MEMS光学传感器
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104603592A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201380030307.X

    申请日:2013-06-06

    Abstract: 本发明涉及一种利用波导的有效折射率调制和对反射光的波长移位的检测的全光学传感器,以及一种容纳所述光学传感器的力感测系统。本发明的一个实施方案涉及一种传感器系统,所述传感器系统包括:至少一个多模光源;一个或多个光学传感器,其包括容纳分布式布拉格反射器的多模传感器光学波导;至少一个发射光学波导,其用于将来自所述至少一个光源的光引导到所述一个或多个多模传感器光学波导;检测器,其用于测量在所述一个或多个多模传感器光学波导中从所述布拉格反射器反射的光;以及数据处理器,其适于分析所述反射光的至少一个高阶模的布拉格波长的变化。

    通过将发光小片元件直接聚焦到容器上的容器检查

    公开(公告)号:CN101133319A

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200580036947.7

    申请日:2005-09-20

    Abstract: 一种用于容器(12)的光学检查的设备包括光源(14),该光源(14)包含至少一个具有发光小片表面(18)的发光二极管(16)。透镜和/或反射镜(20,43)将发光小片表面聚焦到容器的被选部分上,并且光学传感器(24)接收由光源所照亮的容器被选部分的图像。信息处理器(28)被耦合到光学传感器,用于根据在传感器处所接收到的图像来检测容器被照亮部分中的商品差异。图像可以通过光能穿过容器被选部分的透射、和/或通过光能在容器被选部分的反射和/或折射而逐渐形成。光源可以包括具有发光小片表面的单个发光二极管或者多个发光二极管,该发光小片表面以这样的方式被聚焦到容器上,以致发光小片表面的图像在容器处重叠和/或彼此相邻。

    기판들을 프로세싱하기 위한 스펙트럼 반사계를 가진 장치
    49.
    发明公开
    기판들을 프로세싱하기 위한 스펙트럼 반사계를 가진 장치 审中-实审
    具有用于处理基板的光谱反射计的装置

    公开(公告)号:KR1020160129751A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:KR1020160051925

    申请日:2016-04-28

    Abstract: 기판을측정하기위한스펙트럼반사계시스템이제공된다. 광소스가제공된다. 적어도하나의광 검출기가제공된다. 광케이블은복수의광 섬유들을포함하고, 복수의광 섬유들은광 소스로부터광 경로로연장하는전송광 섬유들인제 1 복수의광 섬유들, 및광 경로로부터적어도하나의광 검출기로연장하는반사광 섬유들인제 2 복수의광 섬유들을포함한다. 마이크로렌즈어레이가광 경로내에있다.

    Abstract translation: 提供了用于测量衬底的光谱反射计系统。 提供光源。 提供至少一个光学检测器。 一种光缆包括多根光纤,其中多根光纤包括第一多根光纤,其是从光源延伸到光路的传输光纤,以及第二多根光纤,其是 从光路延伸到至少一个光学检测器的反射光纤。 微透镜阵列位于光路中。

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