公开(公告)号：TW201303310A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：TW101116325

申请日：2012-05-08

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 達克沃斯 寇比 ,  DUCKWORTH, KOBY ,  希爾 艾瑞克 ,  HILL, ERIC

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R1/0735 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/06738 ,  G01R1/07378 ,  G01R31/2889

Abstract: 本發明係關於探針頭組件、探針頭組件的構件、包含該等探針頭組件及/或其之構件的測試系統以及操作其之方法。該等探針頭組件會被配置成用以傳遞複數個測試訊號給一受測裝置及/或用以從一受測裝置處傳遞複數個測試訊號，並且包含：一空間轉換器；一接觸組件；以及一豎板，其會在空間上分離該空間轉換器與該接觸組件並且在該空間轉換器與該接觸組件之間傳遞該等複數個測試訊號。該接觸組件可能包含：一框架，其會定義一孔徑而且熱膨脹係數落在該受測裝置之熱膨脹係數的臨界差異值裡面；一撓性介電本體，其會被附接至該框架，藉由該框架來保持拉伸，並且會延伸跨越該孔徑；以及複數個導體探針。該等複數個導體探針可能包含一雙面探針尖端。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于探针头组件、探针头组件的构件、包含该等探针头组件及/或其之构件的测试系统以及操作其之方法。该等探针头组件会被配置成用以传递复数个测试信号给一受测设备及/或用以从一受测设备处传递复数个测试信号，并且包含：一空间转换器；一接触组件；以及一竖板，其会在空间上分离该空间转换器与该接触组件并且在该空间转换器与该接触组件之间传递该等复数个测试信号。该接触组件可能包含：一框架，其会定义一孔径而且热膨胀系数落在该受测设备之热膨胀系数的临界差异值里面；一挠性介电本体，其会被附接至该框架，借由该框架来保持拉伸，并且会延伸跨越该孔径；以及复数个导体探针。该等复数个导体探针可能包含一双面探针尖端。

公开(公告)号：TWI306053B

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：TW092136941

申请日：2003-12-26

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 安德魯 ANDREWS, PETER ,  佛勒克 FROEMKE, BRAD ,  丹克里 DUNKLEE, JOHN

IPC: B25J ,  G01R ,  H01L

Abstract: 一種改進夾頭,在探測站內,具有提升銷。

Abstract in simplified Chinese: 一种改进夹头,在探测站内,具有提升销。

公开(公告)号：TW200807601A

公开(公告)日：2008-02-01

申请号：TW096126082

申请日：2007-07-18

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 海登 HAYDEN, LEONARD

IPC: H01L

CPC classification number: G01R27/32 ,  G01R35/005

Abstract: 一種向量網路分析器校準之補正方法,包含對至少一對端口進行校準,以決定與各端口關聯之錯誤項,其中至少一錯誤項是基於從一組潛在値選擇載錄標準之電抗,使得參考電抗誤差減少。

Abstract in simplified Chinese: 一种矢量网络分析器校准之补正方法,包含对至少一对端口进行校准,以决定与各端口关联之错误项,其中至少一错误项是基于从一组潜在値选择载录标准之电抗,使得参考电抗误差减少。

公开(公告)号：TWI284738B

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：TW093114360

申请日：2004-05-21

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 格利生 GLEASON, K. REED ,  雷斯赫 LESHER, TIM ,  史提德 STRID, ERIC W. ,  安德魯 ANDREWS, MIKE ,  馬丁 MARTIN, JOHN ,  丹克里 DUNKLEE, JOHN ,  海登 HAYDEN, LEONARD ,  沙瓦特 SAFWAT, AMR M.E.

IPC: G01R

Abstract: 一種探針測量系統，可以高頻率測量積體電路或其他微電子元件之電氣特性。該探針包括一介質基片，在基片上表面具有一導電性訊號痕跡。一導電性屏蔽為基片下表面所支持。一導電性蝕刻溝將導體連接基片之上表面至下表面。

Abstract in simplified Chinese: 一种探针测量系统，可以高频率测量集成电路或其他微电子组件之电气特性。该探针包括一介质基片，在基片上表面具有一导电性信号痕迹。一导电性屏蔽为基片下表面所支持。一导电性蚀刻沟将导体连接基片之上表面至下表面。

公开(公告)号：TWI265299B

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：TW091119746

申请日：2002-08-30

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 哈利斯 DANIEL L. HARRIS ,  麥克肯恩 MCCANN, PETER R.

