公开(公告)号：TWI269879B

公开(公告)日：2007-01-01

申请号：TW093104323

申请日：2004-02-20

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  仁平崇 NIDAIRA, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314

Abstract: 高精度地進行形成在TAB，COF等帶的電極墊片的檢查。對於以一定間隔設於帶1的電路圖案形成領域10，10a的複數電極墊片11，藉由大約以垂直狀態配置於測試裝置2的複數探針21從大約垂直方向分別接觸俾進行電性檢查將與對應於各電路圖案形成領域10，10a地形成於帶表面的對位用對準標記13a，13b，13c，13d相對應的標記確認孔26設於測試裝置2，而在測試裝置2與帶1的相反側配置攝影機31的狀態下，一面經由攝影機31進行觀察一面調整測試裝置2與帶1的相對位置使得對準位置位於標記確認孔25的內部。

Abstract in simplified Chinese: 高精度地进行形成在TAB，COF等带的电极垫片的检查。对于以一定间隔设于带1的电路图案形成领域10，10a的复数电极垫片11，借由大约以垂直状态配置于测试设备2的复数探针21从大约垂直方向分别接触俾进行电性检查将与对应于各电路图案形成领域10，10a地形成于带表面的对位用对准标记13a，13b，13c，13d相对应的标记确认孔26设于测试设备2，而在测试设备2与带1的相反侧配置摄影机31的状态下，一面经由摄影机31进行观察一面调整测试设备2与带1的相对位置使得对准位置位于标记确认孔25的内部。

公开(公告)号：TW200700736A

公开(公告)日：2007-01-01

申请号：TW095115194

申请日：2006-04-28

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI

IPC: G01R ,  H01L ,  H01R

CPC classification number: G01R1/045 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/07371 ,  H01R13/2421 ,  H01R2201/20

Abstract: 本發明提供一種檢查對象之電路構造即使在傳輸高頻信號時亦可作對應,且具優越之强度及耐久性的導電性接觸子支持器及導電性接觸子單元。該導電性接觸子支持器係具備:支持器基板,由導電性材料形成,且形成有用以收容可對預定電路構造進行信號輸出入之信號用導電性接觸子的第1開口部;及保持構件,由絕緣性材料形成,且被插入於上述第1開口部,用以保持至少一個上述信號用導電性接觸子;其中,將上述保持構件之表面,亦即與該導電性接觸子支持器之表面呈平行的表面之最大外徑,設為比被收容於該導電性接觸子支持器之上述信號用導電性接觸子的軸線彼此間之最接近間隔更大。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种检查对象之电路构造即使在传输高频信号时亦可作对应,且具优越之强度及耐久性的导电性接触子支持器及导电性接触子单元。该导电性接触子支持器系具备:支持器基板,由导电性材料形成,且形成有用以收容可对预定电路构造进行信号输出入之信号用导电性接触子的第1开口部;及保持构件,由绝缘性材料形成,且被插入于上述第1开口部,用以保持至少一个上述信号用导电性接触子;其中,将上述保持构件之表面,亦即与该导电性接触子支持器之表面呈平行的表面之最大外径,设为比被收容于该导电性接触子支持器之上述信号用导电性接触子的轴线彼此间之最接近间隔更大。

公开(公告)号：TW200636848A

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：TW095104680

申请日：2006-02-13

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 川口博正 KAWAGUCHI, HIROMASA ,  木村敏明 KIMURA, TOSHIAKI ,  河上岳志 KAWAKAMI, TAKESHI

IPC: H01L ,  B24B ,  B32B

CPC classification number: B24B37/24 ,  Y10T428/249989 ,  Y10T428/249991 ,  Y10T428/249992

Abstract: 本發明之課題係提供一種於具有表面波紋之半導體晶圓或電路形成過程產生局部段差之晶圓，沿著該表面波紋或段差，於使晶圓全面均勻、使高低差緩和下可研磨之聚胺基甲酸酯發泡體中，吸水性、水膨脹性極低，不易因水產生變形之研磨墊用緩衝材。本發明之聚胺基甲酸酯發泡體，係於以多元醇與聚異氰酸酯反應所得的聚胺基甲酸酯發泡體中，其特徵為與水之接觸角為90°以上。該聚胺基甲酸酯發泡體以使用疏水性多元醇者較佳，且以形成自己表面層者較佳。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之课题系提供一种于具有表面波纹之半导体晶圆或电路形成过程产生局部段差之晶圆，沿着该表面波纹或段差，于使晶圆全面均匀、使高低差缓和下可研磨之聚胺基甲酸酯发泡体中，吸水性、水膨胀性极低，不易因水产生变形之研磨垫用缓冲材。本发明之聚胺基甲酸酯发泡体，系于以多元醇与聚异氰酸酯反应所得的聚胺基甲酸酯发泡体中，其特征为与水之接触角为90°以上。该聚胺基甲酸酯发泡体以使用疏水性多元醇者较佳，且以形成自己表面层者较佳。

