一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN108318592A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810006973.4

    申请日:2018-01-04

    CPC classification number: G01N30/02 G01N30/20 G01N2030/201

    Abstract: 本发明提供一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法,属于多晶硅生产检测技术领域。检测装置的进样口、第一色谱柱、第二色谱柱和检测器依次连通,控制阀设置于第一色谱柱和第二色谱柱之间用于控制第一色谱柱和第二色谱柱的连通与断开。检测方法是以定量的多晶硅生产尾气先从进样口通入第一色谱柱,当检测器检测到硅烷峰出完以后,调节控制阀使第一色谱柱与第二色谱柱之间断开,将硅烷峰与标准硅烷峰对比,计算得到多晶硅生产尾气中痕量硅烷的量。使用上述检测装置的检测方法的检测结果更加准确,排除了尾气中的其他杂质气体,如:氯化氢、氯硅烷等,避免杂质气体进入检测器,使硅烷的检测更加准确、可靠、重复性好。

    自动取样组件和三维自动取样系统

    公开(公告)号:CN107402273A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201710742150.3

    申请日:2017-08-25

    Inventor: 辛二鹏

    CPC classification number: G01N30/20 G01N30/24 G01N2030/201

    Abstract: 一种自动取样组件,安装在自动取样系统的一个取样组件固定部上,自动取样组件包括:一个拉簧固定板、两个拉簧、一个导轨、一个滑块、一个连接块、一个压瓶块、一个取样针座,连接块与取样组件固定部固定连接,在连接块上分别固定有滑块和取样针座;导轨穿设于滑块上,使导轨与滑块组成滑动结构;导轨的上端固定有所述拉簧固定板,导轨的下端固定有所述压瓶块;两个拉簧分别设置在导轨的两侧,并安装在拉簧固定板和连接块之间,且在拉簧固定板和连接块的作用下处于被拉伸状态;取样针座上固定有取样针。本发明的自动取样组件可以快速、合理的压住样品瓶、实现取样,且取样针可以快速的脱离样品瓶。

    大气在线监测仪
    55.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107121513A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710493593.3

    申请日:2017-06-26

    Applicant: 杨超

    CPC classification number: G01N30/02 G01N30/20 G01N30/68 G01N2030/201

    Abstract: 本发明提供大气在线监测仪。其技术方案为:主要由检测样气(1)、流量二阀(2)、流量一阀(3)、十通阀(4)、烤箱(5)、温度模块(6)、检测器(7)、控制器(8)、载气(9)、(氢气(10)、氧气(11)、流量三阀(12)、流量四阀(13)、打印机(14)、工控机(15)、互联网(16)、交流电源(17)、总交换机(18)、交直流转换变压器(19)、电磁阀(20)、流量控制板(21)和流量阀(22)构成。本发明设计合理实用,自动点火并低电压点火对设备危害小,并且可熄火检测;检测器和软件模块化,便于用户快速定制,利于环境科技大力推广。

    一种用于同步测定样品中三氯蔗糖和其他弱保留糖类的柱切换装置及方法

    公开(公告)号:CN105954445A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610307206.8

    申请日:2016-05-10

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 陈宁 朱岩

    CPC classification number: G01N30/20 G01N27/00 G01N30/02 G01N2030/201

    Abstract: 本发明公开了一种用于同步测定样品中三氯蔗糖和其他弱保留糖类的柱切换装置及方法。系统包括输液泵、六通阀一、定量环、六通阀二、保护柱、分离柱、脉冲安培检测器、废液瓶,所述的六通阀一分别与输液泵和六通阀二相连,六通阀二作为切换器,连接保护柱,分别与六通阀一、分离柱连接,分离柱后串联脉冲安培检测器和废液瓶。本发明的方法具有高度的集合性,和色谱柱、检测装置连接后,可实现对实际样品中三氯蔗糖和其他弱保留糖类的同步分析检测,方便实用性强,利用本装置和方法能够实现缩短样品中三氯蔗糖分析时间,同时和其他弱保留糖类的同步分离。

    一种在线色谱稳定进样装置及方法

    公开(公告)号:CN105675776A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610213680.4

    申请日:2016-04-07

    CPC classification number: G01N30/20 G01N2030/025 G01N2030/201

    Abstract: 本发明涉及一种在线色谱稳定进样装置及方法,进样装置包括进样管、第一排气管、第二排气管、第三排气管、第一连接管、第二连接管、定量管、载气管、进样口、第一切换阀以及第二切换阀;第一切换阀在第一状态和第二状态可切换地安装在进样管、第一排气管、第二排气管、第三排气管、第一连接管的第一端以及第二连接管的第一端之间;第二切换阀在第一状态和第二状态可切换地安装在第一连接管的第二端、第二连接管的第二端、定量管的第一端和第二端、载气管以及进样口之间。本发明通过第一切换阀和第二切换阀可以使定量管的两端与大气环境连通,由此当定量管中装载样品气体后可以使定量管的两端与大气环境连通从而使装有样品气体的定量管维持稳定的常压,进而实现精确定量进样,以保证分析数据的重复性和准确性。

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