비평형 마그네트론 스퍼터링 증발원
    51.
    发明授权
    비평형 마그네트론 스퍼터링 증발원 失效
    非平衡磁控溅射蒸发器

    公开(公告)号:KR100298600B1

    公开(公告)日:2001-09-22

    申请号:KR1019980053863

    申请日:1998-12-09

    Inventor: 정재인 박형국

    Abstract: 본 발명은 금속, 세라믹 그리고 플라스틱 등의 소재에 박막을 형성시키거나, 각종 소재의 표면처리에 활용하는 피막물질을 증발시키는데 사용되는 마그네트론 스퍼터링 증발원에 관한 것으로, 불활성가스 분위기에서 타겟에 고전압을 인가하여 발생된 이온을 이용하여 물질을 증발시키는데 사용되는 마그네트론 스퍼터링 증발원에 있어서, 증발원 외부에 별도의 자장을 인가하여 기판의 이온화율을 증대시켜 피막의 특성을 향상시키는 비평형 마그네트론 방식을 이용하되, 전자석의 주위를 금속으로 이루어진 보강판으로 감쌈으로서 증발율을 향상시키면서 동시에 낮은 전자석 전류에서도 이온화율을 향상시키도록 한 것을 특징으로 하여, 이온화율이 높으면서도, 증발율이 우수하기 때문에, 각종 박막의 제조는 물론, 특히 시계와 같은 대인 장식용 � ��품의 장식성 향상 및 공구나 기계류 그리고 금형과 같은 제품의 수명향상을 위하여 사용되는 화합물 박막의 제조에 유용하게 사용될 수 있는 효과가 있다.

    아연계 도금강판의 파우더링성 및 도금밀착성 동시 측정방법
    52.
    发明公开
    아연계 도금강판의 파우더링성 및 도금밀착성 동시 측정방법 失效
    用于测量钢化玻璃板的金属和镀层粘合的方法

    公开(公告)号:KR1020000038759A

    公开(公告)日:2000-07-05

    申请号:KR1019980053860

    申请日:1998-12-09

    Inventor: 박형국 정재인

    Abstract: PURPOSE: A method for measuring fineness and plating adhesion of a galvanized steel plate is provided to accurately measure the fineness and the plating adhesion by using a scratch manner. CONSTITUTION: In a method for measuring fineness and plating adhesion of a galvanized steel plate, a vertical force is first applied to a test piece(1) using a diamond tip(2), then the test piece(1) is moved by a test piece moving device to remove the plated layer. A sound wave generated when the plated layer is removed is measured by a sound wave measuring device(5), then the measured sound wave is converted into a digital signal. The digital signal is transmitted to a computer so that a plating adhesion can be measured. Light is radiated to the test piece(1), and the reflected light from the test piece(1) is captured by a digital camera(7). The captured light is transmitted to the computer(9) so that the fineness of the plated layer can be measured.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于测量镀锌钢板的细度和电镀附着力的方法,以通过刮擦方式精确地测量细度和电镀附着力。 构成:在镀锌钢板的细度和电镀附着力的测定方法中,首先使用金刚石尖端(2)将垂直力施加到试验片(1),然后通过试验移动试片(1) 片移动装置以去除镀层。 通过声波测量装置(5)测量去除镀层时产生的声波,然后将测得的声波转换为数字信号。 数字信号被传送到计算机,从而可以测量电镀附着力。 光被照射到测试件(1),并且来自测试件(1)的反射光被数字照相机(7)捕获。 捕获的光被传送到计算机(9),从而可以测量镀层的细度。

    레이저를이용한합금강의성분함량측정방법

    公开(公告)号:KR1019980049732A

    公开(公告)日:1998-09-15

    申请号:KR1019960068462

    申请日:1996-12-20

    Abstract: 본 발명은 레이저를 이용하여 합금강의 성분함량을 측정하는 방법의 개선에 관한 것이다.
    본 발명의 방법은 레이저빔을 합금강 표면에 조사하고 그때 합금강 표면으로부터 발생하는 플라즈마 복사선의 세기를 이용하여 합금강의 성분함량을 측정하는 방법으로서, 플라즈마 복사선 측정시기별 합금강 주위의 공기를 브레이크다운시켜 공기에 의한 배경신호의 영향이 없는 시간대를 선택하여 측정하는 것을 특징으로 한다. 상기 측정 시간대의 바람직한 범위는 약 10-16μsec이다.
    이러한 본 발명의 방법은 공기에 의한 배경신호의 영향이 없는 시간대에 측정을 행함으로써 보다 정확한 합금강 성분함량 측정이 가능한 효과를 제공한다.

