公开(公告)号：US20140160900A1

公开(公告)日：2014-06-12

申请号：US14233303

申请日：2012-07-17

Applicant: David Richard ,  Stewes Bourban

Inventor： David Richard ,  Stewes Bourban

IPC: G04B15/14 ,  G04B13/02 ,  G04B31/004 ,  G04B1/14

CPC classification number: G04B13/02 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0095 ,  C10M2201/041 ,  C23C16/26 ,  C23C16/27 ,  G04B1/14 ,  G04B1/145 ,  G04B13/022 ,  G04B15/14 ,  G04B31/004 ,  G04B31/08

Abstract: A functional micromechanical timepiece assembly including at least a first component, including a first layer defining a first contact surface configured to come into friction contact with a second contact surface defined by a second layer, the second layer belonging, either to the first component, or to at least a second micromechanical component forming the assembly with the first component. The first and second layers each include carbon with at least 50% carbon atoms and, on the first and second contact surfaces, the layers have different surface crystalline plane orientations from each other.

Abstract translation: 一种功能微机械钟表组件，其至少包括第一部件，所述第一部件包括限定第一接触表面的第一层，所述第一接触表面被构造成与由第二层限定的第二接触表面摩擦接触，所述第二层属于第一部件， 至少第二微机械部件与第一部件形成组件。 第一层和第二层各自包含具有至少50％碳原子的碳，并且在第一和第二接触表面上，这些层具有彼此不同的表面晶面取向。

公开(公告)号：US20140096392A1

公开(公告)日：2014-04-10

申请号：US14103243

申请日：2013-12-11

Applicant: PATEK PHILIPPE SA GENEVE

Inventor： Frédéric MAIER ,  Stéphane VON GUNTEN ,  Sylvain JEANNERET

IPC: G04D3/00

CPC classification number: G04D3/00 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C99/0095 ,  G04B5/165 ,  G04B13/02 ,  G04B13/022 ,  G04B13/026 ,  G04B17/063 ,  G04D3/0069 ,  G04F7/08 ,  Y10T29/49579 ,  Y10T29/49581

Abstract: A method of manufacturing a timepiece component, such as a balance, an oscillating mass or a wheel, comprises a micro-manufacturing technique, such as the DRIE technique. The method may comprise forming at least one member in or at the periphery of the structure, of a material different from that of the structure. This member is typically metal and is formed by electro-forming using a cavity of the structure as a mold.

Abstract translation: 制造诸如天平，振动块或车轮的钟表件的方法包括诸如DRIE技术的微制造技术。 该方法可以包括在结构中或其周围的至少一个构件上形成不同于该结构材料的材料。 该构件通常是金属，并且通过使用结构的空腔作为模具进行电成型而形成。

公开(公告)号：US20100054089A1

公开(公告)日：2010-03-04

申请号：US12522666

申请日：2008-02-15

Applicant: Frédéric Maier ,  Stéphane Von Gunten ,  Sylvain Jeanneret

Inventor： Frédéric Maier ,  Stéphane Von Gunten ,  Sylvain Jeanneret

IPC: G04B17/00 ,  B23P15/00 ,  C25D1/00

CPC classification number: G04D3/00 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C99/0095 ,  G04B5/165 ,  G04B13/02 ,  G04B13/022 ,  G04B13/026 ,  G04B17/063 ,  G04D3/0069 ,  G04F7/08 ,  Y10T29/49579 ,  Y10T29/49581

Abstract: The invention relates to a timepiece component, such as a balance (1), an oscillating mass (12) or a wheel (20), that comprises a structure (2) made according to a micro-manufacturing technique, such as the DRIE technique. The component is characterised in that it further comprises at least one member (3) formed in or at the periphery of the structure (2) and made of a material different from that of the structure (2). This member (3) is typically metal and is formed by electro-forming using a cavity (7) of the structure (2) as a mould.

Abstract translation: 本发明涉及一种钟表构件，例如天平（1），振动块（12）或轮（20），其包括根据微制造技术制成的结构（2），例如DRIE技术 。 该部件的特征在于，其还包括至少一个形成在结构（2）的周边或周围的构件（3），并且由不同于结构（2）的材料制成。 该构件（3）通常为金属，并且通过使用结构（2）的空腔（7）作为模具进行电成型而形成。

公开(公告)号：US07204971B2

公开(公告)日：2007-04-17

申请号：US10160292

申请日：2002-05-30

Applicant: Kenneth H. Sandhage

Inventor： Kenneth H. Sandhage

IPC: C01B13/14

CPC classification number: G01N33/54346 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00 ,  B81C99/0085 ,  G01N33/54353 ,  G01N33/544 ,  Y10S977/811 ,  Y10S977/84 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/90

