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公开(公告)号：KR1020160004595A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：KR1020140083093
申请日：2014-07-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 공정챔버에서발생하는각종유해물질을진공펌프의전단에서분해및 제거하기위한플라즈마반응기를제공한다. 플라즈마반응기는내부공간을가지는절연체와, 절연체의적어도한 단부에연결되는접지전극과, 절연체의외면에고정되고전원부와연결되어교류(AC) 또는고주파(RF) 전압을인가받는구동전극과, 산소를포함하는제1 반응가스주입을위한제1 주입부와, 수소또는탄화수소를포함하는제2 반응가스주입을위한제2 주입부를포함한다. 제1 주입부와제2 주입부는서로이격되며, 제1 반응가스와제2 반응가스중 어느하나는다른하나보다플라즈마에의해먼저해리된다.
Abstract translation: 提供了一种用于分解和除去在真空泵的前端处理室中产生的各种危险材料的等离子体反应器。 等离子体反应器包括：具有内部空间的绝缘体; 连接到所述绝缘体的至少一个端部的接地电极; 驱动电极，其被固定在绝缘体的外表面上，并连接到电源单元以接收交流（AC）或射频（RF）电压; 用于注入含氧的第一反应气体的第一注入单元; 以及用于注入含有氢或烃的第二反应气体的第二注射单元。 第一注射单元和第二注射单元彼此间隔开，并且第一反应气体和第二反应气体中的任何一个通过等离子体彼此分离。
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公开(公告)号：KR101582628B1
公开(公告)日：2016-01-05
申请号：KR1020140026076
申请日：2014-03-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의일 실시예는구동전극에인가되는전압을저전압으로가능하게하고, 구동전극과접지전극사이에적용할수 있는단위촉매의개수를증대시키는플라즈마촉매반응기를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마촉매반응기는, 서로의사이에설정되는갭에서발생하는플라즈마와자체의촉매반응을이용하여, 내부를통과하는배출가스에포함된유해기체를저감시키는복수의단위촉매, 상기복수의단위촉매의갭들중 적어도어느한 갭에배치되어구동전압을인가하는구동전극, 및상기복수의단위촉매의최외곽양단에배치되어상기구동전극과의사이에전위차를설정하는접지전극을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150104396A
公开(公告)日：2015-09-15
申请号：KR1020140026076
申请日：2014-03-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예는 구동 전극에 인가되는 전압을 저전압으로 가능하게 하고, 구동 전극과 접지 전극 사이에 적용할 수 있는 단위 촉매의 개수를 증대시키는 플라즈마 촉매 반응기를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 촉매 반응기는, 서로의 사이에 설정되는 갭에서 발생하는 플라즈마와 자체의 촉매 반응을 이용하여, 내부를 통과하는 배출 가스에 포함된 유해 기체를 저감시키는 복수의 단위 촉매, 상기 복수의 단위 촉매의 갭들 중 적어도 어느 한 갭에 배치되어 구동 전압을 인가하는 구동 전극, 및 상기 복수의 단위 촉매의 최외곽 양단에 배치되어 상기 구동 전극과의 사이에 전위차를 설정하는 접지 전극을 포함한다.
Abstract translation: 本发明的一个实施方案提供一种等离子体催化反应器，其使得能够以低电压施加施加到驱动电极的电压，并且增加可施加在驱动电极和接地电极之间的单元催化剂的数量。 根据本发明的实施方案，等离子体催化反应器包括：多个单元催化剂，其通过使用发生在单元催化剂之间的间隙中的等离子体的催化反应来减少通过内部的废气中包含的有害气体; 所述驱动电极布置在所述单元催化剂的间隙中的至少任一个间隙中，并施加所述驱动电压; 以及布置在单元催化剂的两个最外端的接地电极，并且设置驱动电极之间的电位差。
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公开(公告)号：KR101542896B1
公开(公告)日：2015-08-07
申请号：KR1020140052437
申请日：2014-04-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H05H1/34 , H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H05H1/34 , H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 공정챔버로부터진공펌프를향하는공정가스의배출경로상에설치되어공정가스에포함된오염물질을제거하는플라즈마반응기를제공한다. 플라즈마반응기는내부로공정가스가통과하는관 모양의접지전극과, 접지전극내부의공정가스스트림을가로지르도록절연체를통해접지전극에연결설치되며교류전원부와연결되어교류구동전압을인가받는판 모양의구동전극과, 구동전극의표면을덮어보호하는보호부를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种等离子体反应器，其安装在处理气体从处理室到真空泵的排放路径上并且去除处理气体中包括的污染物。 等离子体反应器包括处理气体通过的管状接地电极，通过绝缘体与接地电极连接以跨过接地电极中的工艺气体流的平面驱动电极连接到AC电源，并接收 AC驱动电压，以及通过覆盖驱动电极的表面来保护驱动电极的保护单元。
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公开(公告)号：KR1020150078158A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130167298
申请日：2013-12-30
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: Y02A50/235
Abstract: 본발명의목적은대기중의휘발성유기화합물(VOC), 악취, 미량의일산화탄소(CO) 및탄화수소(HC)를산화시켜제거하는공기청정장치를제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른공기청정장치는, 공기를유통시키는관체, 상기관체에설치되어플라즈마를생성하는플라즈마발생부, 상기플라즈마발생부의일측에서상기관체에설치되어산화촉매작용하는산화촉매부, 및상기관체에설치되어상기공기의흐름을형성하는송풍부를포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种在空气中氧化和除去挥发性有机化合物（VOC），气味和少量一氧化碳（CO）和烃（HC）的空气净化装置。 根据本发明的实施例，空气净化装置包括：用于空气流动的管体; 设置在管体中以产生等离子体的等离子体产生单元; 氧化催化剂单元，其设置在所述管体中，所述氧化催化剂单元围绕所述等离子体发生单元的一侧用作氧化催化剂; 以及设置在管体中以使空气流动的吹风单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101520471B1
公开(公告)日：2015-05-14
申请号：KR1020130111356
申请日：2013-09-16
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 대면적 피처리 기판의 표면 처리 효율을 높일 수 있는 유전체 장벽 방전 반응기를 제공한다. 유전체 장벽 방전 반응기는, 방전 가스가 제공되는 중앙 슬릿을 사이에 두고 대향 배치되며 각자의 유전체로 둘러싸인 제1 및 제2 구동 전극과, 방전 공간을 사이에 두고 제1 및 제2 구동 전극과 대향 배치되고 피처리 기판을 지지하는 접지 전극을 포함한다. 제1 및 제2 구동 전극과 접지 전극 사이의 거리는 제1 구동 전극과 제2 구동 전극 사이의 거리보다 작다.