    고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템
    54.
    发明授权
    고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템 失效
    高温气体检测设备实时性能评估系统

    公开(公告)号:KR100174651B1

    公开(公告)日:1999-05-15

    申请号:KR1019960054388

    申请日:1996-11-15

    Abstract: 본 발명은 고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템에 관한 것으로, 측정대상 기체의 온도측정을 위해 측정대상 기체로 입사하는 레이저 광선의 일부를 광대역 빛살가르개로 분리하고, 렌즈를 통과시켜 미리 내부의 고정된 온도를 알고 있는 진단장치 성능평가용 고온가열로의 내부로 집광시킴과 동시에 광섬유 헤드와 광섬유를 이용하여 측정대상 기체의 온도측정에 사용되는 신호처리장치인 분광기 및 컴퓨터로 전송함으로서 측정대상 기체와 온도가열로의 측정조건을 일치시킨 상태에서 측정대상 기체의 온도와 고온가열로의 온도를 동시에 측정하고, 측정된 고온가열로의 온도와 미리 알고 있는 고온가열로의 온도를 비교하여 고온기체 진단장치의 성능을 평가하도록 한 것이다.

    이온빔에 의한 경질 흑색성 박막의 코팅방법
    55.
    发明公开
    이온빔에 의한 경질 흑색성 박막의 코팅방법 失效
    离子束硬质黑色薄膜的涂覆方法

    公开(公告)号:KR1019980074636A

    公开(公告)日:1998-11-05

    申请号:KR1019970010559

    申请日:1997-03-26

    Abstract: 본 발명은 시계 케이스나 시계줄, 안경테, 반지 등에 광택을 갖는 흑색박막을 코팅하여 장식성을 높일 수 있도록 한 이온빔에 의한 경질 흑색성 박막의 코팅방법에 관한 것으로, 질소가스 분위기하에서 티타늄 금속을 증발시켜 기판상에 티타늄금속막을 형성하는 증착공정과 동시에 이온빔발생기에서 불활성 가스를 기판에 조시시켜 기판상에 화합물 박막을 형성시키는 티타늄화합물 박막의 형성방법에 있어서, 불활성가스의 에너지와 불활성가스 이온의 도달율을 조절하여 경질 흑색성 박막을 코팅하되, 상기, 불활성 가스는 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe)으로 하고, 불활성가스 이온의 에너지는 150~250V로 하며, 이온의 도달율은 0.22~0.35로 하고, 박막내의 산소성분은 10~30at%로 하며, 기판이 초기온도는 상온으로 하여 경질 흑색성 박막을 형성� �여서 된 것이다.

    이온빔을 이용한 TiN박막의 코팅방법
    56.
    发明授权
    이온빔을 이용한 TiN박막의 코팅방법 失效
    使用离子束镀锡的方法

    公开(公告)号:KR100237166B1

    公开(公告)日:2000-01-15

    申请号:KR1019970010558

    申请日:1997-03-26

    Abstract: 본 발명은 대형 장식용 제품의 장식성 향상 및 공구나 기계류 그리고 금형제품과 같은 물질의 수명향상을 위하여 모재에 전자빔증발기와 이온빔을 이용하여 TiN박막을 코팅시키는 방법에 관한 것으로, 질소가스 분위기하에서 티타늄 금속을 증발시켜 기판상에 티타늄 금속막을 형성하는 증착공정과, 동시에 이온빔 발생기에서 불활성 가스를 기판에 조사시켜 기판상 TiN박막을 형성시키는 통상의 방법에 있어서, 불활성가스의 에너지와 불활성가스 이온의 도달율을 곱한 원자당 에너지를 E
    c 라고 할 때, 이 E
    c 를 일정한 값이 이상이 되도록 조절하여 TiN 박막을 형성하되, 상기 불활성 가스는 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe)으로 하고, E
    c 의 값은 550V이상으로 하며, 기판의 초기온도는 상온으로 하여서 된 것이다.

