超纯水制造用子系统
    62.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202705158U

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201220101480.7

    申请日:2012-03-14

    Abstract: 本实用新型提供一种在UF膜装置即超滤膜装置的后级中具有压力损失低的吸附装置的超纯水制造用子系统。一种超纯水制造用子系统,其是从一次纯水制造超纯水的子系统(3),其中,至少包括UV装置(13)、脱气装置(15)、离子交换树脂装置(16)和UF膜装置(17)、以及在该UF膜装置的后级设置的填充了粒径为1~3mm的粒状吸附体的吸附装置(18),基于来自该UF膜装置(17)的流出水压,在不使用升压泵的情况下向吸附装置(18)中通水。

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