Abstract: The present invention is focused on a revolutionary, low-cost (highly-scaleable) approach for the mass production of three-dimensional microcomponents: the biological reproduction of naturally-derived, biocatalytically-derived, and/or genetically-tailored three-dimensional microtemplates (e.g., frustules of diatoms, microskeletons of radiolarians, shells of mollusks) with desired dimensional features, followed by reactive conversion of such microtemplates into microcomponents with desired compositions that differ from the starting microtemplate and with dimensional features that are similar to those of the starting microtemplate. Because the shapes of such microcomponents may be tailored through genetic engineering of the shapes of the microtemplates, such microcomposites are considered to be Genetically-Engineered Materials (GEMs).

Abstract translation: 本发明集中在用于大规模生产三维微型组件的革命性的低成本（高度可扩展）方法：天然衍生的，生物催化衍生的和/或基因定制的三维微型模板的生物繁殖 （例如，硅藻的截头圆锥体，放射体的微骨架，软体动物的壳）具有所需的尺寸特征，随后将这种微模板反应转化成具有与起始微模板不同的所需组成的微组件，并具有与起始微模板类似的尺寸特征 微模板。 由于这些微型组件的形状可以通过微型模板的形状的遗传工程来定制，所以这种微复合材料被认为是基因工程材料（GEM）。

公开(公告)号：US20050103635A1

公开(公告)日：2005-05-19

申请号：US10506015

申请日：2003-05-23

Applicant: Kazuhisa Arai ,  Kazunori Ishikawa

Inventor： Kazuhisa Arai ,  Kazunori Ishikawa

IPC: B81C99/00 ,  B81C1/00 ,  C25D5/02

CPC classification number: B81C99/0085 ,  B81B2201/035

Abstract: To produce a micro component, a resin base (1) capable of being dissolved by a solvent is formed, physical external force is allowed to act on the resin base (1) to form a concave (3) and after a metal is filled into the concave (3), an excessive metal is removed by grinding and the resin base (1) is dissolved by the solvent. Consequently, the necessity for lithography apparatuses such as a stepper and an etching apparatus can be eliminated, economy can be improved and production of components having complicated shapes that the lithographic technology cannot easily produce can also be produced.

Abstract translation: 为了制造微量成分，形成能够通过溶剂溶解的树脂基材（1），使物理外力作用于树脂基材（1）以形成凹部（3），并且在金属填充后 通过研磨将凹部（3）除去多余的金属，树脂基材（1）被溶剂溶解。 因此，可以消除诸如步进机和蚀刻装置之类的光刻设备的必要性，可以提高经济性，并且还可以生产具有复杂形状的部件，使平版印刷技术不容易制造。

公开(公告)号：US20030039693A1

公开(公告)日：2003-02-27

申请号：US10160292

申请日：2002-05-30

Applicant: The Ohio State University

Inventor： Kenneth H. Sandhage

IPC: B27N003/08 ,  A61K009/14 ,  C23C016/00

CPC classification number: G01N33/54346 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00 ,  B81C99/0085 ,  G01N33/54353 ,  G01N33/544 ,  Y10S977/811 ,  Y10S977/84 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/90

Abstract: The present invention is focused on a revolutionary, low-cost (highly-scaleable) approach for the mass production of three-dimensional microcomponents: the biological reproduction of naturally-derived, biocatalytically-derived, and/or genetically-tailored three-dimensional microtemplates (e.g., frustules of diatoms, microskeletons of radiolarians, shells of mollusks) with desired dimensional features, followed by reactive conversion of such microtemplates into microcomponents with desired compositions that differ from the starting microtemplate and with dimensional features that are similar to those of the starting microtemplate. Because the shapes of such microcomponents may be tailored through genetic engineering of the shapes of the microtemplates, such microcomposites are considered to be Genetically-Engineered Materials (GEMs).

Abstract translation: 本发明集中在用于大规模生产三维微型组件的革命性的低成本（高度可扩展）方法：天然衍生的，生物催化衍生的和/或基因定制的三维微型模板的生物繁殖 （例如，硅藻的截头圆锥体，放射体的微骨架，软体动物的壳）具有所需的尺寸特征，随后将这种微模板反应转化成具有与起始微模板不同的所需组成的微组件，并具有与起始微模板类似的尺寸特征 微模板。 因为这些微型组件的形状可以通过微模板的形状的基因工程来定制，所以这种微复合材料被认为是基因工程材料（GEM）。

