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公开(公告)号：KR1019970008389B1
公开(公告)日：1997-05-23
申请号：KR1019930027985
申请日：1993-12-16
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: forming a signal electrode(2) on the surface of a driving substrate(1) selectively, and forming a ceramic wafer(21) where the signal electrode(2) is filled with a glue(20) at constant intervals, and polishing the surface; forming a bias electrode(22) on the center of the surface of the ceramic wafer(21) selectively and forming a Ti(23) on the surface of the bias electrode(22) and the glue(20) region selectively; and forming a mirror(24) selectively on the surface except the center region of the bias electrode(22) and removing the revealed Ti(23) except the glue region(20).
Abstract translation: 在驱动基板（1）的表面上选择性地形成信号电极（2），并且以固定间隔形成信号电极（2）填充有胶（20）的陶瓷晶片（21），并且对表面进行抛光 ; 选择性地在陶瓷晶片表面的中心形成偏压电极（22）并选择性地在偏置电极（22）和胶（20）区域的表面上形成Ti（23） 以及除了偏置电极（22）的中心区域之外的表面上选择性地形成反射镜（24），并除去除了粘合区域（20）之外的露出的Ti（23）。
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公开(公告)号：KR1019970006678B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930021831
申请日：1993-10-20
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: A technique is described that provides a method for fabricating a control device of a light guiding path which does not require a groove where the body of mirror is fitted. The method includes the steps of forming a first groove 43 on the surface of a ceramic plate 41, preparing a ceramic wafer 49 by fixing another ceramic plate in the first groove 43 of the ceramic plate 41, forming signal electrodes 51 at a variation part 45 on the ceramic wafer 49 and then mounting the prepared ceramic wafer 49 on a driving plate 53 so that the signal electrodes 51 can be contacted to a connection terminal 55, forming a bias electrodes 59 on the variation part 45, forming mirror bodies 67 over a nonconducting bond 47 and forming mirror surface 69 at the mirror bodies 67. Thereby, it is possible to increase the planerization degree of the mirror surface 69 and prevent the deterioration thereof.
Abstract translation: 描述了一种技术，其提供了一种用于制造光导路径的控制装置的方法，其不需要安装镜体的凹槽。 该方法包括以下步骤：在陶瓷板41的表面上形成第一凹槽43，通过将另一个陶瓷板固定在陶瓷板41的第一凹槽43中来制备陶瓷晶片49，在变化部分45形成信号电极51 在陶瓷晶片49上，然后将制备的陶瓷晶片49安装在驱动板53上，使得信号电极51可以与连接端子55接触，在变化部分45上形成偏压电极59， 非导体接合部47以及在镜体67上形成镜面69.由此，能够提高镜面69的平面化度并防止其变差。
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公开(公告)号：KR1019970012960A
公开(公告)日：1997-03-29
申请号：KR1019950025840
申请日：1995-08-22
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀을 통하여 구동 기판상의 패드와 도전층을 배선시키기 위한 방법에 관한 것으로서, 패드가 형성된 구동 기판상에 제1절연층 및 제1도정층을 순차적으로 형성시킨 후 상기 제1도전층의 일부를 제거하는 제1단계와 상기 제1도전층상에 제2절연층을 형성시킨 후 상기 제2절연층, 제1도전층 및 제1절연층을 순차적으로 제거하여 콘택홀을 형성시켜서 상기 패드를 노출시키는 제2단계와, 상기 제2절연층상에 도전체를 적층시켜서 제2도전층을 형성시켜서 상기 패드와 전기적으로 연결시키는 제3단계로 이루어지며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상 시킬 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970008492A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950023348
申请日：1995-07-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H01L21/768
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀 주위를 평탄화시키기 위한 다층 배선 평탄화 방법을 개시한다. 본 발명은 구동 기판상에 형성된 제1절연층을 패터닝시켜서 콘택홀을 형성시키고 상기 제1절연층상에 제1도전층을 형성시키는 제1단계와, 상기 제1도전층상에 스핀 온 코팅 공정에 의하여 제2절연층을 형성시킨 후 식각시켜서 상기 제1도전층의 일부를 노출시키는제2단계와, 상기 제1도전층상에 압전 세라믹 또는 전왜 세라믹을 적층시켜서 제3절연층을 형성시키는 제3단계로 이루어진광로 조절 장치의 다층 배선 평탄화 방법에 의해서 달성되며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019960043852A
公开(公告)日：1996-12-23
申请号：KR1019950013360
申请日：1995-05-26
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 구동기판위의 희생막, 멤브레인, 플러그 및 하부전극을 순차적으로 형성한 후 하부전극의 소정 부분을 식각하여 스트라이프를 형성한다. 그리고, 하부전극의 상부와 스트라이프를 채우도록 변형부를 형성하고 이 변형부의 상부에 상부전극을 형성한다. 계속해서, 상부전극, 변형부, 하부전극 및 멤브레인 들을 구동기판이 노출되도록 식각하여 액츄에이터을 이웃하는 액츄에이터들(도시되지 않음)이 분리되도록 한다. 그리고, 상부전극의 표면 및 액츄에이터들이 분리에 의한 측면들에 보호막을 형성한후 희생막을 불산용액(HF) 등의 식각 용액으로 제거한다. 그 다음, 보호막을 제거하여 에어 갭을 형성한다. 따라서, 본 발명은 하부전극에 스트라이프를 형성하여 상부전극을 균일하게 작동시키고 상부전극에 입사되는 광이 난반사되는 것을 방지하여 광효율이 향상된다.
