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公开(公告)号：CN118707809A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410952094.6
申请日：2024-07-16
Applicant: 浙江大学 , 浙江创芯集成电路有限公司
Abstract: 本发明公开一种利用超声波优化光刻胶均匀性的涂胶方法。本发明在光刻胶旋涂过程中加入超声波辅助，超声波能够产生高频振动提供外部能量，并传递给液体溶液，将涂层材料的大液滴局部分解成微小的液滴，帮助它们注入基材上存在的小孔隙中，还可以通过液体内部的微流动，有效消除涂胶液体中的气泡、流动层和结块，使涂胶液体均匀分布。这样可以获得更均匀的涂层，减少涂层厚度的变异性，提高涂层品质。超声波的能量作用可以将光刻胶材料的大液滴局部分解成微小的液滴使涂胶液体在旋涂过程中更容易渗透到被涂物表面和细小缝隙中，提高涂覆的覆盖率，而且加速涂胶液体的渗透和扩散过程，使涂覆速度增加，从而提高涂装效率。
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公开(公告)号：CN118654787A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202411141930.9
申请日：2024-08-20
Applicant: 合肥工业大学 , 浙江欧仁新材料有限公司
IPC: G01L1/14 , C09D175/04 , C09D7/62 , C09D7/63 , C09D7/65 , C08L29/04 , C08L1/28 , C08K5/43 , C09D179/02 , C09D153/02 , C09D105/08 , C09D5/24 , C09D129/04 , B05D1/00 , B05D7/24
Abstract: 本发明公开了基于离子泵效应的差动电容式压力传感器及其制备方法，压力传感器包括封装框架，封装框架的空腔中设置有差动式压力敏感单元，封装框架顶部设有压力感应单元；差动式压力敏感单元包括由上往下依次层叠设置的上电极、上介电层、中电极、下介电层和下电极，各介电层由靠近中电极的离子传输层和远离中电极的离子吸附层构成，离子传输层面向中电极的一侧设有表面凸出微结构，表面凸出微结构包括多个同心的环形凸起；压力感应单元包括压板以及至少两个触头，各个触头分别插入至封装框架的各个插孔中并与中电极表面相接触。本发明的差动电容式压力传感器具有宽线性、高灵敏和弱温度敏感性的特点。
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公开(公告)号：CN108580174B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201810703531.5
申请日：2018-06-30
Applicant: 中国科学院上海硅酸盐研究所 , 浙江天地环保科技股份有限公司 , 浙江浙能技术研究院有限公司
IPC: B05C5/00 , B05C11/10 , B05C13/02 , B05D1/00 , B05D3/00 , H10K71/13 , H10K30/10 , H10K71/40 , H10K71/60 , H10K71/00 , H10K30/50
Abstract: 本发明的一种钙钛矿太阳能电池中钙钛矿吸光层的涂布工艺及装置，该装置具备：涂布头、用于储存钙钛矿前驱体溶液的储液器、底座和至少一个传动装置；底座固定有太阳能电池的导电基底；涂布头的上端与储液器相邻，且涂布头和储液器的相对位置在移动过程中始终保持不变；传动装置控制底座或涂布头在涂布方向上移动，通过钙钛矿前驱体溶液的液滴在涂布头处产生的弯月面力在导电基底上形成钙钛矿薄膜。由此，可以实现大面积涂布、成膜均一性提高、参数稳定可控、且可以直接图案化涂膜。
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公开(公告)号：CN118581433A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410636671.0
申请日：2024-05-22
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种柔性可拉伸的双曲超材料的制备方法，利用超高真空磁控溅射仪，通过磁控溅射在聚二甲基硅氧烷基底上交替沉积多层银薄膜和二氧化硅薄膜。与现有技术相比，本发明制备的具有双结构单元可拉伸的双曲超材料能够在拉伸大于50％的情况下仍然表现出明显的双曲性质，对未来双曲超材料的发展和应用具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN118547268A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202411009017.3
申请日：2024-07-26
Applicant: 上海派拉纶生物技术股份有限公司