公开(公告)号：US5242711A

公开(公告)日：1993-09-07

申请号：US746458

申请日：1991-08-16

Applicant: Jeffrey D. DeNatale ,  John F. Flintoff ,  Alan B. Harker ,  Patrick J. Hood ,  Gerald D. Robinson

Inventor： Jeffrey D. DeNatale ,  John F. Flintoff ,  Alan B. Harker ,  Patrick J. Hood ,  Gerald D. Robinson

IPC: B81B3/00 ,  B81C99/00 ,  C23C16/02 ,  C23C16/27 ,  G02B1/11 ,  G03F7/00

CPC classification number: G02B1/118 ,  B81C1/00111 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/0038 ,  C23C16/0227 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/274 ,  C23C16/277 ,  G03F7/00 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/047 ,  B81C2201/0191 ,  B81C2201/056 ,  Y10T428/30

Abstract: A high temperature resist process is combined with microlithographic patterning for the production of materials, such as diamond films, that require a high temperature deposition environment. A conventional polymeric resist process may be used to deposit a pattern of high temperature resist material. With the high temperature resist in place and the polymeric resist removed, a high temperature deposition process may proceed without degradation of the resist pattern. After a desired film of material has been deposited, the high temperature resist is removed to leave the film in the pattern defined by the resist. For diamond films, a high temperature silicon nitride resist can be used for microlithographic patterning of a silicon substrate to provide a uniform distribution of diamond nucleation sites and to improve diamond film adhesion to the substrate. A fine-grained nucleation geometry, established at the nucleation sites, is maintained as the diamond film is deposited over the entire substrate after the silicon nitride resist is removed. The process can be extended to form microstructures of fine-grained polycrystalline diamond, such as rotatable microgears and surface relief patterns, that have the desirable characteristics of hardness, wear resistance, thermal conductivity, chemical inertness, anti-reflectance, and a low coefficient of friction.

Abstract translation: 将高温抗蚀剂工艺与用于生产需要高温沉积环境的材料（例如金刚石膜）的微光刻图案组合。 传统的聚合物抗蚀剂工艺可用于沉积耐高温材料的图案。 通过将高温抗蚀剂置于适当位置并除去聚合物抗蚀剂，可以进行高温沉积工艺而不降解抗蚀剂图案。 在已经沉积所需的材料膜之后，去除高温抗蚀剂以使膜以由抗蚀剂限定的图案离开。 对于金刚石膜，可以使用高温氮化硅抗蚀剂用于硅衬底的微光刻图案以提供金刚石成核位点的均匀分布并且改善金刚石膜对衬底的粘附。 在去除氮化硅抗蚀剂之后，在整个衬底上沉积金刚石膜，保持在成核位置建立的细晶粒成核几何形状。 该方法可以扩展以形成具有期望的硬度，耐磨性，导热性，化学惰性，抗反射性和低系数的细晶粒多晶金刚石的微观结构，例如可旋转的微观尺寸和表面浮雕图案 摩擦。

公开(公告)号：US4740410A

公开(公告)日：1988-04-26

申请号：US55027

申请日：1987-05-28

Applicant: Richard S. Muller ,  Longsheng Fan ,  Yu C. Tai

Inventor： Richard S. Muller ,  Longsheng Fan ,  Yu C. Tai

IPC: B23P11/00 ,  B23P15/00 ,  B29C67/00 ,  G03F7/00 ,  H01H1/00 ,  H01L21/306 ,  B44C1/22 ,  C03C15/00 ,  C23F1/02

CPC classification number: B81C1/00198 ,  B23P11/00 ,  B23P15/00 ,  B23P15/003 ,  B29C67/00 ,  G03F7/00 ,  H01H1/0036 ,  B81B2201/035 ,  Y10T428/12368 ,  Y10T428/1241 ,  Y10T428/24289 ,  Y10T428/24331 ,  Y10T428/24628

Abstract: A method and the product resulting from the method, for making a microminiature structure with two or more members measuring less than 1000 micrometers in any linear dimension and relatively movable to each other, comprising the steps of (a) providing a first sacrificial coating over a substrate having openings therethrough to expose a portion of the substrate, (b) depositing a first structural layer over the first sacrificial coating and the exposed portion of the substrate, with openings therethrough to expose a second portion of the substrate, (c) providing a second sacrificial coating over the second exposed portion of the substrate and said first structural layer, with openings through both the first and second sacrificial layers to expose a third portion of the substrate, (d) adding a second structural layer thereover and defining it, (e) possibly adding alternately other sacrificial coatings and other structural layers, and (f) etching the first and second and other sacrificial layers to remove them completely so that the two or more structural layers become movable relative to each other.

