公开(公告)号：CN104823264B

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201380062492.0

申请日：2013-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千叶启子 ,  伊藤俊树 ,  饭村晶子 ,  川崎阳司 ,  山下敬司 ,  加藤顺

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F20/18 ,  B29K33/04

CPC classification number: C08F222/20 ,  B29C59/005 ,  B29C59/02 ,  B29C59/022 ,  B29C59/16 ,  B29K2033/12 ,  B29L2011/00 ,  B29L2031/3406 ,  C08F220/18 ,  C08F222/10 ,  C08F222/1006 ,  C08F2222/1013 ,  C08L33/08 ,  C08L2312/00 ,  C09D133/08 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  C08F2220/1891 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2220/301

Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。

公开(公告)号：CN107756785A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201710709428.7

申请日：2017-08-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 新井隆 ,  关根康弘 ,  柏崎昭夫 ,  伊藤俊树

IPC: B29C64/135 ,  B29C64/255 ,  B29C64/386 ,  B29C64/393 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/00 ,  B33Y50/02

CPC classification number: B29C64/264 ,  B29C64/124 ,  B29C64/188 ,  B29C64/255 ,  B29C64/364 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  C08F220/18 ,  C09D4/00 ,  C08F2222/1026 ,  B33Y50/00 ,  B33Y50/02

Abstract: 公开了用于制造三维制品的三维制造装置和方法。一种三维制品被制造出。将未固化的光固化树脂填充到用于下一层的空间中的速度被提高，以改进制造速度。容纳光固化树脂的容器的一个表面通过透气片以及透光板来配置，该透气片面向光固化树脂并且透射光照射装置的照射光，以及该透光板设置于容器的相对于该透气部件的外侧处。在透气片与透光板之间界定可通过压力控制装置进行压力控制的加压室。在移动制造台时，加压室的内部被减压，以引起透气片进行凹面变形，以及在进行光照射时，通过加压来引起加压室中的气体渗透入光固化树脂中。

公开(公告)号：CN105493236B

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201480047347.X

申请日：2014-08-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  加藤顺 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/50

CPC classification number: C08F2/50 ,  C09D4/00 ,  G02B1/12 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/031 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/31155 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2220/185 ,  C08F2222/1013 ,  C08F2222/102

Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。

公开(公告)号：CN105340061B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201480036474.X

申请日：2014-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 米泽诗织 ,  伊藤俊树 ,  山下敬司 ,  千叶启子 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  C08F20/50

CPC classification number: B29C59/005 ,  B29C59/002 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  B29C2059/023 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08L33/08 ,  G03F7/0002 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2222/1013

Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。

公开(公告)号：CN105340062B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201480036784.1

申请日：2014-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  千叶启子 ,  山下敬司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C33/62 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F220/18 ,  C08F222/1006 ,  C08K2201/00 ,  C08L33/08 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/266 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2222/1013

Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。

公开(公告)号：CN107251192A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680011970.9

申请日：2016-02-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。

公开(公告)号：CN105009256B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201480012262.8

申请日：2014-03-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 北川健司 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/48 ,  C09K3/00 ,  C07C311/17

CPC classification number: C08K5/435 ,  B29C35/0805 ,  B29C59/005 ,  B29C59/026 ,  B29D11/00865 ,  B29K2033/12 ,  B29L2031/3425 ,  C07C311/17 ,  C07C311/44 ,  C08F2/48 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0046 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0274 ,  Y10T428/24612

Abstract: 提供即使曝光量低脱模力的降低效果也优异的光固化性组合物，和包含于所述光固化性组合物中的感光性气体产生剂。感光性气体产生剂为具有通过光刺激产生气体的光刺激响应性气体产生基团、全氟烷基和连接光刺激响应性气体产生基团和全氟烷基的聚亚烷基氧基的化合物。光固化性组合物包含感光性气体产生剂。

公开(公告)号：CN105189448B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480026291.X

申请日：2014-05-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  佐藤仁至 ,  川崎阳司

IPC: C07C217/08 ,  C08F2/50 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F2/50 ,  C07C217/08 ,  C07C217/40 ,  G02B1/12 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0076 ,  H05K3/0079 ,  H05K3/0082 ,  H05K3/30 ,  H05K2203/0548

Abstract: 提供了一种化合物，其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示：其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构，N表示氮原子，RA表示烷基，和RB表示烷基或氢原子。

公开(公告)号：CN104246976B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201380021750.0

申请日：2013-04-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  饭村晶子

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C35/0805 ,  B29C59/022 ,  B29C2035/0827 ,  B29K2025/06 ,  B29K2025/08 ,  B29K2105/0002 ,  B29K2105/0085 ,  B29K2995/0027 ,  C08F112/08 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0273 ,  H05K1/181 ,  H05K3/0082 ,  H05K3/064

Abstract: 提供一种光固化物的制造方法，通过其可改进转印精度并且可获得小的表面粗糙度。所述方法包括以下步骤：将光固化性组合物配置在基板上；使模具与光固化性组合物接触；用光照射光固化性组合物；以及使模具从光固化性组合物脱模。接触在冷凝性气体气氛中进行，冷凝性气体在接触时的温度条件下和在当光固化性组合物侵入基板与模具之间的间隙或模具上设置的凹部时冷凝性气体受到的压力条件下冷凝，并且光固化性组合物包括相对于冷凝性气体的重量变化率为‑1.0％至3.0％的气体溶解抑制剂。

公开(公告)号：CN105659358A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480051516.7

申请日：2014-09-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  B81C1/00 ,  G03F7/20

Abstract: 一种膜的生产方法，其包括：将光固化性组合物配置在基板上的配置步骤；使所述光固化性组合物和模具彼此接触的模具接触步骤；用光照射所述光固化性组合物从而形成固化产物的光照射步骤；和使所述固化产物和所述模具彼此脱离的脱模步骤，其中所述方法进一步包括在所述光照射步骤之前将所述模具与所述基板彼此对准的对准步骤，其中所述光固化性组合物至少包含作为组分(A)的聚合性化合物和作为组分(B)的光聚合引发剂，并且其中当所述聚合性化合物在0.12mW/cm2的照度和11.0秒的曝光时间的条件下曝光时，所述聚合性化合物具有50％以上的聚合转化率。