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公开(公告)号:JP2017227481A
公开(公告)日:2017-12-28
申请号:JP2016122345
申请日:2016-06-21
Applicant: 富士フイルム株式会社
Inventor: 小林 尚志
CPC classification number: G01N21/6456 , G01N21/6428 , G01N21/6486 , G01N27/44717 , G01N27/44721 , G01N2021/6419 , G01N2021/6421 , G01N2021/6439 , G01N2201/06193 , G01N2201/11
Abstract: 【課題】素早く簡単に分析に適正な濃度の画像を画像読取装置から出力させることが可能な画像読取装置の制御装置とその作動方法および作動プログラム、並びに画像検出システムを提供する。 【解決手段】画像受付部80は、画像読取装置11において分析用の本画像を出力する本スキャンに先立って実施されるプレスキャンで出力されたプレ画像を受け付ける。指示受付部81は、ユーザにより指定されたプレ画像内の領域の情報を受け付ける。算出部83は、領域の濃度が分析に適正な濃度となるフォトマルチプライア31の電圧値である適正電圧値HVMを算出する。スキャン条件設定部84は、本スキャンの仮本スキャン条件76Mとして適正電圧値HVMを設定する。 【選択図】図11
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42.
公开(公告)号:JP2009115473A
公开(公告)日:2009-05-28
申请号:JP2007285671
申请日:2007-11-02
Inventor: FURUKI MOTOHIRO , IMANISHI SHINGO , SHINODA MASATAKA , SUZUKI AKITOSHI , MIYAKE KAZUJI
IPC: G01N15/14
CPC classification number: G01N15/1425 , G01N15/1436 , G01N15/1459 , G01N15/1484 , G01N21/6428 , G01N21/645 , G01N2015/1006 , G01N2015/1497 , G01N2021/058 , G01N2021/6419 , G01N2021/6421 , G01N2201/10 , G01N2201/11
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring method capable of obtaining high accuracy of measurement, when scanning light with respect to a plurality of channels for samples which are arranged on a substrate, and optically measuring fine particles introduced to the channels for samples.
SOLUTION: In the fine particle measuring method for scanning light with respect to the plurality of channels 111 for samples which are arranged on the substrate 11, and optically measuring fine particles introduced to the channels 111 for samples, by sequentially irradiating light to at least two reference regions 113, which are juxtaposed to the channels 111 for samples and detecting changes in the optical characteristics generated in the light by the reference regions 113, the emission timing of the light to the channels 111 for samples is controlled.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题:为了提供一种能够获得高精度测量的测量方法,当相对于布置在基板上的样品的多个通道扫描光时,并且光学测量引入到通道的细颗粒 样品。 解决方案:在相对于布置在基板11上的样品的多个通道111扫描光的微粒测量方法中,并且通过顺序地将光照射到 至少两个参考区域113,它们与采样的通道111并列并且检测由参考区域113在光中产生的光学特性的变化,控制对样品的通道111的光的发射定时。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT
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43.광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법 有权
Title translation: 旋转元件椭偏仪和使用其测量样品的Mueller-matirx元件的方法公开(公告)号:KR101509054B1
公开(公告)日:2015-04-07
申请号:KR1020130103738
申请日:2013-08-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/211 , G01J4/04 , G01N2021/213 , G01N2201/061 , G01N2201/0633 , G01N2201/0683 , G01N2201/11
Abstract: 본발명은임의의시료에대한뮬러행렬성분들중에서전부또는일부를종래의이중-광소자-회전형뮬러-행렬타원계측기들의광원의잔류편광및 광검출기의편광의존성과고차항의푸리에계수들의측정값때문에생기는측정정확도및 측정정밀도의문제점을해결하기위한광소자-회전형뮬러-행렬타원계측기를제공하고자하는것이다.
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公开(公告)号:KR1020160084423A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:KR1020167014947
申请日:2014-11-05
Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션
CPC classification number: G01N21/93 , G01B11/06 , G01B11/0675 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/061 , G01N2201/105 , G01N2201/11 , G01N2201/125 , G03F7/705 , G03F7/70616
Abstract: 웨이퍼검사프로세스의하나이상의파라미터들을결정하기위한방법들및 시스템들이제공된다. 하나의방법은웨이퍼계측시스템에의해생성되는웨이퍼에대한계측데이터를획득하는단계를포함한다. 방법은또한계측데이터에기반하여웨이퍼또는다른웨이퍼에대한웨이퍼검사프로세스의하나이상의파라미터들을결정하는단계를포함한다.
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45.광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법 有权
Title translation: 旋转元件ELLIPSOMETER和用于测量样品的MUELLER-MATIRX元素的方法公开(公告)号:KR1020150025745A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:KR1020130103738
申请日:2013-08-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/211 , G01J4/04 , G01N2021/213 , G01N2201/061 , G01N2201/0633 , G01N2201/0683 , G01N2201/11 , G01J4/00 , G01N21/27
Abstract: 본 발명은 임의의 시료에 대한 뮬러 행렬 성분들 중에서 전부 또는 일부를 종래의 이중-광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기들의 광원의 잔류 편광 및 광검출기의 편광 의존성과 고차항의 푸리에 계수들의 측정값 때문에 생기는 측정 정확도 및 측정 정밀도의 문제점을 해결하기 위한 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 제공하고자 하는 것이다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于解决由常规双旋转元件穆勒矩阵椭偏仪的光源的剩余偏振光引起的测量精度和精度问题的旋转元件Mueller矩阵椭偏仪; 光检测器的极化依赖性; 以及特定样品的穆勒矩阵物质的全部或部分中的高阶傅里叶系数的测量值。
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公开(公告)号:TW201528397A
公开(公告)日:2015-07-16
申请号:TW103138582
申请日:2014-11-06
Applicant: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
Inventor: 派克 艾倫 , PARK, ALLEN , 馬克奈頓 克萊格 , MACNAUGHTON, CRAIG , 張 艾莉絲 , CHANG, ELLIS
CPC classification number: G01N21/93 , G01B11/06 , G01B11/0675 , G01B2210/56 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2201/061 , G01N2201/105 , G01N2201/11 , G01N2201/125 , G03F7/705 , G03F7/70616
Abstract: 本發明提供判定一晶圓檢驗程序之一或多個參數之方法及系統。一種方法包含:獲取由一晶圓量測系統產生之關於一晶圓之量測資料。該方法亦包含:基於該量測資料來判定用於該晶圓或另一晶圓之一晶圓檢驗程序之一或多個參數。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供判定一晶圆检验进程之一或多个参数之方法及系统。一种方法包含:获取由一晶圆量测系统产生之关于一晶圆之量测数据。该方法亦包含:基于该量测数据来判定用于该晶圆或另一晶圆之一晶圆检验进程之一或多个参数。
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