公开(公告)号：TW200636253A

公开(公告)日：2006-10-16

申请号：TW095110876

申请日：2006-03-29

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川浩嗣 ISHIKAWA, KOJI ,  永潤 TOMINAGA, JUN

IPC: G01R

Abstract: 本發明之目的在於提供一種可維持超狹窄間距且使用壽命長之精準度高的接觸探針。本發明之接觸探針(10)係具有於對檢查對象物進行電性檢查之際，直接連接於該檢查對象物之複數個樑狀懸臂(2)，並具備使懸臂(2)進行微小振動之壓電元件(4)，藉由驅動該壓電元件(4)，使懸臂(2)的前端產生上下振動，可容易將檢查對象物電極上的氧化被膜等加以刺破，而確實與電極接觸。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种可维持超狭窄间距且使用寿命长之精准度高的接触探针。本发明之接触探针(10)系具有于对检查对象物进行电性检查之际，直接连接于该检查对象物之复数个梁状悬臂(2)，并具备使悬臂(2)进行微小振动之压电组件(4)，借由驱动该压电组件(4)，使悬臂(2)的前端产生上下振动，可容易将检查对象物电极上的氧化被膜等加以刺破，而确实与电极接触。

公开(公告)号：TWI254477B

公开(公告)日：2006-05-01

申请号：TW093103851

申请日：2004-02-18

Applicant: 日本電氣股份有限公司 NEC CORPORATION ,  日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 吉武務 YOSHITAKE, TSUTOMU ,  真子隆志 MANAKO, TAKASHI ,  木村英和 KIMURA, HIDEKAZU ,  弓削亮太 YUGE, RYOTA ,  久保佳實 KUBO, YOSHIMI ,  勝矢晃弘 KATSUYA, AKIHIRO ,  白石透 SHIRAISHI, TOHRU

IPC: H01M

CPC classification number: H01M4/8605 ,  H01M8/0232

Abstract: 於燃料電池(100)內，構成其燃料極(102)與氧化劑極(108)的基體(104)與基體(105)，均使用金屬纖維片。

Abstract in simplified Chinese: 于燃料电池(100)内，构成其燃料极(102)与氧化剂极(108)的基体(104)与基体(105)，均使用金属纤维片。

公开(公告)号：TWI250283B

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：TW093133774

申请日：2004-11-05

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 KAZAMA, TOSHIO ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI

IPC: G01R ,  H01L ,  H01R

CPC classification number: G01R1/0483 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/07371

Abstract: 一種導電接觸固定架包括固定架底座，形成有開口來容納接地導體。該開口內側係與該接地導體外周邊直接接觸。此種配置可由固定架底座供給接地電位至該接地導體，以及供給穩定接地電位至半導體積體電路。

Abstract in simplified Chinese: 一种导电接触固定架包括固定架底座，形成有开口来容纳接地导体。该开口内侧系与该接地导体外周边直接接触。此种配置可由固定架底座供给接地电位至该接地导体，以及供给稳定接地电位至半导体集成电路。

公开(公告)号：TW200535504A

公开(公告)日：2005-11-01

申请号：TW094109935

申请日：2005-03-30

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 KAZAMA, TOSHIO ,  外間裕康 SOTOMA, HIROYASU

IPC: G02F

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G09G3/3611

Abstract: 本發明提供一種檢查塊件，係在電性連接檢查對象之複數個探針(3)與檢查裝置之間進行電性配線連接的接觸塊件(14)，其係使具有電性接觸各探針(3)之複數個探測面盤(7a)、及設在至少一端部且與各探測面盤(7a)相連接的面盤群(7b)的可撓性配線基板形成曲面並使之彎曲，面盤群(7b)係形成並固定在形成有複數個探測面盤(7a)的面的相反面，使連接於檢查裝置的扁形電纜(9、10)與面盤群(7b)相連接。藉此，可提供一種可形成對應LCD面板等檢查對象之連接端子的密集化的探測面盤且製造容易的接觸塊件。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种检查块件，系在电性连接检查对象之复数个探针(3)与检查设备之间进行电性配线连接的接触块件(14)，其系使具有电性接触各探针(3)之复数个探测面盘(7a)、及设在至少一端部且与各探测面盘(7a)相连接的面盘群(7b)的可挠性配线基板形成曲面并使之弯曲，面盘群(7b)系形成并固定在形成有复数个探测面盘(7a)的面的相反面，使连接于检查设备的扁形电缆(9、10)与面盘群(7b)相连接。借此，可提供一种可形成对应LCD皮肤等检查对象之连接端子的密集化的探测面盘且制造容易的接触块件。

