Abstract:
The present subject matter relates to methods of high-speed analysis of product samples during production of the product. Light is directed to a portion of a product under analysis and reflected from or transmitted through the product toward optical detectors. Signals from the optical detectors are compared to determine characteristics of the product under analysis. Temperature within the monitoring system may be monitored in order to provide compensation for the signals produced by the optical detectors. The products under analysis may be stationary, moved by an inspection point by conveyor or other means, or may be contained within a container, the container including a window portion through which the product illuminating light may pass.
Abstract:
Methods of selecting spectral elements and system components for a multivariate optical analysis system include providing spectral calibration data for a sample of interest; identifying a plurality of combinations of system components; modeling performance of a pilot system with one of the combinations of system components; determining optimal characteristics of the pilot system; and selecting optimal system components from among the combinations of system components.
Abstract:
Disclosed is a system and methodologies for providing self-calibration in an optical analysis system. Illumination light is directed toward a material to be sampled while provisions are made to modify the characteristics of at least a portion of the illumination light falling on a reference detector. The modified characteristics may include light presence and/or spectral characteristics. Light presence may be modified by rotating or moving mirror assemblies to cause light to fall on either a sample detector or a reference detector while spectral characteristics may be modified by placing materials having known spectral characteristics in the path of the illumination light.
Abstract:
La présente invention a pour objet un dispositif de multiplexage permettant d'amener en alternance à une entrée d'un appareil de mesure les flux lumineux divergents provenant d'au moins deux moyens de propagation ou de transmission de lumière présentant en section des formes et des dimensions identiques, au moins au niveau de leurs sorties. Dispositif caractérisé en ce qu'il est principalement constitué, d'une part, par un obturateur mobile (4) pouvant présenter au moins deux positions ou états, et, d'autre part, par un miroir fixe (3) apte à diriger en les focalisant, les flux lumineux issus des moyens de propagation ou de transmission (1 et 2) sur l'entrée (7') de l'appareil de mesure (7), le flux lumineux issu du premier moyen (1) étant dirigé vers ce miroir fixe (3) et, en ce que l'obturateur mobile (4) comporte au moins une portion munie d'une zone de surface réfléchissante (9) sur sa face tournée vers le ou les deuxième(s) moyen(s) (2) et pouvant être amenée séquentiellement dans une position dans laquelle le flux lumineux issu du premier moyen (1) est masqué ou arrêté par cette portion et le flux lumineux issu du ou de l'un des deuxième(s) moyen(s) (2) est dévié vers le miroir fixe (3) en lieu et place du flux lumineux issu du premier moyen (1).
Abstract:
A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard.
Abstract:
본 발명은, 가스 농도의 판정을 위한 2 개의 스펙트럼 채널들을 갖는 측정 장치로서, 측정 경로 내로 상이한 파장 범위들의 광을 전송하는 제 1 및 제 2 광원; 광원들로부터 광을 수용하는 리시버 배열체; 광원들로부터 광이 지나가는 것을 번갈아 허용하고 그리고/또는 동일한 광학 경로를 통해 광을 측정 경로 내로 가져오게 하도록 광원들로부터 광을 굴절시키기 위해서 파장 범위들 중 하나의 범위에 대해 적어도 하나의 높은 반사 섹터를 갖는 초퍼 장치; 및 수용된 신호들의 평가 및 이 평가로부터 가스 농도의 판정을 위한 평가 유닛을 포함한다. 단순한 설계이며, 광 세기 손실들이 적게 존재하는 개선된 2 채널식 측정 장치를 제공하기 위해서, 리시버 배열체가 제 1 및 제 2 리시버를 가지며, 상기 제 1 리시버는 제 1 광원과 연관되며, 상기 제 2 리시버는 대응하는 파장의 광의 수용을 위해 제 2 광원과 연관되며; 초퍼 장치는 또한 리시버 배열체의 일부이며, 상기 초퍼 장치는 광의 굴절에 의해 및/또는 광을 지나가게 허용함으로써 측정 경로를 따라 동일한 광학 경로를 후속하는 통로로부터 광을 분리하며, 해당 리시버와 광을 연관시키는 것이 제안된다.
Abstract:
제공된 분광학 시스템(500) 진공자외선 스펙트럼에서 동작한다. 보다 상세하게, 진공자외선 스펙트럼에서 반사율 측정법 기술들을 이용하는 시스템은 계측 응용물들을 위하여 준비된다. 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하도록, 광학 경로(506,508)들의 환경은 광학 경로에서 존재할 수도 있는 가스들의 흡수 영향들을 제한하도록 제어된다. 여전히 발생할 수도 있는 흡수 영향을 설명하도록, 광 경로의 길이는 최소화된다. 흡수 영향을 추가적으로 설명하도록, 반사율 데이터가 상대 표준으로 참조된다. 반도체, 진공자외선, 심자외선, 반사율계,
Abstract:
본 발명은 시계열(時系列) 변환 펄스 분광(分光) 계측 장치의 시계열 신호 취득을 위한 광로차(光路差) 보상 기구에 관한 것으로서, 다양한 시료(試料)나 그 상태 등의 시계열 변환 펄스 분광 계측이 용이하게 단시간에 행할 수 있는 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치는, 펄스 레이저광원과 펄스 레이저광원으로부터의 펄스 레이저광을 여기용(勵起用) 펄스 레이저광과 검출용 펄스 레이저광으로 분할하는 분할 수단과 펄스광 방사(放射) 수단과 검출 수단과 시료를 지지하는 시료 지지부와 시료부 입출사(入出射) 광학계를 구비한 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치에 있어서, 분할 수단으로부터 펄스광 방사 수단까지의 입사측 광로 및/또는 분할 수단으로부터 검출 수단까지의 검출측 광로 중 어느 하나에 배치된 적어도 1개의 측광역 설정용의 광로 길이 변경 수단과, 분할 수단으로부터 펄스광 방사 수단까지의 입사측 광로 및/또는 분할 수단으로부터 검출 수단까지의 검출측 광로 중 어느 하나에 배치된 적어도 하나의 시계열 신호 측정용의 광학적 지연 수단을 구비한 것이다. 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치, 시계열 신호 취득을 위한 광로차 보상 기구
Abstract:
There is provided a time-series conversion pulse spectrometer capable of easily performing time-series conversion pulse spectrometer measurement of various samples and their states in a short time. The time-series conversion pulse spectrometer includes: a pulse laser light source; division means for dividing the pulse laser beam from the pulse laser light source into an excitation pulse laser beam and a detection pulse laser beam; detection means; a sample holding section for holding a sample; and a sample section incoming/outgoing optical system. The time-series conversion pulse spectrometer is characterized by further including: optical path length modifying means for setting at least one measurement light range arranged in the incident side optical path from the division means to the pulse light emitting means and/or the detection side optical path from the division means to the detection means; and optical delay means for measuring at least one time-series signal arranged in the incident side optical path from the division means to the pulse light emitting means and/or the detection side optical path from the division means to the detection means.