    이온빔에 의한 경질 흑색성 박막의 코팅방법
    57.
    发明授权
    이온빔에 의한 경질 흑색성 박막의 코팅방법 失效
    使用离子束对硬黑色层的涂层方法

    公开(公告)号:KR100228224B1

    公开(公告)日:1999-11-01

    申请号:KR1019970010559

    申请日:1997-03-26

    Abstract: 본 발명은 시계 케이스나 시계줄, 안경테, 반지 등에 광택을 갖는 흑색박막을 코팅하여 장식성을 높일수 있도록 한 이온빔에 의한 경질 흑색성 박막의 코팅방법에 관한 것으로, 질소가스 분위기하에서 티타늄 금속을 증발시켜 기판상에 티타늄금속막을 형성하는 증착공정과 동시에 이온빔발생기에서 불활성 가스를 기판에 조사시켜 기판상에 화합물 박막을 형성시키는 티타늄화합물 박막의 형성방법에 있어서, 불활성가스의 에너지와 불활성가스 이온의 도달율을 조절하여 경질 흑색성 박막을 코팅하되, 상기, 불활성 가스는 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe)으로 하고, 불활성가스 이온의 에너지는 150~250V로 하며, 이온의 도달율은 0.22~0.35로 하고, 박막내의 산소성분은 10~30at%로 하며, 기판의 초기온도는 상온으로 하여 경질 흑색성 박막을 형성하 여서 된 것이다.

    이온빔을 이용한 TiN박막의 코팅방법
    58.
    发明公开
    이온빔을 이용한 TiN박막의 코팅방법 失效
    TiN薄膜的离子束涂覆方法

    公开(公告)号:KR1019980074635A

    公开(公告)日:1998-11-05

    申请号:KR1019970010558

    申请日:1997-03-26

    Abstract: 본 발명은 대형 장식용 제품의 장식성 향상 및 공구나 기계류 그리고 금형제품과 같은 물질의 수명향상을 위하여 모재에 전자빔증발기와 이온빔을 이용하여 TiN 박막을 코팅시키는 방법에 관한 것으로, 질소가스 분위기하에서 티타늄 금속을 증발시켜 기판상에 티타늄 금속막을 형성하는 증착공정과, 동시에 이온빔 발생기에서 불활성 가스를 기판에 조사시켜 기판상에 TiN 박막을 형성시키는 통상의 방법에 있어서 ;
    불활성가스의 에너지와 불활성가스 이온의 도달율을 곱한 원자당 에너지를 E
    c 라고 할 때, 이 E
    c 를 일정한 값 이상이 되도록 조절하여 TiN 박막을 형성하되, 상기 불활성 가스는 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe)으로 하고, E
    c 의 값은 550V이상으로 하며, 기판의 초기온도는 상온으로 하여서 된 것이다.

    고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템
    59.
    发明公开
    고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템 失效
    高温气体诊断实时性能评估系统

    公开(公告)号:KR1019980035930A

    公开(公告)日:1998-08-05

    申请号:KR1019960054388

    申请日:1996-11-15

    Abstract: 본 발명은 고온기체 진단장치의 실시간 성능평가 시스템에 관한 것으로, 측정대상 기체의 온도측정을 위해 측정대상 기체로 입사하는 레이저 광선의 일부를 광대역 빛살가르개로 분리하고, 렌즈를 통과시켜 미리 내부의 고정된 온도를 알고 있는 진단장치 성능평가용 고온가열로의 내부로 집광시킴과 동시에 광섬유 헤드와 광섬유를 이용하여 측정대상 기체의 온도측정에 사용되는 신호처리장치인 분광기 및 컴퓨터로 전송함으로서 측정대상 기체와 고온가열로의 측정조건을 일치시킨 상태에서 측정대상 기체의 온도와 고온가열로의 온도를 동시에 측정하고, 측정된 고온가열로의 온도와 미리 알고 있는 고온가열로의 온도를 비교하여 고온기체 진단장치의 성능을 평가하도록 한 것이다.

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