광 스위칭 소자, 그것의 제조방법 및 그것의 어레이 구조
    51.
    发明公开
    광 스위칭 소자, 그것의 제조방법 및 그것의 어레이 구조 失效
    光开关元件及其制造方法及其阵列结构

    公开(公告)号:KR1020030077792A

    公开(公告)日:2003-10-04

    申请号:KR1020020016686

    申请日:2002-03-27

    Abstract: PURPOSE: An optical switching element, a fabricating method thereof, and an array structure thereof are provided to form the optical switching element by using an active matrix method and form a mirror portion by using an X-ray lithography method. CONSTITUTION: An optical switching element includes a substrate, a TFT(300), the first insulating layer, the first driving electrode(440), the second driving electrode(445a), an actuator, a support portion, and a mirror portion. The TFT(300) is formed on the substrate. The TFT(300) is coated with the first insulating layer. The first driving electrode(440) is connected to a drain of the TFT(300). The second driving electrode(445a) is formed at an upper portion of the first insulating layer. The actuator is formed with a conductive layer. The support portion is extended from the actuator. The mirror portion is formed on the support portion.

    Abstract translation: 目的:提供一种光开关元件及其制造方法及其阵列结构,通过使用有源矩阵法形成光开关元件,并通过使用X射线光刻法形成镜部。 构成:光开关元件包括基板,TFT(300),第一绝缘层,第一驱动电极(440),第二驱动电极(445a),致动器,支撑部分和反射镜部分。 TFT(300)形成在基板上。 TFT(300)涂覆有第一绝缘层。 第一驱动电极(440)连接到TFT(300)的漏极。 第二驱动电极(445a)形成在第一绝缘层的上部。 致动器形成有导电层。 支撑部分从致动器延伸。 反射镜部分形成在支撑部分上。

    중이온 빔 발생 장치 및 방법

    公开(公告)号:KR102243549B1

    公开(公告)日:2021-04-21

    申请号:KR1020140122284

    申请日:2014-09-15

    Inventor: 신동호 정문연

    Abstract: 본발명에의한중이온빔 발생장치는레이저빔을생성하는레이저빔 발생부; 상기레이저빔에의해중성자빔을생성하는타깃; 상기레이저빔을상기타깃의전면에집속시키는레이저광학계; 및상기타깃후면에배치되고, 상기타깃후면에양이온플라즈마를조사하여플라즈마표면처리에의하여상기타깃내부에있는불순물질을제거하는플라즈마처리부;를포함한다.

    방사선 발생 장치
    54.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102202265B1

    公开(公告)日:2021-01-14

    申请号:KR1020140056734

    申请日:2014-05-12

    Abstract: 다종의고에너지방사선을동시에발생시킬수 있는방사선발생장치에관한기술이개시된다. 방사선발생장치는기판및 기판상에위치하고, 탄소를함유하는물질및 수소를함유하는물질을포함하는박막타깃을포함한다. 박막타깃에조사되는레이저빔에기초하여발생하는폰더모티브력 (Ponderomotive Force)에의해적어도두 종류이상의방사선이발생한다.

    이온 발생용 타깃 및 이를 이용한 치료 장치

    公开(公告)号:KR101923977B1

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:KR1020120103021

    申请日:2012-09-17

    Abstract: 이온발생용타깃및 이를이용한치료장치가제공된다. 이치료장치는제 1 면및 제 1 면에대향하는제 2 면을가지되, 그를관통하도록제 1 면으로부터제 2 면을향해좁아지고그의내벽이금속으로구성된콘형구멍을갖는기판, 기판의제 2 면에부착되되, 기판의제 1 면의콘형구멍으로입사되어증강된레이저빔에의해이온을발생시키는이온발생용박막, 및이온발생용박막으로부터이온을발생시켜환자의종양부위로투사하기위해, 기판의제 1 면의콘형구멍의내부로레이저빔을입사시키기위한레이저를포함한다. 콘형구멍의내부로입사된레이저빔은콘형구멍에의한집속에의해그 세기가증강되고, 증강된레이저빔에의해이온발생용박막으로부터이온이방출된다.

