公开(公告)号：TWI272665B

公开(公告)日：2007-02-01

申请号：TW091119950

申请日：2002-09-02

Applicant: 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 安東尼C. 布諾拉 ANTHONY C. BONORA ,  理察H. 古德 RICHARD H. GOULD ,  羅傑G. 辛 ROGER G. HINE ,  麥克 克羅拉 MICHAEL KROLAK ,  傑利A. 史皮爾 JERRY A. SPEASL

IPC: H01L

CPC classification number: H01L21/67778 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/139

Abstract: 本發明係為一晶圓傳送系統，其在隔絕環境中傳送個別晶圓於各腔室之間。在一具體實施例中，一晶圓被在一傳送圍場中移動的晶圓穿梭車傳送。傳送圍場的內部和晶圓製造設施周圍的大氣環境隔絕。因此，可傳送個別晶圓貫穿晶圓製造設施而不需為了所有設施來維持無塵室的環境。晶圓穿梭車可藉由不同的技術來推動，例如，而不是限制於，磁浮或空氣軸承。晶圓穿梭車亦可同時傳送超過一片晶圓。傳送圍場的內部亦可能在真空、充氣、或過濾空氣之中。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系为一晶圆发送系统，其在隔绝环境中发送个别晶圆于各腔室之间。在一具体实施例中，一晶圆被在一发送围场中移动的晶圆穿梭车发送。发送围场的内部和晶圆制造设施周围的大气环境隔绝。因此，可发送个别晶圆贯穿晶圆制造设施而不需为了所有设施来维持无尘室的环境。晶圆穿梭车可借由不同的技术来推动，例如，而不是限制于，磁浮或空气轴承。晶圆穿梭车亦可同时发送超过一片晶圆。发送围场的内部亦可能在真空、充气、或过滤空气之中。

公开(公告)号：TWI239066B

公开(公告)日：2005-09-01

申请号：TW091101819

申请日：2002-02-01

Applicant: 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： 威廉J. 佛奈特 WILLIAM J. FOSNIGHT ,  丹尼爾 巴比斯 DANIEL BABBS ,  理察 古德 RICHARD GOULD ,  麥克 克羅拉克 MICHAEL KROLAK ,  大維 佛瑞德 DAVID FEINDEL ,  帝摩西 魯龍 TIMOTHY LUONG

IPC: H01L

CPC classification number: H01L21/67242

Abstract: 本發明揭示一種防護製造操作員及工作件(如半導體晶圓)之系統，當工作件在工具與工具箱中之儲存窩間運輸時，俾操作員及工作件不受操作員與工作件之運輸組件間碰撞結果之傷害。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种防护制造操作员及工作件(如半导体晶圆)之系统，当工作件在工具与工具箱中之存储窝间运输时，俾操作员及工作件不受操作员与工作件之运输组件间碰撞结果之伤害。

公开(公告)号：TW593093B

公开(公告)日：2004-06-21

申请号：TW091101253

申请日：2002-01-25

Applicant: 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC

Inventor： 布萊恩 威朗 BRIAN WEHRUNG ,  巴頓 可克斯 BARTON COX

IPC: G05B ,  B65G ,  G06F

CPC classification number: G05B19/4182 ,  G05B2219/31078 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/45054 ,  G05B2219/45057 ,  G05B2219/45063 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/67769 ,  Y02P90/083 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/28

Abstract: 本發明為一種在一材料傳輸系統中用於傳輸及緩衝該材料之控制系統。一種在一輸送機與工作站之間用於移動一物品之傳輸系統及方法。一種機器人在不需要材料搬動控制器介入下與傳輸緩衝控制系統相結合而工作以在存放架、裝載端口及I/O端口之間移動莢箱。機器人包括垂直移動機構及水平移動機構與夾持裝置一起來搬動莢箱莢箱在存放架、裝載埠及I/O埠之間之移動可視之為所做由材料控制系統之一單一活動。

Abstract in simplified Chinese: 本发明为一种在一材料传输系统中用于传输及缓冲该材料之控制系统。一种在一输送机与工作站之间用于移动一物品之传输系统及方法。一种机器人在不需要材料搬动控制器介入下与传输缓冲控制系统相结合而工作以在存放架、装载端口及I/O端口之间移动荚箱。机器人包括垂直移动机构及水平移动机构与夹持设备一起来搬动荚箱荚箱在存放架、装载端口及I/O端口之间之移动可视之为所做由材料控制系统之一单一活动。

公开(公告)号：TW593077B

公开(公告)日：2004-06-21

申请号：TW089104969

申请日：2000-09-13

Applicant: 艾塞特工業公司 ASYST TECHNOLOGIES, INC

Inventor： 廉J 佛斯奈 WILLIAM J. FOSNIGHT ,  雷蒙S 馬汀 RAYMOND S. MARTIN ,  裘夏W 山克 JOSHUA W. SHENK ,  羅伯P 渥坦伯 ROBERT P. WARTENBERGH

