公开(公告)号：JP2009300419A

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：JP2008311057

申请日：2008-12-05

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  YOSHINO TAKAFUMI ,  HIROSE MAKI ,  ITO MASASHI

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0297 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/1814 ,  G02B5/1852 ,  G02B5/1861 ,  G02B7/025 ,  G02B27/4244

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscopic module capable of being easily assembled with reliability maintained.
SOLUTION: The spectroscopic module 1 is provided with a substrate 2 for transmitting light L1 incident from a front surface 2a; a lens part 3 for transmitting light L1 incident onto the substrate 2; a spectroscopic part 4 for dispersing and reflecting light L1 incident onto the lens part 3; and a photo-detection element 5 for detecting light L2 reflected by the spectroscopic part 4. The substrate 2 is provided with a recession part 19 having a prescribed positional relation to alignment marks 12a, 12b, etc. to be reference parts for positioning the photo-detection element 5, and the lens part 3 is fitted in the recession part 19. Only fitting the lens part 3 in the recession part 19, the spectroscopic part 4 and the photo-detection element 5 are passively aligned to each other in the spectroscopic module 1.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够容易地组装并且可靠性保持的光谱模块。 解决方案：分光模块1设置有用于透射从前表面2a入射的光L1的基板2; 用于透射入射到基板2上的光L1的透镜部分3; 用于分散和反射入射到透镜部分3上的光L1的分光部分4; 以及用于检测由分光部4反射的光L2的光检测元件5.基板2设置有与对准标记12a，12b等具有规定位置关系的凹部19，作为用于定位照片的基准部 - 检测元件5，并且透镜部分3装配在凹陷部分19中。仅将折射部分19，分光部分4和光检测元件5中的透镜部分3配合在光谱中彼此被动对准 模块1.版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2015014546A

公开(公告)日：2015-01-22

申请号：JP2013142164

申请日：2013-07-05

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

Abstract: 【課題】好適なナノギャップによって表面増強ラマン散乱の強度を増大させることができる表面増強ラマン散乱素子を提供する。【解決手段】SERS素子2は、表面21aを有する基板21と、表面21a上に形成され、複数のピラー27を有する微細構造部24と、微細構造部24上に形成され、表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部20を構成する導電体層23と、を備える。導電体層23は、表面21aに沿うように形成されたベース部28と、ピラー27のそれぞれに対応する位置においてベース部28から突出する複数の突出部29と、を有する。ベース部28には、ピラー27が突出する方向から見た場合にピラー27のそれぞれを包囲するように複数の溝28aが形成されており、突出部29の端部29aは、対応する溝28a内に位置している。【選択図】図5

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够通过合适的纳米凹槽增加表面增强拉曼散射的强度的表面增强拉曼散射元件。解决方案：SERS元件2包括：具有表面21a的基板21; 精细结构部分24，其形成在表面21a上并且包括多个柱27; 以及导体层23，其形成在精细结构部分24上并构成导致表面增强的拉曼散射的光学功能部分20。 导体层23包括沿着表面21a形成的基部28，以及从基部28在与各个柱27相对应的位置处突出的多个突起29.基部28包括多个凹槽28a， 从支柱27的突出方向看，各支柱27和每个突起29的端部29a位于相应的槽28a的内部。

公开(公告)号：JP2014196975A

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：JP2013073315

申请日：2013-03-29

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  OFUJI KAZUTO ,  OYAMA YASUO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65 ,  G01N21/03

CPC classification number: G01N21/658 ,  B01L9/52 ,  B01L2200/18 ,  B01L2300/041 ,  B01L2300/0858 ,  G02B21/34

Abstract: 【課題】運搬時における表面増強ラマン散乱素子の破損及び光学機能部の劣化を抑制することができる表面増強ラマン散乱ユニット、並びにそのような表面増強ラマン散乱ユニットを用いたラマン分光分析方法を提供する。【解決手段】SERSユニット1Aは、基板21と、基板21上に形成され、表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部20と、を有するSERS素子2と、運搬時にSERS素子2を支持し、測定時にSERS素子2が取り外される運搬用基板3と、運搬用基板3とでSERS素子2を挟持する挟持部41を有し、SERS素子2を運搬用基板3において着脱可能に保持する保持部4と、を備える。【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种表面增强拉曼散射单元，其能够抑制表面增强拉曼散射元件的破坏和运输期间光学功能部件的劣化，并提供使用表面增强拉曼散射单元的拉曼光谱法。 ：表面增强拉曼散射（SERS）单元1A包括：具有基板21和形成在基板21上并引起表面增强拉曼散射的光学功能部分20的SERS元件2; 运输基板3，其在运输期间支撑SERS元件2，并且在开始测量时从SERS元件2移除; 以及具有夹持部41的夹持部4，夹持部41将SERS元件2与输送基板3一起夹持，并将SERS元件2保持为可拆卸地安装在输送基板3上。

公开(公告)号：JP2014037972A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178768

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MAKI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N2201/061