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公开(公告)号：KR101512160B1
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020130031024
申请日：2013-03-22
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의목적은공급되는요소(urea)수로부터암모니아를생성하여에스씨알촉매에공급하여배기가스중의질소산화물을제거하는플라즈마 SCR 시스템을제공하는것이다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마에스씨알시스템은, 방전간극주위에연료를공급하여플라즈마로화염을형성하는플라즈마버너, 상기플라즈마버너의일측으로배기가스를공급하는제1 배기가스라인, 상기플라즈마버너를경유하는상기배기가스에상기플라즈마버너에서토출되는화염을작용시켜가열된배기가스를배출하는제2 배기가스라인, 상기제2 배기가스라인에설치되어요소수를공급하여, 상기배기가스에의하여상기요소수로부터암모니아를생성시켜촉매환원제로공급하는요소수공급부, 및상기요소수공급부의일측에서상기제2 배기가스라인에구비되어상기배기가스에포함된질소산화물을환원시키는촉매를포함한다.
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公开(公告)号：KR101453856B1
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：KR1020130022988
申请日：2013-03-04
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H05H1/26 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 공간적으로 균일한 대면적 플라즈마 제트를 구현하기 위한 분사형 플라즈마 발생기를 제공한다. 분사형 플라즈마 발생기는, 내부에 플라즈마 생성 공간을 형성하며 일측에 가스 주입구와 반대편 일측에 가스 배출구를 형성하는 유전 지지체와, 가스 주입구를 관통하면서 적어도 일부가 유전 지지체의 내부에 위치하는 구동 전극과, 유전 지지체 상에서 유전 지지체의 축 방향을 따라 구동 전극과 가스 배출구 사이에 위치하는 접지 전극을 포함한다. 구동 전극은 가스 배출구를 향해 볼록한 곡면부를 형성한다.
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公开(公告)号：KR1020140103814A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：KR1020130098907
申请日：2013-08-21
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B01D53/8643 , B01D53/32 , B01D2257/404 , B01D2257/502 , B01D2257/702 , B01D2259/818
Abstract: Provided is a plasma-catalytic reactor for removing a hazardous ingredient included in an exhaust gas. A plasma-catalytic reactor includes: a catalyst allowing an exhaust gas to pass through internally and reducing a hazardous gas contained in the exhaust gas by using a catalytic reaction; a first electrode disposed along a moving direction of the exhaust gas and separated from the catalyst by a first space; a second electrode contacting an outer surface of the catalyst and disposed in a peripheral direction of the catalyst; a power supply connected to either one of the first or second electrode.
Abstract translation: 提供了用于去除废气中包含的有害成分的等离子体催化反应器。 等离子体催化反应器包括：使废气通过内部通过并通过使用催化反应来还原废气中的有害气体的催化剂; 沿排气的移动方向设置并与第一空间与催化剂分离的第一电极; 与所述催化剂的外表面接触并沿所述催化剂的周向设置的第二电极; 连接到所述第一或第二电极中的任一个的电源。
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公开(公告)号：KR1020140101272A
公开(公告)日：2014-08-19
申请号：KR1020130111354
申请日：2013-09-16
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B01D53/8643 , B01D53/32 , B01D2257/404 , B01D2257/502 , B01D2257/702 , B01D2259/818
Abstract: Provided are an apparatus for reducing a hazardous substance by using a multi-stage catalytic reaction at a low temperature, which is capable of increasing efficiency in reducing a hazardous substance, and a driving method thereof. The apparatus for reducing a hazardous substance includes: a first catalyst section; and a second catalyst section. The first catalyst section includes: a first catalyst disposed in a flow path of an exhaust gas; and a plurality of electrodes installed in the periphery of the first catalyst and causing a plasma discharge in at least one side space of the first catalyst. The second catalyst section includes a second catalyst and is disposed at a rear end of the first catalyst along a flowing direction of the exhaust gas.
Abstract translation: 本发明提供一种通过使用能够提高有害物质的还原效率的低温下的多级催化剂反应来还原有害物质的装置及其驱动方法。 用于减少有害物质的装置包括：第一催化剂部分; 和第二催化剂部分。 第一催化剂部分包括：设置在废气流动路径中的第一催化剂; 以及安装在所述第一催化剂的周围的多个电极，并且在所述第一催化剂的至少一个侧面空间中产生等离子体放电。 第二催化剂部分包括第二催化剂，并且沿排气的流动方向设置在第一催化剂的后端。
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