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公开(公告)号:TWI687128B
公开(公告)日:2020-03-01
申请号:TW107112410
申请日:2018-04-11
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 花待年彥 , HANAMACHI, TOSHIHIKO , 關谷健二 , SEKIYA, KENJI , 橋本大輔 , HASHIMOTO, DAISUKE , 平野智資 , HIRANO, SATOSHI , 瀧本優 , TAKIMOTO, MASARU , 高原剛 , TAKAHARA, GO , 荒木良仁 , ARAKI, YOSHIHITO , 巽新 , TATSUMI, ARATA , 川崎孝 , KAWASAKI, TAKASHI , 外山友紀 , TOYAMA, YUKI , 安齋諭 , ANZAI, SATOSHI
IPC: H05B3/44
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公开(公告)号:TWI670172B
公开(公告)日:2019-09-01
申请号:TW107119650
申请日:2018-06-07
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 水野克美 , MIZUNO, KATSUMI , 木內陽子 , KIUCHI, YOKO
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公开(公告)号:TW201838476A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:TW107112410
申请日:2018-04-11
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 花待年彥 , HANAMACHI, TOSHIHIKO , 關谷健二 , SEKIYA, KENJI , 橋本大輔 , HASHIMOTO, DAISUKE , 平野智資 , HIRANO, SATOSHI , 瀧本優 , TAKIMOTO, MASARU , 高原剛 , TAKAHARA, GO , 荒木良仁 , ARAKI, YOSHIHITO , 巽新 , TATSUMI, ARATA , 川崎孝 , KAWASAKI, TAKASHI , 外山友紀 , TOYAMA, YUKI , 安齋諭 , ANZAI, SATOSHI
IPC: H05B3/44
Abstract: 提供一種提升可靠度之細徑護套型加熱器。關於本發明之一實施型態的護套型加熱器,其具備金屬護套、發熱線、絕緣材與連接端子。發熱線以有間隙的方式配置於前述金屬護套內,其形狀為帶狀,並配置成相對於前述金屬護套的軸方向旋轉。絕緣材配置於前述間隙。連接端子配置於前述金屬護套之一端,並分別與前述發熱線之兩端電性連接。
Abstract in simplified Chinese: 提供一种提升可靠度之细径护套型加热器。关于本发明之一实施型态的护套型加热器,其具备金属护套、发热线、绝缘材与连接端子。发热线以有间隙的方式配置于前述金属护套内,其形状为带状,并配置成相对于前述金属护套的轴方向旋转。绝缘材配置于前述间隙。连接端子配置于前述金属护套之一端,并分别与前述发热线之两端电性连接。
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公开(公告)号:TW201834001A
公开(公告)日:2018-09-16
申请号:TW107106628
申请日:2018-02-27
Applicant: 日商日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 高原剛 , TAKAHARA, GO , 花待年彥 , HANAMACHI, TOSHIHIKO , 巽新 , TATSUMI, ARATA
IPC: H01L21/02 , H01L21/683 , H05B3/06
Abstract: 提供一種用以精密控制基板溫度的基板支撐單元,以及具有基板支撐單元的膜體形成裝置或膜體加工裝置。提供一種基板支撐單元。基板支撐單元具有軸件、第一加熱器及工作台。第一加熱器位於軸件內,且建構成加熱軸件之上部。工作台位於軸件上,且具有第一板件、位於第一板件上之第二板件及位於第一板件與第二板件之間的第二加熱器。
Abstract in simplified Chinese: 提供一种用以精密控制基板温度的基板支撑单元,以及具有基板支撑单元的膜体形成设备或膜体加工设备。提供一种基板支撑单元。基板支撑单元具有轴件、第一加热器及工作台。第一加热器位于轴件内,且建构成加热轴件之上部。工作台位于轴件上,且具有第一板件、位于第一板件上之第二板件及位于第一板件与第二板件之间的第二加热器。
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公开(公告)号:TWI629727B
公开(公告)日:2018-07-11
申请号:TW105133771
申请日:2016-10-19
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 花待年彥 , HANAMACHI, TOSHIHIKO , 相川尚哉 , AIKAWA, NAOYA
IPC: H01L21/324 , H05B3/20
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公开(公告)号:TWI629484B
公开(公告)日:2018-07-11
申请号:TW106104521
申请日:2017-02-10
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 廣中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 相馬一也 , SOUMA, KAZUYA , 莊司哲 , SHOJI, SATOSHI , 山口諒輔 , YAMAGUCHI, RYOSUKE
IPC: G01R1/067
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公开(公告)号:TWI603784B
公开(公告)日:2017-11-01
申请号:TW104106797
申请日:2015-03-04
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 平野智資 , HIRANO, SATOSHI , 川崎公一 , KAWASAKI, KOICHI
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公开(公告)号:TWI600224B
公开(公告)日:2017-09-21
申请号:TW102107576
申请日:2013-03-04
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 山田佳男 , YAMADA, YOSHIO , 廣中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 潘添信 , SUGIANT, YUSMAN , 羅慈平 , LOH, CHEE PING BENEDICT , 楊俊裕 , YEOW, CHOON JOO SAMUEL , 黃俊崴 , WONG, TECK HUI , 王曉軍 , WANG, XIAO JUN TERRY
IPC: H01R13/514 , H01R33/76
CPC classification number: H01R12/51 , G01R1/0466 , G01R1/0483 , H01R13/24 , H01R13/46 , H01R33/76 , H05K7/1007 , Y10T403/602
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公开(公告)号:TWI587732B
公开(公告)日:2017-06-11
申请号:TW105123189
申请日:2016-07-22
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO.,LTD.
Inventor: 花待年彥 , HANAMACHI, TOSHIHIKO , 關谷健二 , SEKIYA, KENJI , 高原剛 , TAKAHARA, GO , 光田拓史 , MITSUDA, HIROSHI , 相川尚哉 , AIKAWA, NAOYA
IPC: H05B3/16 , H01L21/02 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/683 , H05B3/20 , H05B3/28
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公开(公告)号:TWI563259B
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:TW104104993
申请日:2015-02-13
Applicant: 日本發條股份有限公司 , NHK SPRING CO., LTD.
Inventor: 広中浩平 , HIRONAKA, KOHEI , 仁平崇 , NIDAIRA, TAKASHI , 米田知広 , YONEDA, TOMOHIRO
CPC classification number: G01R31/026 , G01R1/073 , G01R31/26 , G01R31/2886 , G01R31/2896 , H01R13/2435
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