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of stabilizing characteristics of surface enhanced Raman scattering.SOLUTION: An SERS (surface enhanced Raman scattering) unit comprises: a molded layer 5 having a fine structural part 8 and a conductor layer formed on the fine structural part 8; and an optical functional part 10 inducing surface enhanced Raman scattering. In the SERS unit, in particular, the thickness T5 of the molded layer 5 is configured to be relatively small in a center portion 5b of a fine structural area A5 and relatively large in an outer edge portion 5a. Thereby, in the center portion 5b that chiefly contributes to the surface enhanced Raman scattering, a deformation amount by thermal expansion can be reduced, while distortion due to the difference in the thermal expansion coefficient between the outer edge portion 5a and the substrate 4 can be mitigated. By using the SERS unit, characteristics of surface enhanced Raman scattering can be stabilized.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够稳定表面增强拉曼散射特性的表面增强拉曼散射单元。解决方案：SERS（表面增强拉曼散射）单元包括：具有精细结构部分8和导体层的模制层5 形成在细结构部分8上; 以及引起表面增强的拉曼散射的光学功能部件10。 在SERS单元中，特别地，成形层5的厚度T5在细结构区域A5的中心部分5b中相对较小，并且在外边缘部分5a中相对较大。 因此，在主要对表面增强的拉曼散射有贡献的中心部分5b中，通过热膨胀的变形量可以减小，而由于外边缘部分5a和基板4之间的热膨胀系数的差异可以是 缓解。 通过使用SERS单元，可以稳定表面增强拉曼散射的特性。

公开(公告)号：JP2014037971A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178767

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI ,  HIROHATA TORU ,  KAMEI HIROKI

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N2201/068

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of enhancing the intensity of surface enhanced Raman scattering by a suitable nanogap.SOLUTION: An SERS (surface enhanced Raman scattering) unit comprises: a substrate 4; a fine structural part 7 formed on a surface 4a of the substrate 4 and having a plurality of pillars 11; and a conductor layer 6 formed on the fine structural part 7 and constituting an optical functional part 10 to induce surface enhanced Raman scattering. The conductor layer 6 includes a base part formed along the surface 4a of the substrate 4 and a protruding part protruding from the base part at a position corresponding to the pillar 11. A gap G is formed by the base part and the protruding part in the conductor layer 6, in which the clearance in the protruding direction of the pillar 11 gradually decreases.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够通过合适的纳米胶增强表面增强拉曼散射强度的表面增强拉曼散射单元。解决方案：SERS（表面增强拉曼散射）单元包括：基板4; 形成在基板4的表面4a上并具有多个支柱11的精细结构部分7; 以及形成在微细结构部分7上并构成光学功能部分10以引起表面增强的拉曼散射的导体层6。 导体层6包括沿着基板4的表面4a形成的基部和从与基部11对应的位置从基部突出的突出部。间隙G由基部和突出部形成在 导体层6，其中柱11的突出方向上的间隙逐渐减小。

公开(公告)号：JP2012208134A

公开(公告)日：2012-10-25

申请号：JP2012173053

申请日：2012-08-03

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  SUZUKI TOMOHITO ,  ITO MASASHI

IPC: G01J3/12 ,  G01J3/36

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscope which can be miniaturized, while maintaining reliability.SOLUTION: A spectroscope 1 includes: a package 2 having a cap 4 provided with a light guide part 7 and a stem 5; a support member 29 supported by the stem 5 within the package 2; a substrate 11 supported by the support member 29; a photo detector element 12 mounted on the substrate 11; and a spectroscopic part 13 which is disposed between the substrate 11 and the stem 5 and disperses light incident from the light guide part 7 to be reflected on the photo detector element 12.

Abstract translation: 要解决的问题：提供可以小型化的分光器，同时保持可靠性。 分析仪1包括：具有盖4的包装2，其设置有导光部7和杆5; 由包装件2内的杆5支撑的支撑构件29; 由支撑构件29支撑的基板11; 安装在基板11上的光检测元件12; 以及设置在基板11和杆5之间的分光部13，并分散从光导部7入射的光以被反射到光检测元件12上。（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009300417A

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：JP2008311020

申请日：2008-12-05

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  YOSHINO TAKAFUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  ITO MASASHI ,  UI ANNA

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G02B7/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0297 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/1814 ,  G02B7/025 ,  Y10T156/10

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscopic module manufacturing method and a spectroscopic module capable of making light appropriately incident onto a main body part. SOLUTION: A photo-detection unit 10 constituted by pasting a photo-detection element 5 and a light transmission plate 56 to each other is pasted to the front surface 2a of a substrate 2 by an optical plastic agent 63 in the method for manufacturing the spectroscopic module 1. Since a light passage hole 50 of the photo-detection element 5 is covered with the light transmission plate 56 at this time, the optical plastic agent 63 is prevented from entering the light passage hole 50. Since the light passage hole 50 is formed in a semiconductor substrate 91 after the semiconductor substrate 91 provided with a photo-detection part 5a and the light transmission plate 56 are pasted to each other at the preparation of the photo-detection unit 10, it is possible to reliably prevent anything that could cause the occurrence of refraction, scattering, etc. from entering the light passage hole 50. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够适当地入射到主体部分上的光的光谱模块制造方法和分光模块。 解决方案：通过将光检测元件5和透光板56彼此粘贴而构成的光检测单元10通过光学塑料剂63粘贴到基板2的前表面2a上， 由于光检测元件5的光通过孔50此时被透光板56覆盖，所以防止光学塑料剂进入光通路孔50.由于光通过 在准备光电检测单元10时，在设置有光检测部分5a和透光板56的半导体基板91彼此粘贴之后，在半导体基板91中形成孔50，可以可靠地防止 任何可能导致折射，散射等进入光通过孔50的物体。（C）2010，JPO＆INPIT