Abstract: 本申请涉及镀覆技术领域，具体涉及一种Parylene镀覆系统、方法及控制模块，该Parylene镀覆系统包括：控制模块以及与控制模块电性连接的物料确认模块、清洗模块、掩膜模块、活化模块、烘干模块以及镀覆模块；通过物料确认系统对物料进行检测或者输入，使得控制模块能获取物料的材质、形态以及性能等特性参数，从而为后续的清洗模块、掩膜模块、活化模块、烘干模块以及镀覆模块的设备和工艺选择提供参考，使得各个模块都能够根据对应的特性参数确定具体的设备和对应的工艺，以满足不同型号产品的镀膜需求，在保证镀膜质量的前提下大大提高了镀膜效率，有利于降低制造成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118515435A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410427627.9
申请日：2024-04-10
Applicant: 国科大杭州高等研究院
Abstract: 本发明的一种紫外旋涂薄膜的方法，包括以下步骤：S1衬底准备；S2，滴液与静置；S3，旋涂与紫外照射:设置匀胶机的参数，打开紫外灯开始旋涂；S4，获得湿膜:旋涂结束后，继续用紫外灯照射5.0分钟以获得湿膜；S5，热处理成干膜；S6，晶体薄膜制备:将干膜放入管式炉中，加热至600℃并保持1.0小时，直至降至室温，以获得表面光滑无痕的高质量晶体薄膜。本发明的一种紫外旋涂薄膜的方法，利用旋涂时，结合旋涂结束后进行的紫外照射，促进旋涂溶剂的蒸发和薄膜的固化，以及激发交联反应，提高薄膜的稳定性和耐用性。
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公开(公告)号：CN118486615A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410924153.9
申请日：2024-07-11
Applicant: 长沙韶光芯材科技有限公司
Abstract: 本发明涉及工件表面流体涂布技术领域，具体涉及一种半导体基底的玻璃基板旋转涂胶方法，通过获取每种转速下的涂胶对照样本集；对每种转速下涂胶对照样本的局部像素分布差异，确定每个涂胶对照样本的有效对比特征系数；同时将每个涂胶对照样本划分为同心的各个特征圆环区域，根据各个特征圆环区域之间的像素分布差异，确定每个涂胶对照样本的离心影响特征系数；根据有效对比特征系数和离心影响特征系数，确定均匀度与转速之间的变化曲线，进而结合厚度与转速之间的变化曲线，确定最佳转速，并根据最佳转速进行旋转涂胶。本发明通过有效提高涂胶均匀性，保证了涂胶质量。
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公开(公告)号：CN118461014A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410535364.3
申请日：2024-04-30
Applicant: 常州大学
Abstract: 本发明属于新型薄膜太阳能电池技术领域，具体公开了一种提高锡基钙钛矿太阳能电池效率及稳定性的方法。本发明在目前较为完备的锡基钙钛矿太阳能电池制备工艺的基础上，本发明引入了电化学处理方法，并通过精确控制施加特定范围的还原电位，改变Sn2+/Sn4+氧化还原反应的平衡位置，从而调控反应进行的方向和速率，可将锡基钙钛矿薄膜中存在的Sn4+还原为Sn2+；通过进一步调控还原电位还可以实现将薄膜中被氧化生成的I2或I3‑还原为I‑，有利于减小薄膜缺陷态密度。经电化学方法处理的锡基钙钛矿薄膜具有致密度高和缺陷密度低的优点，从而使制备的锡基钙钛矿太阳能电池器件的效率和稳定性得到提升。
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公开(公告)号：CN118444531A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410529338.X
申请日：2024-04-29
Applicant: 浙江大学 , 浙江创芯集成电路有限公司
Abstract: 本发明公开一种晶圆匀胶装置及匀胶方法。本发明采用可调节盖板不同圈层与晶圆的距离与气体流速，进而调控晶圆膜厚均匀性，有利于提高晶圆光刻胶整体的厚度均匀性。通过合理的粗调与细调结合实现在低成本、简单的操作，适用于不同的光刻胶种类和其他条件，能有效提高成品率，提高后续光刻、刻蚀的可靠性。
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公开(公告)号：CN118441265A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410903621.4
申请日：2024-07-08
Applicant: 上海派拉纶生物技术股份有限公司
IPC: C23C16/458 , B05D1/00
Abstract: 本发明涉及镀覆技术领域，具体涉及一种用于微型阵列内腔器件的派瑞林镀覆装置，包括：沉积室和镀覆工装；该镀覆工装安装在沉积室的转盘上随着转盘一并转动，镀覆工装采用网状的支撑结构，有利于提高气流通过的均匀性，同时网状的支撑结构上设有多个呈圆周阵列排布的定位标识，方便对应的微型阵列内腔器件均匀放置在镀覆工装上，同时镀覆工装基本与进气口和出气口位于同一水平面，进一步增加气流均匀性，有利于提高微型阵列内腔器件内的膜层沉积均匀性；此外通过挡圈进行保护，防止微型阵列内腔器件被甩出，提高了微型阵列内腔器件在沉积过程中的安全性。
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