IPC: G01R ,  B23K

CPC classification number: G01M11/00 ,  G01R1/0408 ,  G01R31/2831 ,  G01R31/2887 ,  G01R31/311

Abstract: 本案揭示一種夾頭，適於測試在測試中裝置(DUT)上的電氣和/或光學組件。

Abstract in simplified Chinese: 本案揭示一种夹头，适于测试在测试中设备(DUT)上的电气和/或光学组件。

公开(公告)号：TW200526965A

公开(公告)日：2005-08-16

申请号：TW093140167

申请日：2004-12-23

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 史提德 STRID, ERIC ,  格利生 GLEASON, K. REED

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/06711 ,  G01R1/06772

Abstract: 一種探針，適用於探測半導體晶圓，含有主動電路，探針可包含主動電路和支持結構間之彈性互接。探針對受測試裝置賦予較低電容。

Abstract in simplified Chinese: 一种探针，适用于探测半导体晶圆，含有主动电路，探针可包含主动电路和支持结构间之弹性互接。探针对受测试设备赋予较低电容。

公开(公告)号：TW201903414A

公开(公告)日：2019-01-16

申请号：TW107111006

申请日：2018-03-29

Applicant: 美商加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 謝 春明 ,  SIA, CHOON BENG ,  根岸一樹 ,  NEGISHI, KAZUKI

IPC: G01R1/067

Abstract: 探針系統及方法係包含電接觸檢測。該探針系統係包含一探針組件以及一夾頭。該探針系統亦包含一平移結構，其係被配置以在操作上平移該探針組件及/或該夾頭、以及一儀器封裝，其係被配置以檢測在該探針系統以及一受測裝置(DUT)之間的接觸，並且測試該DUT的操作。該儀器封裝係包含一連續性檢測電路、一測試電路、以及一平移結構控制電路。該連續性檢測電路係被配置以檢測在一第一探針電性導體以及一第二探針電性導體之間的電連續性。該測試電路係被配置以電性地測試該DUT。該平移結構控制電路係被配置以控制該平移結構的操作。該些方法係包含監測在一第一探針以及一第二探針之間的連續性、以及根據該監測來控制一探針系統的操作。

Abstract in simplified Chinese: 探针系统及方法系包含电接触检测。该探针系统系包含一探针组件以及一夹头。该探针系统亦包含一平移结构，其系被配置以在操作上平移该探针组件及/或该夹头、以及一仪器封装，其系被配置以检测在该探针系统以及一受测设备(DUT)之间的接触，并且测试该DUT的操作。该仪器封装系包含一连续性检测电路、一测试电路、以及一平移结构控制电路。该连续性检测电路系被配置以检测在一第一探针电性导体以及一第二探针电性导体之间的电连续性。该测试电路系被配置以电性地测试该DUT。该平移结构控制电路系被配置以控制该平移结构的操作。该些方法系包含监测在一第一探针以及一第二探针之间的连续性、以及根据该监测来控制一探针系统的操作。

公开(公告)号：TWI646741B

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：TW106115455

申请日：2017-05-10

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 施曼 傑 ,  SALMON, JAY ,  斯沃特 羅伊E ,  SWART, ROY E. ,  劉 布蘭登 ,  LIEW, BRANDON

IPC: H01R31/06 ,  H01R43/00

公开(公告)号：TWI642954B

公开(公告)日：2018-12-01

申请号：TW106117606

申请日：2017-05-26

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 麥克穆倫 提姆 艾倫 ,  MCMULLEN, TIMOTHY ALLEN ,  哈利 布蘭 戴爾 ,  HARRY, BRENT DALE ,  威考克 艾瑞克 詹姆斯 ,  WILCOX, ERIC JAMES ,  東琳 詹姆斯J ,  DONLIN, JAMES J.

IPC: G01R31/28

公开(公告)号：TW201814300A

公开(公告)日：2018-04-16

申请号：TW106132809

申请日：2017-09-25

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 費席爾 格韋恩 尼爾 ,  FISHER, GAVIN NEIL ,  賽林格恩 湯瑪士 瑞恩爾 ,  THAERIGEN, THOMAS REINER ,  麥卡恩 彼得 ,  MCCANN, PETER ,  瓊斯 瑞德尼 ,  JONES, RODNEY ,  達克沃斯 寇比L ,  DUCKWORTH, KOBY L.

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/38

CPC classification number: G01R1/06794 ,  G01R1/07364 ,  G01R31/2891 ,  G01R35/00

Abstract: 本發明揭示探針系統和方法。所述方法包含直接測量第一操縱組件和第二操縱組件之間的距離；將第一和第二探針接觸第一和第二接觸位置；提供測試訊號至電性結構；以及從所述電性結構接收結果訊號。所述方法進一步包含根據所述距離而特徵化探針系統和所述電性結構中之至少一者。在一個實施例中，所述探針系統包含測量裝置，其經配置以直接測量第一操縱組件和第二操縱組件之間的距離。在另一個實施例中，所述探針系統包含探針頭組件，所述探針頭組件包含平台、操作性地附接於所述平台的操縱器、操作性地附接至所述操縱器的向量式網路分析儀(VNA)擴展器、以及操作性地附接至所述VNA擴展器的探針。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示探针系统和方法。所述方法包含直接测量第一操纵组件和第二操纵组件之间的距离；将第一和第二探针接触第一和第二接触位置；提供测试信号至电性结构；以及从所述电性结构接收结果信号。所述方法进一步包含根据所述距离而特征化探针系统和所述电性结构中之至少一者。在一个实施例中，所述探针系统包含测量设备，其经配置以直接测量第一操纵组件和第二操纵组件之间的距离。在另一个实施例中，所述探针系统包含探针头组件，所述探针头组件包含平台、操作性地附接于所述平台的操纵器、操作性地附接至所述操纵器的矢量式网络分析仪(VNA)扩展器、以及操作性地附接至所述VNA扩展器的探针。