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公开(公告)号：KR1019960001803A
公开(公告)日：1996-01-25
申请号：KR1019940015346
申请日：1994-06-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 트렌지스터들이 매트릭스 형태로 내장된 구동기판의 상부에 상기 트랜지스터가 형성된 부분을 제외한 부분에 희생막을 형성하는 공정과, 상기 구동기판과 희생막의 상부에 멤브레인을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인의 상부에 일측이 상기 희생막과 중첩되고 타측이 상기 희생막과 중첩되지 않도록 신호전극을 형성하는 공정과, 상기 신호전극의 상부에 상기 신호전극 타측의 소정부분이 노출되도록 변형부를 형성하는 공정과, 상기 변형부의 상부에 바이어스전극으로도 사용되는 반사막을 형성하는 공정과, 상기 멤브레인의 노출된 부분을 제거하여 상기 트랜지스터의 드레인영역과 접촉되는 플러그를 형성하는 공정과, 상기 플러그와 신호전극을 전기적으로 연결하는 드레인전극을 형성하는 공정과, 상기 희생막을 제거하는 공정을 구비한다. 따라서, 본 발명은 변형부를 형성한 후에 플러그와 드레인전극을 형성하므로 열처리시 고온공정에 의해 발생되는 구동기판의 열화를 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019950029794A
公开(公告)日：1995-11-24
申请号：KR1019940009504
申请日：1994-04-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02B26/08
Abstract: 본 발명은 광로조절장치 및 그제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 제1 및 제2접속단자를 갖는 구동기판과; 상기 구동기판에 상기 제1 및 제2접속단자를 각각 에워싸며 분리되게 형성된 지지부와, 상기 지지부를 관통하여 상기 제1 및 제2접속단자와 접촉되게 형성된 제1플러그와, 상기 지지부의 상부에 일측의 소정부분이 접촉되도록 실장되며 상기제1플러그와 전기적으로 연결되는 신호전극과, 상기 제1 및 제2접속단자를 전기적으로 분리하기 위해 신호전극의 소정부분을 에워싸는 절연체와, 상기 변형부의 소정부분을 관통하도록 형성되어 상기 제2접속단자와 전기적으로 연결되는 신호전극과 접촉하는 제2플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부에 일측부분과 타측부분이 전기적 및 물리적으로 분리되게 형성되되 일측부분이 상기 제2프러그와 접촉되는 거울로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 변형부 상부의 일측부분에 형성된 거울이 바이어스 전극으로 사용되어 변형부는 이와 중첩되는 일측부분에서만 휘어짐이 발생되고 나머지 타측부분이 평탄하게 경사지므로 광특성을 향상시킬 수 있으며, 또한, 변형부의 휘어지는 면적이 축소되므로 거울과의 계면에서 발생되는 응력을 감소시킬 수 있어 크랙 발생 및 박리현상을 감소시킬 수 있는 잇점이있고, 바이어스 전압이 구동기판에 형성된 도선 패턴에 의해 공통으로 바이어스 전극에 인가되므로 바이어스 전극의 결함시 열방향의 모든 액츄에이터가아닌 해당되는 액츄에이터만 구동되지 않아 손실을 최소화할 수 있다.
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