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公开(公告)号：CN1054485A
公开(公告)日：1991-09-11
申请号：CN90101021.9
申请日：1990-02-27
Applicant: 标准数据控制公司
IPC: G01L1/10
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/10 , G01L1/183 , Y10S73/01
Abstract: 具有静电驱动系统的双振动梁式的力传感器，它包括一个本体12，该本体包括基本上平行的第一和第二梁20、22，它们的端部是连在一起的，第一和第二电极14、16，相邻于但都不与各自的梁接触；驱动电路18，它产生振荡电压施加到电极上。梁经受静电力使梁在包含两梁的一个振动平面内产生振荡。梁的机械谐振控制谐振频率，该频率里沿梁施加的力的函数。在所述的一个实施例中，驱动装置还可以直接连接到一个梁上。
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公开(公告)号：JP2014076527A
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：JP2012226669
申请日：2012-10-12
Applicant: Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
Inventor： INABA SHOGO , HORIE KYO
IPC: B81B3/00 , B25J19/02 , G01C9/06 , G01H1/00 , G01L1/14 , G01L5/00 , G01P15/00 , G01P15/10 , H01L29/84 , H03H9/24
CPC classification number: G01L1/10 , G01L1/14 , G01P15/097 , G01P15/18 , H03H9/2457
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small sensor which can detect deformation of an object, and in which an electric circuit is incorporated.SOLUTION: A MEMS sensor is constituted of: a wafer substrate 1 having flexibility; and a MEMS vibrator 3 provided on a principal plane of the wafer substrate 1. The MEMS vibrator 3 includes; a lower electrode 13e as a first electrode; and an upper electrode 14e as a second electrode having a movable part, the upper electrode 14e vibrates by electrostatic force of an electric charge to be generated in accordance with AC voltage to be applied between both electrodes, and a resonance frequency signal unique to the vibrator is output. Furthermore, when the wafer substrate 1 is deformed by applying external force thereto, the MEMS vibrator 3 also deforms, and a resonance frequency of the MEMS vibrator 3 can be changed due to a change in a spring constant of the upper electrode 14e caused by distortion of a fixed part of the upper electrode 14e in accordance with deformation of the MEMS vibrator 3.
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种可以检测物体变形的小型传感器，并且其中包含电路。MEMS传感器由以下组成：具有柔性的晶片衬底1; 以及设置在晶片基板1的主平面上的MEMS振子3。 作为第一电极的下电极13e; 以及作为具有可动部的第二电极的上部电极14e，上部电极14e根据要施加在两个电极之间的AC电压产生的电荷的静电力振动，并且振动器特有的共振频率信号 被输出。 此外，当晶片基板1通过施加外力而变形时，MEMS振子3也发生变形，并且由于由于失真引起的上部电极14e的弹簧常数的变化，MEMS振动器3的共振频率可以改变 根据MEMS振动器3的变形，上电极14e的固定部分。
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公开(公告)号：JP2017078896A
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：JP2015205500
申请日：2015-10-19
Applicant: アイシン精機株式会社 , Aisin Seiki Co Ltd
Inventor： KATO MANABU
CPC classification number: G01L1/225 , G01L1/10 , G01L1/20 , G01L1/22 , G01N17/00 , G01N27/02 , G01N27/04 , G01R27/00 , G01R27/02 , G01R27/2605 , G05F3/26
Abstract: 【課題】検出素子に供給する電流の変動を抑制すること。【解決手段】電流源回路11は、基準抵抗R0、カレントミラー回路21、演算増幅器22を有している。基準抵抗R0の第1端子は電源配線Vccに接続され、基準抵抗R0の第2端子はカレントミラー回路21に接続されている。カレントミラー回路21は、トランジスタM0,M1,M2を有している。トランジスタM0のドレイン端子は基準抵抗R0に接続され、トランジスタM1,M2のドレイン端子は検出素子H1,H2に接続されている。トランジスタM0のゲート端子はトランジスタM0のドレイン端子とトランジスタM1,M2のゲート端子に接続されている。トランジスタM0,M1,M2のソース端子は共通配線LCに接続されている。演算増幅器22は、基準抵抗R0の第2端子の電圧Vrを基準電圧V0と等しくするように共通配線LCの電圧を制御する。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016102649A
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：JP2013046312
申请日：2013-03-08
Applicant: パナソニック株式会社
CPC classification number: G01L1/10 , G01L9/0013
