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公开(公告)号：CN116338431A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310320764.8
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。
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公开(公告)号：CN114838818A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210609333.9
申请日：2018-03-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/04 , G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/26 , H01L31/0232
Abstract: 滤波器装置具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式配置于封装体的内面；及法布里‑珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，使透过了光透过部的光透过。光透过部包含配置于封装体内且使入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光透过的带通滤波器及将入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光聚光的透镜部而一体地构成。
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公开(公告)号：CN114502929A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202080070357.0
申请日：2020-10-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对的方式配置在安装面；和配置在安装面的温度检测器，温度检测器以在从与安装面垂直的第1方向看时、温度检测器的至少一部分与法布里‑珀罗干涉滤光片的一部分重叠的方式，且以在从第1支承部与光检测器排列的第2方向看时、温度检测器的至少一部分与第1支承部的一部分重叠的方式，配置在安装面，第2方向上的温度检测器与第1支承部之间的第1距离，小于第2方向上的第1支承区域的第1宽度。
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公开(公告)号：CN109196405B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201780032621.X
申请日：2017-05-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 法布里‑帕罗干涉滤光器的制造方法具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层；去除工序，其在形成工序之后，通过蚀刻自牺牲层同时去除二维状地排列的多个去除预定部；切断工序，其在去除工序后，沿着多条线的各个将晶圆切断成多个基板。
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公开(公告)号：CN113358223A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110544596.1
申请日：2016-09-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
Abstract: 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其设置有光透过区域；光检测器，其检测透过光透过区域的光；封装体，其具有开口，收纳法布里‑珀罗干涉滤波器及光检测器；及光透过部，其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面，且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下，法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置，光透过部的外缘位于较法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112955722A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980071042.5
申请日：2019-08-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本公开的分光传感器具备：配线基板，其具有主面；光检测器，其配置于配线基板的主面上；法布里‑珀罗干涉滤波器；间隔件，其设置于配线基板的主面上，以使法布里‑珀罗干涉滤波器与光检测器分离的方式支撑法布里‑珀罗干涉滤波器；及底座，其连接于接地电位，在法布里‑珀罗干涉滤波器与底座之间，形成有电阻小于自法布里‑珀罗干涉滤波器经由间隔件及配线基板到达光检测器的任意的第1电流路径的第2电流路径。
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公开(公告)号：CN108139270B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201680058106.4
申请日：2016-09-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其设置有光透过区域；光检测器，其检测透过光透过区域的光；封装体，其具有开口，收纳法布里‑珀罗干涉滤波器及光检测器；及光透过部，其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面，且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下，法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置，光透过部的外缘位于较法布里‑珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
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公开(公告)号：CN111465884A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201880075333.7
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里-帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里-帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
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公开(公告)号：CN111373521A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201880075402.4
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/673 , G01J3/26 , G02B26/00
Abstract: 一种搬运方法，是用于搬运包含多个法布里-帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将上述对象物收纳于收纳容器的第1工序；上述法布里-帕罗干涉滤波器具有基板、及设置于上述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在上述第1工序中，在上述多个法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将上述对象物收纳于上述收纳容器并支撑。
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公开(公告)号：CN110603430A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201880028870.6
申请日：2018-04-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光测量控制程序为在包含法布里-珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中，通过取得自光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序；上述法布里-珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部，且一对镜面部间的距离对应于一对镜面部间产生的电位差而变化；上述光检测器检测透过法布里-珀罗干涉滤光器的光；且该光测量控制程序使计算机作为以下两者发挥功能：电压控制部，其在开始电信号的取得前，将一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与测量对象的光的波长对应的设定电位差；及信号取得部，其在电压控制部在一对镜面部间产生设定电位差的状态下取得电信号。
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