基板支撐單元及具有基板支撐單元之膜體形成裝置
    64.
    发明专利
    基板支撐單元及具有基板支撐單元之膜體形成裝置 审中-公开
    基板支撑单元及具有基板支撑单元之膜体形成设备

    公开(公告)号:TW201834001A

    公开(公告)日:2018-09-16

    申请号:TW107106628

    申请日:2018-02-27

    Abstract: 提供一種用以精密控制基板溫度的基板支撐單元,以及具有基板支撐單元的膜體形成裝置或膜體加工裝置。提供一種基板支撐單元。基板支撐單元具有軸件、第一加熱器及工作台。第一加熱器位於軸件內,且建構成加熱軸件之上部。工作台位於軸件上,且具有第一板件、位於第一板件上之第二板件及位於第一板件與第二板件之間的第二加熱器。

    Abstract in simplified Chinese: 提供一种用以精密控制基板温度的基板支撑单元,以及具有基板支撑单元的膜体形成设备或膜体加工设备。提供一种基板支撑单元。基板支撑单元具有轴件、第一加热器及工作台。第一加热器位于轴件内,且建构成加热轴件之上部。工作台位于轴件上,且具有第一板件、位于第一板件上之第二板件及位于第一板件与第二板件之间的第二加热器。

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