상기 기준전극의 상단에 와이어 본딩되어 외부로 인출된 전선; 상기 홀 하부를 막도록 실리콘 구조물의 하부면에 접착된 다공성 유리막; 상기 홀 상부를 밀봉하도록 실리콘 구조물의 상부면에 접착된 밀봉층; 및 상기 홀 내부에 충진된 기준용액을 포함하여 구성된 화학센서 및 이의 제조를 위한 방법에 관한 것이다.
화학센서, 실리콘 구조물, 액간 접촉부, 다공성 유리막-
公开(公告)号：KR100489303B1
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020020082791
申请日：2002-12-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: G01N27/407
Abstract: 본 발명은 다이아몬드 필름 가스 센서 및 이 센서의 제조방법에 관한 것으로서, 상·하부 Si 웨이퍼, SiO
2 박막, 폴리실리콘 박막과 다이아몬드 필름 감지막을 상하로 관통하는 관통구를 포함하고, 다이아몬드 필름 감지막의 관통구의 가장자리를 머리빗 형태(comb style)로 성형함으로써, 가스의 흐름을 원활하게 하기 위한 별도의 추가 장치를 설치하지 않더라도 가스 검출을 위한 다이아몬드 필름 감지막에 도달되는 가스의 흐름을 원활하게 함과 아울러 가스와 반응하는 박막의 표면적을 증가시킴으로써 검출대상가스를 보다 높은 감도로 검출할 수 있다.
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