测量控制方法和系统
    57.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110770661B

    公开(公告)日:2023-06-16

    申请号:CN201880038342.9

    申请日:2018-05-25

    Inventor: 洪兑荣 朴珍佑

    Abstract: 提供了一种测量控制方法和系统。根据本发明的实施例的用于控制测量的方法:计算半导体制造中用于特定工艺的特定设备的设备可靠性指数;基于设备可靠性指数,计算用于特定工艺的特定设备的风险分数;和基于风险分数,确定是否测量由用于特定工艺的特定设备处理的半导体产品。因此,根据设备可靠性指数进行差异化质量监控和管理是可行的,测量仪器可被有效地使用,质量和产量可通过及时地测量被提高,并且管理便利性可通过自动的和动态的批次测量控制被增加。

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