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公开(公告)号:CN101206399A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200710198725.6
申请日:2007-12-10
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/004 , G02F1/1339
CPC classification number: G02F1/13394 , Y10T428/10 , Y10T428/1082
Abstract: 提供了一种用于形成液晶显示器用柱状间隔物的光敏树脂组合物。所述组合物含有碱溶性树脂、活性不饱和化合物、光引发剂和溶剂。所述碱溶性树脂含有在说明书中所述的式1、2和3表示的结构单元。还提供了使用所述组合物形成的图案。所述图案具有改进的厚度均匀性、良好的显影能力而不会留下任何残余的图象、优异的耐溶剂性和高回收率。
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公开(公告)号:CN101206398A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200710163798.1
申请日:2007-11-08
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C09B5/48 , C08K5/0041
Abstract: 本发明公开了一种用于制备彩色滤光片的颜料分散组合物。该颜料分散组合物含有颜料、粘结剂树脂、分散剂和溶剂。所述颜料为蓝色蒽醌颜料,并用水溶性无机盐和润湿剂处理过。所述颜料分散组合物可以用来制备用于具有良好色彩分离和高透光率的彩色成像仪的彩色滤光片。
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公开(公告)号:CN1243370C
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN02815444.4
申请日:2002-08-06
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/3212 , C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种在制造半导体设备中用于金属布线CMP(化学机械抛光)工艺的组合物,包括过氧化氢、无机酸、丙二胺四乙酸(PDTA)-金属络合物、羧酸、金属氧化物粉末和去离子水,其中PDTA-金属络合物通过防止研磨后的钨氧化物再粘附到抛光后的表面上,在全面改进抛光性能和抛光性能的可重复性方面以及在改进浆液组合物的分散稳定性方面起主要的作用。
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公开(公告)号:CN1196759C
公开(公告)日:2005-04-13
申请号:CN00105586.0
申请日:2000-03-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/302
CPC classification number: C09G1/02 , C01B13/145 , C01B33/1417 , C01P2004/51 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C01P2006/12 , C01P2006/22 , C09K3/1463
Abstract: 本发明公开了一种适用于半导体器件化学机械抛光(CMP)的金属氧化物浆料的制备方法。在预定的压力下,将水中的金属氧化物悬浮物通过分散室的孔口分散,同时使用两个增压泵使作用于分散室的压力保持恒定,其结果限制或降低了大于或等于1微米的大颗粒的产生。金属氧化物浆料的颗粒尺寸是均匀的,其颗粒尺寸分布范围窄,显示了极好的抛光性能,显著地降低了微划痕出现的几率,适用于超集成半导体器件的CMP方法。
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公开(公告)号:CN102197098B
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN200880131760.9
申请日:2008-12-31
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C09B67/46
CPC classification number: C09B67/0022 , C09B67/001 , C09B67/0069
Abstract: 本发明涉及一种颜料分散组合物,包括上述颜料分散组合物的颜色抗蚀剂组合物,以及通过使用颜色抗蚀剂组合物制备的滤色片。颜料分散组合物包括[A]颜料、[B]分散剂、[C]cardo基粘合剂树脂、以及[D]溶剂。
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公开(公告)号:CN101727006B
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN200910179894.4
申请日:2009-10-20
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0048 , Y10S430/107
Abstract: 本发明披露了一种正光敏树脂组合物,该组合物包含(A)第一聚苯并噁唑前体,其包括:化学式1的重复单元以及在至少一个末端的可热聚合官能团;(B)第二聚苯并噁唑前体,其包括化学式3的重复单元;(C)光敏重氮醌化合物;(D)硅烷化合物;以及(E)溶剂。
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公开(公告)号:CN102540717B
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201110185328.1
申请日:2011-07-01
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/075 , G02B5/00 , G02F1/1335
CPC classification number: G03F7/0007 , G02B5/201 , G03F7/027 , G03F7/032
Abstract: 本发明公开了一种光敏树脂组合物和使用该光敏树脂组合物的挡光层,所述光敏树脂组合物包含(A)由以下化学式1或化学式2表示的cardo类单体;(B)cardo类树脂;(C)反应性不饱和化合物;(D)颜料;(E)引发剂;以及(F)溶剂。[化学式1][化学式2]在化学式1和化学式2中,各取代基与说明书中详细记载的相同。
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