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公开(公告)号：CN109075033B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201780022158.0
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 大谷智教 , 千叶启子 , 刘卫军 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。
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公开(公告)号：CN109075032B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201780022094.4
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)的固化性组合物(A1)的层配置在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在固化性组合物(A1)的层上。将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在基板与具有图案的模具之间。该混合层通过用光照射而固化。将模具与固化后的混合层脱离，并且图案形成于基板上。除了溶剂以外的固化性组合物(A1)的各组分的组合物对于模具的表面的接触角不超过10°。
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公开(公告)号：CN110275394B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN107085352B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201710070872.9
申请日：2017-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供压印装置以及物品制造方法。所述压印装置通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案。所述压印装置包括被构造为用光照射压印材料的照射器、以及被构造为控制所述照射器的控制器。令Ic为照射压印材料的光的照度，tc为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，控制器根据下式来确定照射时间：
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公开(公告)号：CN104662049B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201380048860.6
申请日：2013-09-11
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , H01L21/768 , H01L23/532 , H05K3/10
Abstract: 提供一种具有高填充性并能够在通过利用光压印法生产膜时降低脱模力的光固化性组合物，和使用该光固化性组合物的膜的制造方法。光固化性组合物为包括至少下列组分(A)至组分(C)的光固化性组合物：(A)可聚合化合物；(B)光聚合引发剂；和(C)由下列通式(1)表示的表面活性剂：Rf1‑Rc‑X (1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107112209B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN110392919A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201880016546.2
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了图案形成方法，其提供高生产量并可以均匀精度加工的注料区域。图案形成方法，其为光纳米压印技术，依次包括：步骤(1)，将由固化性组合物(A1)形成的层铺设在基板的表面上，该固化性组合物(A1)至少含有充当聚合性化合物的组分(a1)；步骤(2)，将固化性组合物(A2)的液滴离散地逐滴分配至固化性组合物(A1)的层上以铺设液滴，该固化性组合物(A2)至少含有充当聚合性化合物的组分(a2)；步骤(3)，将通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层夹在模具和基板之间；步骤(4)，用光从模具侧照射通过部分混合固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)获得的层以一次地使该层固化；和步骤(5)，在固化之后从由固化性组合物形成的层脱模模具，其中通过每注料区域固化性组合物(A2)的体积(Vr)除以固化性组合物(A1)的体积(Vc)获得的值Vr/Vc为4或更大且15或更小。
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公开(公告)号：CN110275394A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN109952353A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201780070554.0
申请日：2017-11-13
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C09D201/02 , B29C59/02 , B32B27/16 , C09D5/00 , C09D7/63 , H01L21/027
Abstract: 使基板与光固化性组合物粘附的粘合层形成用组合物，其至少含有：固化性基材(A)，其含有至少一个与基底结合的官能团和至少一个自由基聚合性官能团；阻聚剂(B)；和有机溶剂(C)，基于100重量份的固化性基材(A)，该粘合层形成用组合物具有0.1重量份-10重量份的阻聚剂(B)含量。
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公开(公告)号：CN109075032A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022094.4
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)的固化性组合物(A1)的层配置在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在固化性组合物(A1)的层上。将固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的混合层夹持在基板与具有图案的模具之间。该混合层通过用光照射而固化。将模具与固化后的混合层脱离，并且图案形成于基板上。除了溶剂以外的固化性组合物(A1)的各组分的组合物对于模具的表面的接触角不超过10°。
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