避免沉积厚膜发生脱层的方法及其制造的太阳能电池

    公开(公告)号:CN100461466C

    公开(公告)日:2009-02-11

    申请号:CN200610137928.X

    申请日:2006-11-01

    CPC classification number: H01L31/035272 B05D1/36 B81C1/0038

    Abstract: 本发明提供一种避免沉积厚膜发生脱层的方法及其制造的太阳能电池,在该方法中,在形成一厚膜后、在后续的热处理程序之前,将其分割成多个分离的区块。通过上述分割的步骤,可减少膜应力对上述厚膜与其下层材料之间的界面的作用,而避免在上述厚膜形成之后的后续热处理过程中发生脱层。已分割的厚膜的图形密度至少为80%,且上述分离的区块不会各别地作为元件结构。本发明所述的避免沉积厚膜发生脱层的方法及其制造的太阳能电池,避免了沉积厚膜发生脱层,提升了整个半导体装置的品质。

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