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公开(公告)号：JPWO2017110762A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：JP2016087857
申请日：2016-12-20
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: シリカガラスルツボの内部残留応力を正確に測定すること。 本発明は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、側壁部と底部との間に設けられ底部の曲率よりも高い曲率を有するコーナ部と、を備えるシリカガラスルツボの歪を測定する歪測定装置であって、側壁部の側方に配置され、偏光光を側壁部に向けて照射する発光部と、側壁部の上端面の偏光光に応じた映像を取り込む撮像部と、撮像部で取り込んだ映像に基づきシリカガラスルツボの歪の分布を出力する出力部と、を備える。
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公开(公告)号：JP2017138322A
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：JP2017052968
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの気泡の三次元配置を高精度に決定する方法を提供する。 【解決手段】円筒状の側壁部11aと、湾曲した底部11cと、底部よりも曲率が大きいコーナー部11bと、を備え、内表面側に透明シリカガラス層13と、外表面側に気泡含有シリカガラス層15を有するシリカガラスルツボ11の気泡の三次元配置を求める方法。シリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光の2つのピークから内表面距離および界面距離を測定し、複数の測定点の三次元座標と、内表面距離および界面距離とを関連付けることによって、シリカガラスルツボの内表面および界面の三次元形状を求める。内表面の三次元形状上の複数の測定点において、各測定点に対応した位置でのシリカガラスルツボの画像を共焦点顕微鏡の焦点位置をずらしながら取得して気泡の三次元配置を求める。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017132690A
公开(公告)日：2017-08-03
申请号：JP2017039352
申请日：2017-03-02
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】サセプターとシリカガラスルツボとの中心軸を調節することなく、サセプターの内表面とシリカガラスルツボの外表面との間に敷設するだけで互いの中心軸が実質的に一致するようになる、シリコン単結晶引き上げ方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボ21を保持可能なサセプター31の内面形状の三次元データとルツボ21の三次元データに基づき、サセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設するとサセプター31の中心軸32とルツボ21の中心軸22が実質的に一致する様に形成された成形体42を、サセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設する工程を備える、シリコン単結晶引き上げ方法において、サセプター31の中心軸32を、サセプター31を水平方向に回転させる略鉛直方向に通過する軸とする、シリコン単結晶引き上げ方法。 【選択図】図3
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2016064931A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193113
申请日：2014-09-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊でシリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を測定する方法及び測定装置を提供する。 【解決手段】測定の対象となるシリカガラスルツボ1にレーザー光を出射する光出射部2と、光出射部2によりシリカガラスルツボ1内に入射されたレーザー光の散乱の状態を示す散乱状況を測定する散乱状況測定部と、を有している。そして、散乱状況測定部は、シリカガラスルツボ1の厚み方向の各位置の散乱状況を測定するよう構成されているシリカガラスルツボ1の厚み方向の層の構造を測定する装置。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在厚度方向上非破坏性地测量石英玻璃坩埚层的结构的方法和测量装置。解决方案：测量二氧化硅玻璃坩埚层的结构的测量装置 厚度方向的厚度方向1包括向作为测定对象的石英玻璃坩埚1发射激光的发光部2，以及测定表示来自该光源的激光的散射状态的散射环境的散射环境测定部 发光部分2进入石英玻璃坩埚1.散射环境测量部分被配置为测量石英玻璃坩埚1的厚度方向上的每个位置处的散射情况。选择的图：图2
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