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公开(公告)号：US2681574A
公开(公告)日：1954-06-22
申请号：US22103951
申请日：1951-04-14
Applicant: JACK
Inventor： RUSSELL JACK WILLIAM , BRINKER EMIL M
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公开(公告)号：KR1020160103520A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：KR1020160019058
申请日：2016-02-18
Applicant: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Inventor： 다나카히데아키
CPC classification number: G01L1/048 , B08B1/04 , B08B13/00 , G01L1/04 , G01L5/0085 , H01L21/67046
Abstract: 웨이퍼등의기판에가해지는롤 세정구의하중을정확하게측정하는하중측정장치가제공된다. 하중측정장치는, 기판(W)의직경과동일한길이의하중측정면(30a)을갖는방수형로드셀(30)과, 방수형로드셀(30)을지지하는베이스플레이트(31)를구비한다. 이러한하중측정장치는, 기판(W)과마찬가지로기판세정장치에셋팅되어, 기판세정장치가롤 세정구(7)로부터받는하중을방수형로드셀(30)로측정한다.
Abstract translation: 提供了一种负载测量装置，其精确地测量施加到诸如晶片等的基板的辊清洁装置的负载。 负载测量装置包括：具有与基板（W）的直径相同长度的负载测量表面（30a）的防水称重传感器（30）。 以及支撑防水称重传感器（30）的基板（31）。 这样，将负载测量装置设置在与基板（W）相同的基板清洗装置上，并且利用防水载荷台（30）测量从滚筒清洁装置（7）向基板清洗装置称重的载荷。
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公开(公告)号：JP2017032566A
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：JP2016153026
申请日：2016-08-03
Applicant: センサータ テクノロジーズ インコーポレーテッド
Inventor： アンドリュー ルジャンドル , コリー ブスケ , ニール ペトラルカ
Abstract: 【課題】感知素子の感度を制御することができるセンサ基板を供給する。 【解決手段】センサ基板は、第1の端部、第2の端部、および、本体を含む。本体は、1つまたは複数の感知素子を収容するための備えを含む。第1の端部および第2の端部は、センサ基板をシャフトに取り付けるための取り付けポイントを含む。さらに、第1の端部および第2の端部は湾曲部を備える。特定の端部のために、取り付けポイントの間隔、および/または、湾曲部の深さが、当該端部の可撓性を部分的に規定できる。 【選択図】図1
Abstract translation: 供给传感器基板能够控制所述感测元件的灵敏度的。 传感器基板包括第一端，第二端，和主体。 所述主体包括用于容纳所述一个或多个感测元件的规定。 所述第一端和所述第二端部包括用于安装传感器基板到所述轴的安装点。 此外，第一端部和第二端部包括弯曲部分。 对于某些目的，安装点的间距，和/或弯曲部分的深度可限定部分地柔性的端部的。 点域1
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公开(公告)号：JP2016157778A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：JP2015033910
申请日：2015-02-24
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 田中 英明
IPC: G01L5/00 , G01L25/00 , H01L21/304
CPC classification number: G01L1/048 , B08B1/04 , B08B13/00 , G01L1/04 , G01L5/0085 , H01L21/67046
Abstract: 【課題】ウェハなどの基板に加わるロール洗浄具の荷重を正確に測定することができる荷重測定装置を提供する。 【解決手段】荷重測定装置は、基板Wの直径と同じ長さの荷重測定面30aを有する防水型ロードセル30と、防水型ロードセル30を支持する基台プレート31とを備える。この荷重測定装置は、基板Wと同じように基板洗浄装置にセットされ、基板洗浄装置のロール洗浄具7から受ける荷重を防水型ロードセル30で測定する。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够精确地测量施加到诸如晶片的基板的辊清洁工具的负载的负载测量装置。解决方案：负载测量装置包括：防水型测力传感器30，其具有 负载测量表面30a具有与衬底W的直径相同的长度; 以及支撑防水型测力传感器30的基板31.负载测量装置以与基板W类似的方式设置在基板清洗装置中，并测量从基板清洗装置的辊清洁工具7接收的载荷 带防水型称重传感器30。选择图：图2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JPS5928847B2
公开(公告)日：1984-07-16
申请号：JP14698579
申请日：1979-11-13
Applicant: Vasipari Kutato Intezet
Inventor： SANDOORU KOBAKUSU
CPC classification number: G01L1/048
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公开(公告)号：KR1020170017750A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020160098345
申请日：2016-08-02
Applicant: 센사타 테크놀로지스, 인크
Abstract: 실시예에서, 센서기판이, 제1 단부, 제2 단부, 및몸체를포함한다. 몸체는하나이상의감지요소를수용하기위한준비를포함한다. 제1 단부및 제2 단부는, 센서기판을샤프트에부착하지위한부착지점을포함한다. 부가적으로, 제1 단부및 제2 단부는만곡된부분을포함한다. 특정단부에대해, 부착지점들의공간및/또는만곡된부분의깊이가, 부분적으로, 단부의가요성을한정할수 있을것이다. 이러한가요성은, 감지요소들의감도를제어하기위해사용될수 있을것이다.
