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公开(公告)号：CN103329622B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201280005723.X
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/145 , C23C14/042 , C23C14/54 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/0002 , H01L51/56 , H01L2251/558 , Y10T428/24612
Abstract: 本发明的被成膜基板（200）中，第一膜（23R）的膜厚渐减部分（23sR）的y轴方向上的基端侧形成为与第一成膜区域（24R）重叠，第二膜（23B）的膜厚渐减部分（23sB）形成为位于第二成膜区域（24B）的y轴方向上的外侧，并且与第一膜（23R）的膜厚渐减部分（23sR）重叠而填补膜厚渐减部分（23sR）的膜厚逐渐减少的量。
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公开(公告)号：CN105609519A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510566081.6
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供被成膜基板、制造方法和有机EL显示装置。被成膜基板包括：第一成膜区域和第二成膜区域沿着规定方向彼此隔开间隔地交替配置的基板；和分别在基板的第一成膜区域和第二成膜区域覆盖形成的第一膜和第二膜，第一膜在规定方向上的两侧部分分别具有膜厚向规定方向上的前端侧逐渐减少的膜厚渐减部分，第二膜在规定方向上的两侧部分分别具有膜厚向规定方向上的前端侧逐渐减少的膜厚渐减部分，该膜厚渐减部分与第一膜的膜厚渐减部分重叠，第二膜的除膜厚渐减部分以外的大致平坦部分的膜厚小于第一膜的除膜厚渐减部分以外的大致平坦部分的膜厚，在第二膜上还包括第一缓冲层，第一膜的大致平坦部分的膜厚，与第一缓冲层和第二膜的膜厚之和相等。
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公开(公告)号：CN103314464B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280005736.7
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3262 , C23C14/044 , C23C14/12 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 被成膜基板（200）是在排列于规定方向上的多个蒸镀区域（24R、24G）中的各个蒸镀区域形成有蒸镀膜（23R、23G）的被成膜基板，蒸镀膜（24R）具有相对于被成膜基板（200）的法线方向倾斜的倾斜侧面（23s），蒸镀膜（23R）的上述规定方向上的宽度大于蒸镀区域（24R）的所述规定方向上的宽度与所述各蒸镀区域（24R、24G）间的区域（29）的所述规定方向上的宽度之和。
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公开(公告)号：CN103299712B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201280004717.2
申请日：2012-01-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5036 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3276 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L2227/323
Abstract: 一种TFT基板（10），利用蒸镀装置（50）在TFT基板（10）上形成蒸镀层，蒸镀装置（50）具有：具备射出口（86）的蒸镀源（85）；和具备从射出口（86）射出的蒸镀颗粒通过的开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒通过开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀层，TFT基板（10）具有二维地排列有多个像素的像素区域（AG），与各像素电连接的多条配线（14）的端子汇集到蒸镀层的形成区域外。
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公开(公告)号：CN103430625B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201280012948.8
申请日：2012-03-09
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置(1)通过蒸镀处理在被成膜基板(40)上形成规定图案的发光层(47)，蒸镀装置(1)包括：喷嘴(13)，其形成有在进行蒸镀处理时向被成膜基板(40)射出形成发光层(47)的蒸镀颗粒(17)的多个射出口(16)；和多个限制板(20)，该多个限制板(20)配置于喷嘴(13)与被成膜基板(40)之间，对从多个射出口(16)射出的蒸镀颗粒(17)相对于被成膜基板(40)的入射角进行限制，喷嘴(13)包括：在配置被成膜基板(40)的一侧的面具有开口部(14c)的容器形状的喷嘴主体(14b)；和多个块体(15)，该多个块体(15)覆盖开口部(14c)，相互分离，且分别形成有多个射出口(16)。由此，形成高精细的蒸镀膜图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103168114B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180049926.4
申请日：2011-10-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/50 , C23C16/042 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H01L51/56 , H01L2227/323 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置（50）在被成膜基板（200）上的成膜的区域间竖立设置有分隔壁（26），蒸镀装置（50）具备：掩模单元（80），其具备相对位置被固定的遮蔽掩模（81）和蒸镀源（85）；接触单元，其使被成膜基板（200）与遮蔽掩模（81）经由分隔壁（26）接触；和移动单元，其在维持由接触单元进行的接触的状态下使掩模单元（80）和被成膜基板（200）中的至少一个相对移动。
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公开(公告)号：CN103476962B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201280015939.4
申请日：2012-03-23
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L21/02104 , B65D85/70 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/541 , H01L51/001
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置包括：喷嘴部（110），其具有将气态的蒸镀颗粒向外部射出的射出口（111）；加热板单元（100），其内置于上述喷嘴部（110），具有通过使蒸镀颗粒附着而在表面保持蒸镀材料的多个加热板（101）；和加热装置（160），其将保持在上述加热板（101）的表面的蒸镀材料加热至使该蒸镀材料成为气态的温度以上的温度。
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公开(公告)号：CN103380227B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201280009041.6
申请日：2012-03-08
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542 , C23C14/562 , H01L51/0008
Abstract: 本发明的蒸镀颗粒射出装置(501)具备喷嘴部(170)，该喷嘴部(170)与对蒸镀材料(114)、(124)进行加热而产生气体状的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部(110)、(120)连接，并具有将在上述蒸镀颗粒产生部(110)、(120)产生的蒸镀颗粒射出到外部的射出(171)。上述蒸镀颗粒产生部(120)的蒸镀材料容纳量，比上述蒸镀颗粒产生部(110)的蒸镀材料容纳量小。
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公开(公告)号：CN103282538B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201280004516.2
申请日：2012-01-04
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0008 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/243 , H01L51/001 , H01L51/56
Abstract: 从第一和第二蒸镀源开口(61a、61b)放出的第一和第二蒸镀颗粒(91a、91b)通过限制板单元(80)的第一和第二限制开口(82a、82b)，并通过蒸镀掩模(70)的掩模开口(71)，附着在基板(10)上形成覆膜。限制板单元限制朝向基板行进的第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒在第一方向(10a)上的指向性，使得将假定没有蒸镀掩模的情况下第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒附着的基板上的区域分别设为第一区域(92a)和第二区域(92b)时，第二区域被包括在第一区域中。由此，能够利用分涂蒸镀形成使用掺杂法得到的发光层。
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公开(公告)号：CN102959121B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201180029760.X
申请日：2011-08-17
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0008 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 依次配置蒸镀源(60)、多个控制板(80)和蒸镀掩模(70)。使基板(10)相对于蒸镀掩模以隔开一定间隔的状态相对地移动。从蒸镀源的蒸镀源开口(61)被放出的蒸镀颗粒(91)通过相邻的控制板间空间(81)，并且通过形成于蒸镀掩模的掩模开口(71)，附着在基板而形成覆膜(90)。覆膜的至少一部分由通过相互不同的两个以上的控制板间空间的蒸镀颗粒形成。由此，能够形成抑制了端缘的模糊和厚度不均的覆膜。
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