IPC: G03F ,  B65D

CPC classification number: G03F1/66 ,  G03F7/70541 ,  G03F7/70741

Abstract: 揭示一種主光罩支撐機構，其中一主光罩可快速且輕易的設置與卸下，且其能夠穩固的支撐一主光罩，用以儲存與輸送。本發明之一較佳之實施例包括一對主光罩支撐件，固定於該容器之一門上，以及一對主光罩保留器固定於該容器之一外殼上。當該容器外殼於該容器門相聯結時，該主光罩支撐件及該主光罩保持器之部分嚙合該主光罩之斜角邊緣，且將該主光罩夾在該容器中之一固定的位置上。結果於其斜角邊緣嚙合的該主光罩，可以避免與該主光罩之上部及下部表面以及垂直邊緣的可能有害接觸。

Abstract in simplified Chinese: 揭示一种主光罩支撑机构，其中一主光罩可快速且轻易的设置与卸下，且其能够稳固的支撑一主光罩，用以存储与输送。本发明之一较佳之实施例包括一对主光罩支撑件，固定于该容器之一门上，以及一对主光罩保留器固定于该容器之一外壳上。当该容器外壳于该容器门相联结时，该主光罩支撑件及该主光罩保持器之部分啮合该主光罩之斜角边缘，且将该主光罩夹在该容器中之一固定的位置上。结果于其斜角边缘啮合的该主光罩，可以避免与该主光罩之上部及下部表面以及垂直边缘的可能有害接触。

公开(公告)号：WO2008008737A3

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：PCT/US2007/073085

申请日：2007-07-09

Applicant: ASYST TECHNOLOGIES, INC. ,  BONORA, Anthony, C. ,  KROLAK, Michael ,  HINE, Roger, G. ,  ROGERS, Theodore, W.

Inventor： BONORA, Anthony, C. ,  KROLAK, Michael ,  HINE, Roger, G. ,  ROGERS, Theodore, W.

IPC: B65G49/07

Abstract: A variable lot size load port assembly includes a tool interface, an advance plate, and a seal plate. The tool interface extends generally in a vertical dimension and has a front surface, a back surface generally parallel to the front surface, and an aperture. An advance plate is positioned to the front of the tool interface below the aperture. The advance plate extends generally horizontally and is configured to support a front opening unified pod (FOUP). The advance plate translates between a retracted position and an advanced position. The advanced position is proximate the tool interface and the retracted position is spaced from the tool interface. The seal plate has an upper end secured to the tool interface and a lower end covering a portion of the aperture to form a reduced aperture. The seal plate is shaped to form a proximity seal with a front flange of a FOUP of a selected capacity mounted to the advance plate and brought to the advanced position.

公开(公告)号：WO2007008736A1

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：PCT/US2006/026642

申请日：2006-07-07

Applicant: ASYST TECHNOLOGIES, INC. ,  BONORA, Anthony, C. ,  HINE, Roger, G. ,  KROLAK, Michael

Inventor： BONORA, Anthony, C. ,  HINE, Roger, G. ,  KROLAK, Michael

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67161

Abstract: The present invention comprises a stocker for managing containers within a fabrication facility having a ceiling-based interbay material handling system a floor-based intrabay material handling system. In one embodiment, the stocker comprises a container storage area for storing at least one container, a ceiling-based input conveyor, a floor- based conveyor and a robotic mechanism. The ceiling-based input conveyor receives containers from the ceiling based interbay material handling system. The stocker' s floor- based conveyor may comprise an output conveyor, an input conveyor or both, and moves containers between the stocker' s container storage area and the floor-based intrabay material handling system. A robotic mechanism moves containers between the ceiling- based input conveyor, the container storage area and the floor-based conveyor.

Abstract translation: 本发明包括一个用于管理制造设备内的容器的储料器，其具有一个基于天花板的间隔物料处理系统，一个基于楼层的垃圾处理系统。 在一个实施例中，储料器包括用于存储至少一个容器，天花板输入输送机，基于地板的输送机和机器人机构的容器存储区域。 基于天花板的输入输送机从天花板间隔物料处理系统接收容器。 贮存者地板输送机可以包括输出输送机，输入输送机或两者，并且在储料器的容器储存区域和地板间的内部材料处理系统之间移动容器。 机器人机构将容器移动到基于天花板的输入输送机，容器存储区域和基于地板的输送机之间。

公开(公告)号：WO2006124683A2

公开(公告)日：2006-11-23

申请号：PCT/US2006/018568

申请日：2006-05-15

Applicant: ASYST TECHNOLOGIES, INC. ,  BONORA, Anthony, C. ,  KROLAK, Michael ,  HINE, Roger, G.

Inventor： BONORA, Anthony, C. ,  KROLAK, Michael ,  HINE, Roger, G.

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67715 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

Abstract: The present invention generally comprises an apparatus for transporting containers between a first transport system and a second transport system. In one embodiment, the first transport system comprises a ceiling-based conveyor and the second transport system comprises a floor-based conveyor. The present invention may further include storage shelves, preferably substantially horizontally aligned about a common vertical plane with a section of one of the transport systems. The transport system may be located either directly above the uppermost storage shelf or beneath the lowermost storage shelf in order to add storage capacity within the fab. A vertical module transports containers between the transport systems and the at least one storage shelf.