Abstract: 【課題】本発明は、起歪体に荷重を加えることで生じる歪を検出する歪検出装置に関し、歪検出装置の検出精度を高めることを目的とする。 【解決手段】この目的を達成するために、基板4に直交配置された梁5,6から出力される検出信号8a,8bから自乗信号14a,15aを形成するとともに、梁5,6の検出感度の比を感度比kとして、この感度比kを第2の自乗信号15aに積算し、この積算信号16aと自乗信号14aの差分信号17aを形成する構成とした。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提高应变检测器的检测精度，该应变检测器检测由于将负载施加到弹性体上而产生的任何应变。解决方案：应变检测器的结构使得方波信号14a和15a由检测信号8a和 从光束5和6输出，以便正交地穿过基板4，光束5和6之间的灵敏度比k与第二平方信号15a成一体，并且所得到的积分信号16a和 形成正方形信号14a。选择图：图5
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JPWO2014002416A1
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014522406
申请日：2013-06-13
Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社
IPC: G01L1/10
Abstract: 歪センサは、起歪体に接続されるように構成されたパッケージと、起歪対の機械的歪を電気信号に変換して出力する検出素子と、パッケージの上面に接続されてかつ検出素子から離間するプロセッサチップとを備える。パッケージの上面には凹部が形成されている。検出素子は凹部に接合されてかつ凹部内に収納されている。この歪センサは小形にすることができる。
Abstract translation: 应变传感器包括一个配置包将被连接到应变体，检测元件将所述应变诱发对成电信号的机械应变，从所连接的和检测到的包的顶表面上的元件 和处理器芯片的路程。 它是用在封装的上表面上的凹部形成。 检测元件被容纳在所述凹部和结合到所述凹部。 应变传感器可以是小的。
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公开(公告)号：JPWO2009148156A1
公开(公告)日：2011-11-04
申请号：JP2010515939
申请日：2009-06-05
Applicant: 国立大学法人静岡大学
IPC: G01L5/16 , G01L1/14 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01L1/10 , G01P15/097 , H01L29/84
Abstract: 【課題】簡易な構成で外力または加速度を感度良く検知することを目的とする。【解決手段】外力検知センサ1は、複数の固定櫛歯部12aを有する固定電極10と、固定櫛歯部12a間に挿入された可動櫛歯部20aを複数有する可動電極20とを有する櫛歯電極2と、可動電極20を固定電極10に対する静電力により所定の共振周波数で振動させるために固定電極10と可動電極20とに接続される電源3と、可動電極20を振動させたときの固定電極10と可動電極20との間の電気特性の変化に基づいて外力を検知する検知部4と、を備え、隣り合う固定櫛歯部12a及びその間に挿入された可動櫛歯部20aについて、一方の固定櫛歯部12aと可動櫛歯部20aとの間隔が、他方の固定櫛歯部12aと可動櫛歯部20aとの間隔と異なる。
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公开(公告)号：JPWO2005111563A1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：JP2006513544
申请日：2005-05-12
Applicant: 独立行政法人科学技術振興機構
CPC classification number: G01L1/10
Abstract: 位相同期回路を用いて、位相雑音が低く純度の高い特性を有する局部発振器からの発振信号に機械的素子の振動信号を同期させることにより、機械的素子の位相雑音を低減させることができる位相同期回路を用いた高感度力・質量検出方法及び装置を提供する。位相同期回路を用いた高感度力・質量検出装置において、位相調整器10を含む機械的振動子1の発振回路と、この発振回路の発振信号の位相を検出する2値化回路5と、位相雑音が低く純度の高い特性を有する局部発振器7と、前記機械的振動子1の発振信号の位相と、前記局部発振器7からの発振信号の位相とを比較する位相比較器6と、この位相比較器6に接続されるループフィルタ8とを備え、前記位相比較器6の出力を前記ループフィルタ8を介して前記位相調整器10にフィードバックし、機械的振動子1の位相雑音を低減する。
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公开(公告)号：KR1020000064405A
公开(公告)日：2000-11-06
申请号：KR1019980704488
申请日：1996-10-31
Applicant: 로베르트 보쉬 게엠베하
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/10 , G01L9/0008
Abstract: 본발명은그의공진주파수가검출하려는힘작용에의해변할수 있는공진구조물을지닌힘센서, 특히가속도센서또는압력센서에관한것이다. 전압(U)을가함으로써그의기계적불안정한지점에대한힘센서(10)의작용점(P)의거리가조절될수 있게된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有通过作用于检测力传感器，特别是加速度传感器或压力传感器上的力改变所述谐振结构的谐振频率。 通过降电压（U）是可能被里加力传感器（10），用于其机械不稳定点的作用（P）的点下调整。
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公开(公告)号：KR1019900003199B1
公开(公告)日：1990-05-10
申请号：KR1019870003291
申请日：1987-04-07
IPC: G01L1/00
Abstract: The force measuring device consists of two horizontal cantilever members located parallel with each other in a common vertical plane. A weighing cradle is attached to the free end of the first member and a metal string stretched between the free ends of both members. The string is placed between a pair of magnetic poles so that it vibrates at its inherent frequency functionally relating to its tension and a load applied to the weighing cradle. The frequency of the string is measured and the value of the applied load is calculated by an electronic calculating circuit.
Abstract translation: 力测量装置由在垂直平面中相互平行定位的两个水平悬臂构件组成。 一个称重托架连接在第一个构件的自由端上，一个金属柱在两个构件的自由端之间延伸。 琴弦放置在一对磁极之间，使其以与其张力和施加到称重支架的负载功能相关的固有频率振动。 测量串的频率，并通过电子计算电路计算所施加的负载的值。
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