公开(公告)号：CN111886544A

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201980019019.1

申请日：2019-03-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  日比野千香 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供固化膜的制造方法，其能够使用负型感光性树脂组合物来形成具有阶差形状的图案，所述固化膜具备具有即使在热固化后在厚膜部与薄膜部也存在足够的膜厚差的阶差形状的图案。另外，本发明提供显示装置的制造方法，其能够制造具备具有前述阶差形状的图案的有机EL显示器。固化膜的制造方法，其依次具有下述工序：(1)在基板上形成负型感光性树脂组合物的具有阶差形状的图案的工序，(2)使所述具有阶差形状的图案进行光固化的工序，以及(3)对所述具有阶差形状的图案进行加热而使其热固化的工序，其中，所述(1)形成图案的工序具有隔着光掩模照射活性化学射线的工序，该光掩模是具有特定图案以及透光部、遮光部和半透光部的半色调光掩模。

公开(公告)号：CN111133382A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201880062194.4

申请日：2018-09-18

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 龟本聪 ,  首藤勇太 ,  三好一登

IPC: G03F7/004 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/023 ,  G03F7/20 ,  G09F9/30 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 一种感光性树脂组合物，是含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、25℃下的酸解离常数pKa为6.0以上且9.5以下的具有酚系羟基的化合物(E2)的感光性树脂组合物，或是含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、除(D)以外的具有酚系羟基的化合物(E)的感光性树脂组合物，上述除(D)以外的具有酚系羟基的化合物(E)含有分子内具有吸电子性基和酚系羟基的化合物(E1)。本发明提供固化膜在可靠性试验后也具有高弯折耐性，同时耐化学品性也优异的感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN110462513A

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201880019517.1

申请日：2018-03-16

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 龟本聪 ,  谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/027 ,  C08F2/48 ,  G03F1/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037 ,  G03F7/20 ,  H01L51/50 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供具有遮光性、同时敏感度高、半色调特性优异的感光性树脂组合物。本发明为感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂，上述(A)碱溶性树脂含有聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物，上述(B)自由基聚合性化合物含有(B-1)形成均聚物时的玻璃化转变温度为150℃以上的2官能以上的(甲基)丙烯酸类化合物、及(B-2)除(B-1)以外的4官能以上的(甲基)丙烯酸类化合物。

公开(公告)号：CN110392864A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201880015518.9

申请日：2018-03-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 谷垣勇刚 ,  三好一登

IPC: G03F7/037 ,  C08F2/44 ,  C08F20/20 ,  C08F291/00 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/032 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明的目的在于得到敏感度高、能够在显影后及热固化后形成低锥度形状的图案、能够抑制热固化前后的图案开口尺寸宽度变化、且遮光性优异的固化膜及形成其的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(Da)黑色剂，(A)碱溶性树脂含有(A1)第一树脂，所述(A1)第一树脂包含选自由(A1-1)聚酰亚胺、(A1-2)聚酰亚胺前体、(A1-3)聚苯并噁唑、(A1-4)聚苯并噁唑前体及(A1-5)聚硅氧烷组成的组中的一种以上，(B)自由基聚合性化合物含有选自由(B1)含有芴骨架的自由基聚合性化合物及(B2)含有茚满骨架的自由基聚合性化合物组成的组中的一种以上。

公开(公告)号：CN107431020A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680016541.0

申请日：2016-03-16

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 龟本聪 ,  小森悠佑 ,  三好一登

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/312 ,  H01L29/786 ,  H01L51/05 ,  H01L51/30

Abstract: 本发明的目的在于提供一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其可形成由固化膜产生的逸气极少、驱动性能优异的薄膜晶体管用绝缘层。为了实现所述目的，本发明具有以下的构成。即，一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其含有(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂、(B)感光性化合物、以及(C)有机溶剂，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为1质量％以下。

公开(公告)号：CN104854508A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201380065421.6

申请日：2013-12-13

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 小森悠佑 ,  越野美加 ,  三好一登

IPC: G03F7/023 ,  C08G73/10 ,  C09D7/12 ,  C09D179/08 ,  G03F7/037

CPC classification number: G03F7/0387 ,  C08G73/1039 ,  C09D7/40 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/037 ,  G03F7/40 ,  H01L27/3258 ,  H01L51/529