Abstract translation: 本发明通常包括用于在第一输送系统和第二输送系统之间输送容器的装置。 在一个实施例中，第一输送系统包括基于天花板的输送机，第二输送系统包括基于地板的输送机。 本发明还可以包括存储架，优选地基本上水平地围绕共同的垂直平面与一个传送系统的一部分对准。 运输系统可以位于最上面的储物架的正上方，或者位于最下面的储物架之下，以便增加储存容量。 垂直模块在运输系统和至少一个存储架之间运输容器。

公开(公告)号：WO2003007346A3

公开(公告)日：2003-01-23

申请号：PCT/US2002/021828

申请日：2002-07-10

Applicant: ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： KROLAK, Michael

IPC: H01L21/00

Abstract: A system for preventing contaminants and particulates from coming into contact with a back side of a workpiece as the workpiece is vacuum held on a chuck or robotic end effector.

公开(公告)号：WO1997003222A1

公开(公告)日：1997-01-30

申请号：PCT/US1996011501

申请日：1996-07-10

Applicant: ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： ASYST TECHNOLOGIES, INC. ,  ROSENQUIST, Frederick, T.

IPC: C23C15/00

CPC classification number: H01L21/67775 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/68707

Abstract: A cassette support and rotation assembly (100) for receiving wafer-carrying cassette (113) through a SMIF port and thereafter orienting the cassette to a desired rotational position with respect to a processing station (103) on or in which the cassette is located. The cassette support and rotation assembly according to embodiments of the invention includes a port door (104) for receiving a SMIF pod door (112) and a wafer-carrying cassette supported on the pod door. The assembly further includes elevator (105) to which the port door is rotationally mounted by means of bearings (124a-c) provided around a lower surface of the port door. In embodiments of the invention, the cassette support and rotation assembly further includes a rotation drive mechanism (132) on a lower surface of the port door for controllably rotating the port door with respect to the elevator so as to align the cassette on the top surface of the port door to the desired rotational orientation.

Abstract translation: 一种盒支撑和旋转组件（100），用于通过SMIF端口接收晶片承载盒（113），然后将盒定向到相对于盒所在的处理站（103）的期望的旋转位置。 根据本发明的实施例的盒支撑和旋转组件包括用于接收SMIF荚门（112）的端口门（104）和支撑在荚门上的晶片承载盒。 组件还包括电梯（105），通过围绕端口门的下表面设置的轴承（124a-c）可旋转地安装端口门。 在本发明的实施例中，盒支撑和旋转组件还包括在端口门的下表面上的旋转驱动机构（132），用于相对于电梯可控地旋转端口门，以使盒子在顶表面 的端口门到所需的旋转方向。

公开(公告)号：WO1997002184A1

公开(公告)日：1997-01-23

申请号：PCT/US1996011294

申请日：1996-07-03

Applicant: ASYST TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： ASYST TECHNOLOGIES, INC. ,  BONORA, Anthony, C. ,  FOSNIGHT, William, J. ,  MARTIN, Raymond, S. ,  RHINE, Bruce, C.

IPC: B65B69/00

CPC classification number: H01L21/67772 ,  Y10S414/14

Abstract: An adaptor plate (100) for allowing 200 mm SMIF pods (112) carrying one or more semiconductor wafers to be used on an access port (108, 110) of a wafer processing station configured to accept a 300 mm SMIF pod. The adaptor plate (100) has a substantially circular outer circumference conforming substantially in size and shape to the outer circumference of a conventional 300 mm SMIF pod, and a central opening (102) conforming substantially in size and shape to a conventional rectangular 200 mm SMIF pod (112). The one or more semiconductor wafers are supported on pod door (116) of the pod (112), and the semiconductor wafers and pod door (116) are lowered through the central opening (102) in the adaptor plate (100) into the wafer processing station. With the adaptor plate (100) supported on the access port (108, 110), and a cover (114) of the 200 mm SMIF pod supported around the central opening (102), the access port (108, 110) is entirely covered and entry of contaminants into the processing station through the access port (108, 110) is prevented.

Abstract translation: 一适配器板（100），用于允许在配置成接受300mm SMIF盒的晶片处理台的访问端口（108,110）上使用携带一个或多个半导体晶片的200mm SMIF盒（112）。 适配板（100）具有基本上圆形的外圆周，其尺寸和形状基本上与传统的300mm SMIF荚的外圆周相符合，并且基本上具有尺寸和形状的中心开口（102）与传统的矩形200mm SMIF 荚（112）。 一个或多个半导体晶片被支撑在容器（112）的荚门（116）上，并且半导体晶片和荚门（116）通过适配器板（100）中的中心开口（102）下降到晶片 加工站。 在适配器板（100）支撑在进入端口（108,110）上，并且200mm SMIF盒的盖（114）围绕中心开口（102）支撑，所述进入端口（108,110）被完全覆盖 并且防止污染物通过进入口（108,110）进入加工站。