公开(公告)号：TW200428001A

公开(公告)日：2004-12-16

申请号：TW093104323

申请日：2004-02-20

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  仁平崇

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314

Abstract: 高精度地進行形成在TAB，COF等帶的電極墊片的檢查。對於以一定間隔設於帶1的電路圖案形成領域10，10a的複數電極墊片11，藉由大約以垂直狀態配置於測試裝置2的複數探針21從大約垂直方向分別接觸俾進行電性檢查將與對應於各電路圖案形成領域10，10a地形成於帶表面的對位用對準標記13a，13b，13c，13d相對應的標記確認孔26設於測試裝置2，而在測試裝置2與帶1的相反側配置攝影機31的狀態下，一面經由攝影機31進行觀察一面調整測試裝置2與帶1的相對位置使得對準位置位於標記確認孔25的內部。

Abstract in simplified Chinese: 高精度地进行形成在TAB，COF等带的电极垫片的检查。对于以一定间隔设于带1的电路图案形成领域10，10a的复数电极垫片11，借由大约以垂直状态配置于测试设备2的复数探针21从大约垂直方向分别接触俾进行电性检查将与对应于各电路图案形成领域10，10a地形成于带表面的对位用对准标记13a，13b，13c，13d相对应的标记确认孔26设于测试设备2，而在测试设备2与带1的相反侧配置摄影机31的状态下，一面经由摄影机31进行观察一面调整测试设备2与带1的相对位置使得对准位置位于标记确认孔25的内部。

公开(公告)号：TW200308044A

公开(公告)日：2003-12-16

申请号：TW092108720

申请日：2003-04-15

Applicant: 安內華股份有限公司 ANELVA CORPORATION ,  日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 佐護康實 YASUMI SAGO ,  金子一秋 KAZUAKI KANEKO ,  岡田拓士 TAKUJI OKADA ,  池田真義 MASAYOSHI IKEDA ,  立川俊洋 TOSHIHIRO TACHIKAWA ,  井口忠士 TADASHI INOKUCHI ,  茅本隆司 TAKASHI KAYAMOTO

IPC: H01L

CPC classification number: B25B11/002 ,  Y10T279/23

Abstract: 本發明係揭示一ESC基台的結構，其中一夾持電極被被包夾在一緩和層與一包覆層之間。該緩和層與該包覆層在介電板和夾持電極之間具有熱膨脹係數。本發明也揭示一ESC基台的結構，其中一夾持電極被被包夾在一緩和層與一包覆層之間，其具有與該夾持電極之內部應力相反方向的內部應力。本發明進一步揭示一種當該基板被堆持在一高於室溫的溫度時，用於在該基板上進行一處理的基板處理裝置，包含在該處理期間用於支撐該基板之該靜電夾持基台。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系揭示一ESC基台的结构，其中一夹持电极被被包夹在一缓和层与一包覆层之间。该缓和层与该包覆层在介电板和夹持电极之间具有热膨胀系数。本发明也揭示一ESC基台的结构，其中一夹持电极被被包夹在一缓和层与一包覆层之间，其具有与该夹持电极之内部应力相反方向的内部应力。本发明进一步揭示一种当该基板被堆持在一高于室温的温度时，用于在该基板上进行一处理的基板处理设备，包含在该处理期间用于支撑该基板之该静电夹持基台。

公开(公告)号：TW200306426A

公开(公告)日：2003-11-16

申请号：TW092108968

申请日：2003-04-16

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/07314

Abstract: 一開孔（5a）形成在一高強度基板（5）中以提供多數導電接觸單元，且一由塑膠材料製成之支承孔形成構件（7）經由一絕緣摸（6）被填入該開孔中。多數支承孔（2）形成在該支承孔形成構件中，且一螺旋彈簧（8）與導電針構件（9）與（10）安裝在各支承孔中。由於補強材料在該支承件之厚度中的比例甚高，使得該接觸探針支承件可以被作成幾乎與該高強度基板一樣強固。因此，相較於包括一僅嵌入模製之金屬構件，即使當該支承件之厚度減至最小時，亦可確保該支承件之機械強度，且甚至該支承件可以作得更薄。

Abstract in simplified Chinese: 一开孔（5a）形成在一高强度基板（5）中以提供多数导电接触单元，且一由塑胶材料制成之支承孔形成构件（7）经由一绝缘摸（6）被填入该开孔中。多数支承孔（2）形成在该支承孔形成构件中，且一螺旋弹簧（8）与导电针构件（9）与（10）安装在各支承孔中。由于补强材料在该支承件之厚度中的比例甚高，使得该接触探针支承件可以被作成几乎与该高强度基板一样强固。因此，相较于包括一仅嵌入模制之金属构件，即使当该支承件之厚度减至最小时，亦可确保该支承件之机械强度，且甚至该支承件可以作得更薄。