    저전력 구동을 위한 마이크로 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:KR101772575B1

    公开(公告)日:2017-08-30

    申请号:KR1020130085557

    申请日:2013-07-19

    CPC classification number: G01N27/128

    Abstract: 본발명은저전력구동을위한마이크로반도체식가스센서및 그제조방법에관한것으로, 에어갭(air gap)을갖는기판, 상기기판상에제공되고전극패드들을포함하는주변부, 상기에어갭 상에플로팅(floating) 되고상기전극패드들로부터연결되는감지전극들과상기감지전극들상의감지막을포함하는센서부및 상기주변부와상기센서부를연결하고상기전극패드들과상기감지전극들을전기적으로연결하는도전선들을포함하는연결부를포함하고, 상기에어갭은상기기판을관통하고, 상기에어갭으로부터상기주변부와상기센서부사이로연장되는열 고립영역이제공되는마이크로반도체식가스센서및 그의제조방법이제공된다.

    앙상블 프로브 키트, 그를 포함하는 생체 항원 검출 장치, 및 항원 검출 방법
    59.
    发明公开
    앙상블 프로브 키트, 그를 포함하는 생체 항원 검출 장치, 및 항원 검출 방법 审中-实审
    集合探针试剂盒,包含其的生物抗原检测装置和抗原检测方法

    公开(公告)号:KR1020170088698A

    公开(公告)日:2017-08-02

    申请号:KR1020160008932

    申请日:2016-01-25

    Abstract: 본발명은앙상블프로브키트, 그를포함하는생체항원측정장치, 및그의측정방법을개시한다. 그의키트는, 생체특이적결함(bio-specific binding)을갖는제 1 수용체를포함하는플레이트프로브와, 상기플레이트프로브로제공되는항원에의해상기제 1 수용체와연결되는제 2 수용체를갖는입자프로브들을포함한다.

    Abstract translation: 本发明公开了一种整体探针试剂盒,包括其的活体抗原测量装置及其测量方法。 所述试剂盒包含板式探针,所述板式探针包含具有生物特异性结合的第一受体和具有通过板探针提供的抗原连接至第一受体的第二受体的粒子探针, 它包括。

    빔 집속기 및 그를 구비하는 입자 빔 깊이 프로파일 측정 장치
    60.
    发明公开
    빔 집속기 및 그를 구비하는 입자 빔 깊이 프로파일 측정 장치 审中-实审
    一种光束聚光器和具有该光束聚光器的粒子束深度轮廓测量装置

    公开(公告)号:KR1020170067640A

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:KR1020160102585

    申请日:2016-08-11

    Abstract: 본발명은빔 집속기및 그를구비하는입자빔 깊이프로파일측정장치를개시한다. 그의집속기는, 하우징과셔터를포함한다. 하우징은입구로부터출구까지제 1 방향으로뿔 모양을갖는제 1 홀과, 상기입구에인접하는상기제 1 홀로부터분기하여상기제 1 방향과교차하는제 2 방향으로형성된제 2 홀과, 상기제 2 홀과상기출구사이에배치된제 3 홀을가질수 있다. 셔터는제 3 홀을개페하고, 제 1 홀의내벽을따라연장할수 있다.

    Abstract translation: 本发明公开了一种用于测量包括该束聚光器的粒子束深度分布的束聚光器和设备。 外壳包括外壳和快门。 该壳体具有一第二孔从入口到具有喇叭形状的第一孔的出口处的第一方向上分支,在第二方向交叉的第一方向,其中,在形成邻近入口的第一孔 第三个孔位于两个孔和出口之间。 活门可打开第三孔并沿第一孔的内壁延伸。

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