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公开(公告)号：JPWO2017110762A1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：JP2016087857
申请日：2016-12-20
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: シリカガラスルツボの内部残留応力を正確に測定すること。 本発明は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、側壁部と底部との間に設けられ底部の曲率よりも高い曲率を有するコーナ部と、を備えるシリカガラスルツボの歪を測定する歪測定装置であって、側壁部の側方に配置され、偏光光を側壁部に向けて照射する発光部と、側壁部の上端面の偏光光に応じた映像を取り込む撮像部と、撮像部で取り込んだ映像に基づきシリカガラスルツボの歪の分布を出力する出力部と、を備える。
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公开(公告)号：JP2017215325A
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：JP2017117366
申请日：2017-06-15
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの赤外吸収スペクトルの三次元分布を高精度に決定するシリカガラスルツボの測定方法を提供する。 【解決手段】円筒状の側壁部11aを備え、内表面側に透明シリカガラス層13、外表面側に気泡含有シリカガラス層15を有するシリカガラスルツボ11の内表面に沿って非接触で内部測距部17を移動させ、移動経路上の複数の測定点において内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、内表面で反射される反射光によるピークおよび透明シリカガラス層13と気泡含有シリカガラス層15との界面で反射される反射光によるピークの2つのピークが観測されるように内部測距部17と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークの位置によって、内部測距部17と内表面との間の内表面距離および内部測距部17と界面との間の界面距離をそれぞれ決定し、内表面および界面の三次元形状をそれぞれ求める。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017138322A
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：JP2017052968
申请日：2017-03-17
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの気泡の三次元配置を高精度に決定する方法を提供する。 【解決手段】円筒状の側壁部11aと、湾曲した底部11cと、底部よりも曲率が大きいコーナー部11bと、を備え、内表面側に透明シリカガラス層13と、外表面側に気泡含有シリカガラス層15を有するシリカガラスルツボ11の気泡の三次元配置を求める方法。シリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光の2つのピークから内表面距離および界面距離を測定し、複数の測定点の三次元座標と、内表面距離および界面距離とを関連付けることによって、シリカガラスルツボの内表面および界面の三次元形状を求める。内表面の三次元形状上の複数の測定点において、各測定点に対応した位置でのシリカガラスルツボの画像を共焦点顕微鏡の焦点位置をずらしながら取得して気泡の三次元配置を求める。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017132690A
公开(公告)日：2017-08-03
申请号：JP2017039352
申请日：2017-03-02
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】サセプターとシリカガラスルツボとの中心軸を調節することなく、サセプターの内表面とシリカガラスルツボの外表面との間に敷設するだけで互いの中心軸が実質的に一致するようになる、シリコン単結晶引き上げ方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボ21を保持可能なサセプター31の内面形状の三次元データとルツボ21の三次元データに基づき、サセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設するとサセプター31の中心軸32とルツボ21の中心軸22が実質的に一致する様に形成された成形体42を、サセプター31の内表面とルツボ21の外表面との間に敷設する工程を備える、シリコン単結晶引き上げ方法において、サセプター31の中心軸32を、サセプター31を水平方向に回転させる略鉛直方向に通過する軸とする、シリコン単結晶引き上げ方法。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP6150309B2
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：JP2015524913
申请日：2013-06-30
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: C03B1/00 , C03B19/095 , G01N21/55 , G02B21/008 , C30B15/10 , C30B29/06 , G01N15/088 , G01N2015/0015 , G01N2015/0096 , G01N2033/0091 , Y02P40/57
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公开(公告)号：JP2017052693A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2016205663
申请日：2016-10-20
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B15/10 , C03B20/00 , G01N21/3563 , G01N21/65 , C30B29/06
Abstract: 【課題】シリコンインゴットの引き上げに使用されるシリカガラスルツボにおいて、シリカガラスルツボに表面欠陥部位が発生するかどうかを予測して、シリカガラスルツボの品質を判断するシリカガラスルツボの検査方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボの内表面上の測定点において、赤外吸収スペクトル又はラマンシフトを測定する測定工程、及び、得られたスペクトルと予め準備された基準スペクトルとを比較して前記測定点に表面欠陥部位が発生するかどうかを予測し、前記シリカガラスルツボの内表面の表面欠陥部位の予測発生数に基づいて表面欠陥部位の予測発生指数を算出することにより、前記シリカガラスルツボの品質を判断する判断工程を備えるシリカガラスルツボの検査方法。 【選択図】なし
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