Abstract translation: 在一个实施例中，传感器基板包括第一端，第二端和主体。 身体包含用于容纳一个或多个感觉元素的条款。 第一端和第二端包含用于将传感器基板附接到轴的附接点。 此外，第一端和第二端包括弯曲部分。 对于特定的一端，连接点的间隔和/或弯曲部分的深度可部分限定端部的柔性。 这种灵活性可以用于控制感测元件的灵敏度。
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公开(公告)号：KR1020010049760A
公开(公告)日：2001-06-15
申请号：KR1020000039780
申请日：2000-07-12
Applicant: 힐티 악티엔게젤샤프트
IPC: G01L1/12
Abstract: PURPOSE: A method and device for determining time-dependent gradient of shock wave in ferromagnetic element subjected to percussion load is provided to easily obtain the variable speed of mechanical stress, that is, the first derivative of a shock wave, by a measuring coil by determining a shock wave characteristic according to the integrated value of measured voltage additionally superposed on the measured voltage. CONSTITUTION: A method for determining a time-dependent gradient of a shock wave in a percussion load ferromagnetic element comprises the step of subjecting the ferro-magnetic element to action of a magnetic flux; providing a voltage measuring instrument associated with the ferromagnetic element for determining a change of a magnetic flux velocity, which is determined as a change in a measuring voltage, during a percussion action, and determining the gradient of the shock wave by additive superimposition of the measuring voltage.
Abstract translation: 目的：提供一种用于确定经受冲击载荷的铁磁元件中冲击波的时间依赖梯度的方法和装置，以便通过测量线圈轻松获得机械应力的可变速度，即冲击波的一阶导数 根据测量电压的积分值确定冲击波特性，叠加在测量电压上。 构成：用于确定撞击负载铁磁元件中的冲击波的时间依赖梯度的方法包括使铁磁元件受到磁通的作用的步骤; 提供与所述铁磁元件相关联的电压测量仪器，用于确定在敲击动作期间被测量为测量电压的变化的磁通速度的变化，以及通过所述测量的叠加来确定所述冲击波的梯度 电压。
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公开(公告)号：TW201631680A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW105105095
申请日：2016-02-22
Applicant: 荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
Inventor： 田中英明 , TANAKA, HIDEAKI
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01L1/048 , B08B1/04 , B08B13/00 , G01L1/04 , G01L5/0085 , H01L21/67046
Abstract: 本發明提供一種能夠準確地測定施加於晶圓等基板的輥型清洗件的負荷的負荷測定裝置。負荷測定裝置具備：防水型負荷元(30)，該防水型負荷元(30)具有與基板(W)的直徑相同的長度的負荷測定面(30a)以及支承防水型負荷元(30)的基台板(31)。該負荷測定裝置與基板(W)相同地安設於基板清洗裝置，通過防水型負荷元(30)測定從基板清洗裝置的輥型清洗件(7)承受的負荷。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种能够准确地测定施加于晶圆等基板的辊型清洗件的负荷的负荷测定设备。负荷测定设备具备：防水型负荷元(30)，该防水型负荷元(30)具有与基板(W)的直径相同的长度的负荷测定面(30a)以及支承防水型负荷元(30)的基台板(31)。该负荷测定设备与基板(W)相同地安设于基板清洗设备，通过防水型负荷元(30)测定从基板清洗设备的辊型清洗件(7)承受的负荷。
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公开(公告)号：CN205691271U
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201521087345.1
申请日：2015-12-23
Applicant: 大力士股份有限公司
CPC classification number: G01L1/04 , F16F1/18 , F16F3/023 , G01L1/048 , G01L3/1407 , G01L3/1421 , G01L3/1435 , G01L5/161 , G01L5/221
Abstract: 本实用新型涉及用于力传感器的金属膜盒和力传感器，该力传感器例如为转矩、拉力和/或压力测量单元，所述金属膜盒能被装入或被装入力传递件如轴或调节杆中，包括：用于接受力的力传入部分；用于转送所述力的力输出部分；位于两者之间的弹性的变形体，该变形体如此将该力输出部分与该力传入部分相连接，由该力传入部分接受的力被传递入该力输出部分中，该变形体在至少一个部位执行预定的由待传递的力促成的弹性变形运动；编码扫描部分，其跟随所述至少一个部位的全部变形运动地设置在该变形体的所述至少一个部位上。
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