Abstract translation: 一种方法和由该方法产生的产品，用于制造具有两个或多个在任何线性尺寸上测量小于1000微米并且彼此相对移动的两个或更多个构件的微型结构，包括以下步骤：（a）提供第一牺牲涂层， 衬底，其具有穿过其中的开口以暴露所述衬底的一部分，（b）在所述第一牺牲涂层和所述衬底的所述暴露部分上沉积第一结构层，所述第一结构层与所述衬底的所述暴露部分之间形成开口，以暴露所述衬底的第二部分，（c） 第二牺牲涂层位于衬底和所述第一结构层的第二暴露部分上，具有穿过第一和第二牺牲层的开口以暴露衬底的第三部分，（d）在其上添加第二结构层并限定其， e）可能交替地添加其它牺牲涂层和其它结构层，以及（f）蚀刻第一和第二和其它牺牲层 以完全移除它们，使得两个或更多个结构层相对于彼此可移动。

公开(公告)号：WO2016203063A1

公开(公告)日：2016-12-22

申请号：PCT/EP2016/074316

申请日：2016-10-11

Applicant: CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA - RECHERCHE ET DÉVELOPPEMENT

Inventor： LANI, Sébastien ,  PUGIN, Raphaël

IPC: B81C1/00 ,  B22F3/105

CPC classification number: B81C1/00373 ,  B22F3/008 ,  B22F3/1055 ,  B22F7/08 ,  B33Y10/00 ,  B33Y80/00 ,  B81B2201/035 ,  B81C2201/0184 ,  C22C1/0416 ,  C22C1/0425 ,  C22C1/0433 ,  C22C1/0458 ,  C22C1/0466 ,  C22C33/02 ,  G04B13/02 ,  G04B15/14 ,  G04B17/063 ,  G04B37/22 ,  G04B45/00 ,  G04D7/1257 ,  Y02P10/295

Abstract: La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une pièce d'horlogerie comprenant au moins une première partie réalisée par un procédé de micro fabrication ou de micro formage dans au moins un premier matériau, ledit procédé comprenant au moins : une étape de dépôt sur ladite première partie sans moulage d'au moins une deuxième partie de ladite pièce dans au moins un deuxième matériau et une étape de traitement du second matériau pour en lier entre eux les composants sur la première partie.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造钟表的方法，其包括在至少一种第一材料中通过微细制造或微成形方法制造的至少一个第一部分，所述方法至少包括：在所述第一部分上沉积，不进行成型， 在至少一个第二材料中的所述钟表的至少一个第二部分，以及处理所述第二材料以将所述第一部件上的部件连接在一起的步骤。

公开(公告)号：WO2015067419A1

公开(公告)日：2015-05-14

申请号：PCT/EP2014/071301

申请日：2014-10-06

Applicant: NIVAROX-FAR S.A.

Inventor： DUBOIS, Philippe ,  MERZAGHI, Sebastiano ,  CHARBON, Christian

IPC: B81C99/00

CPC classification number: B81C99/0085 ,  B81B2201/035 ,  G04B13/00 ,  G04B15/14 ,  G04B19/12

Abstract: L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une pièce (221, 321, 421, 523, 525) de micromécanique en un matériau (215, 315, 415) monobloc à base d'un allotrope synthétique du carbone caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : a) former un substrat (201, 301, 401) comportant sur au moins trois niveaux (N 1 , N 2 , N 3 , N x ) une empreinte (203, 303, 403) négative de ladite pièce de micromécanique à fabriquer; b) recouvrir ladite empreinte (203, 303, 403) négative du substrat (201, 301, 401) d'une couche dudit matériau à base d'un allotrope synthétique du carbone d'une épaisseur (e 1 ) inférieure à la profondeur de chacun desdits au moins trois niveaux (N 1 , N 2 , N 3 , N x ) de ladite empreinte; c) retirer le substrat (201, 301, 401) afin de laisser libre la pièce de micromécanique (221, 321, 421, 523, 525) monobloc formée dans ladite empreinte négative.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造由合成的同素异形体制成的材料（215,315,415）制成的单件微机械部件（221,321,421,523,525）的方法，其特征在于，它包括 以下步骤：（a）形成包括至少三个级别（N1，N2，N3，Nx）的衬底（201,301,401），要制造的所述微机械部件的负极（203,303,403） ; （b）用由具有厚度（e1）的合成同素异形体制成的所述材料的一层覆盖所述衬底（201,301,401）的所述负极铸件（203,303,403），所述厚度（e1）小于 所述铸件的所述至少三个级别（N1，N2，N3，Nx）中的每一个; 以及（c）取出基板（201,301,401）以便留下形成在所述负极铸件中的一体式微机械部件（221,321,421,523,525）。