Abstract: 本发明提供一种使用了下述聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物，所述聚酰亚胺前体在有机溶剂中的溶解性优异、且可降低得到的树脂组合物的粘度，本发明的感光性树脂组合物含有：具有酰胺基、三氟甲基和芳香环的特定结构作为主要重复单元的芳香族酰胺树脂、(b)感光剂及(c)溶剂。

公开(公告)号：CN103119085A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201180046019.4

申请日：2011-09-08

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 宫崎大地 ,  三好一登 ,  富川真佐夫

IPC: C08G73/10

CPC classification number: C09D177/12 ,  C08G73/1042 ,  C08G73/1067 ,  C08G73/1071 ,  C08G73/14 ,  C08L79/08

Abstract: 本发明提供一种保存稳定性优异、且热处理后的膜具有优异的耐热性的聚酰胺酸树脂组合物。所述树脂组合物的特征在于，含有(a)所有重复单元中80％以上具有通式(1)表示的结构的聚酰胺酸、及(b)溶剂。(通式(1)中，A表示通式(2)所示的聚酰胺酸嵌段、B表示通式(3)所示的聚酰胺酸嵌段。k表示正整数。)(通式(2)中，W是碳原子数为2以上的2价有机基团，以通式(4)所示的2价有机基团作为主要成分。X表示除通式(5)所示的基团及(6)所示的基团以外的、碳原子数为2以上的4价有机基团。通式(3)中，Y是除通式(4)所示的基团以外的、碳原子数为2以上的2价有机基团，Z是碳原子数为2以上的4价有机基团，且以通式(5)所示的基团及(6)所示的基团中的任一个表示的4价有机基团作为主要成分。m和n表示正整数，在各嵌段中可以不同。)(通式(4)～(6)的R1～R5各自可以为相同的基团或不同的基团，表示碳原子数为1～10的1价有机基团。o和p表示0～4的整数，q表示0～2的整数，r和s表示0～3的整数。)

公开(公告)号：CN102549497A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080040527.7

申请日：2010-09-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 三好一登 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/037

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物能够抑制随着减压干燥产生气泡、形成干燥后的膜厚均匀性优异的感光性树脂膜。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，含有：(a)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺的前体、及聚苯并噁唑的前体中的至少1种以上的树脂、(b)感光剂、(c)大气压下的沸点为100℃以上130℃以下的有机溶剂及(d)大气压下的沸点为150℃以上、20℃下的粘度大于1.1mPa·s、小于1.5mPa·s的有机溶剂，且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为40重量％以上90重量％以下，(d)成分的含量相对于有机溶剂总量为10重量％以上60重量％以下。

公开(公告)号：CN101017328B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200710084698.X

申请日：2002-02-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 诹访充史 ,  三好一登 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/023 ,  H05B33/00

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0233 ,  Y10S430/107

Abstract: 提供一种可以碱显影的正型感光性树脂前体组合物，其包含下述(a)、(b1)和(c)。(a)在以通式(3)表示的结构单元为主要成分的碱性水溶液中可溶性的聚酰胺酸酯和/或聚酰胺酸聚合物，式中，R3表示至少含有2个以上的碳原子的2价～8价的有机基，R4表示至少含有2个以上的碳原子的2价～6价的有机基，R5表示氢原子或碳原子数为1～20的有机基，n为10～100000的整数，m为0～2的整数，p、q为0～4的整数，p+q>0，p或q的任一方为0，(b1)含有通式(1)表示的用有机基R1取代的羟甲基的含酚羟基的热交联性化合物，(c)酯化的重氮醌化合物。

公开(公告)号：CN100529964C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200410043038.3

申请日：2004-04-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 三好一登 ,  奥田良治 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/022 ,  C08K3/00 ,  C08K5/00 ,  C08L79/08

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/105

Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(a)碱溶性树脂；(b)醌的重氮化合物；(c)热敏化合物，其在受热后着色并在至少350nm且至多700nm的波长处显示出吸收最大值；和(d)一种化合物，其在至少350nm到低于500nm的波长内不具有吸收最大值，但在至少500nm且至多750nm的波长处具有吸收最大值。这种组合物优选用于形成遮光分离器或者有机电致发光器件和液晶显示元件的黑色基质。