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公开(公告)号：CN102193184B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201110061726.2
申请日：2011-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B6/29358
Abstract: 本发明涉及光滤波器及光滤波器模块以及分析设备及光设备。该光滤波器包括：第一基板；与所述第一基板对置的第二基板；第一反射膜，其被设置于所述第一基板；第二反射膜，其被设置于所述第二基板并与所述第一反射膜对置；第一电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一反射膜的周围；第二电极，其被设置于所述第一基板，在俯视的情况下被形成于所述第一电极的周围；第三电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第一电极对置；及第四电极，其被设置于所述第二基板，并与所述第二电极对置。
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公开(公告)号：CN102645741B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201210034461.1
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器即标准具包括固定基板和与固定基板相对的可动基板。固定基板包括通过接合膜与可动基板接合的第一接合面和形成有第一电极的一部分的第一电极面。可动基板包括通过接合膜与第一接合面接合的第二接合面和形成有第二电极的一部分的第二电极面。在固定基板与可动基板通过接合膜接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触。
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公开(公告)号：CN105511072A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201610034338.8
申请日：2011-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B5/26 , G01J3/26 , G02B1/10 , G02B6/29361 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。
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公开(公告)号：CN105319703A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510364469.8
申请日：2015-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够低成本且小型化的分光图像拍摄装置以及分光图像拍摄方法。分光相机具备：波长可变干涉滤波器(5)，其具有一对反射膜(54、55)以及能够变更一对反射膜(54、55)的间隙尺寸的静电致动器；拍摄部(122)，其具有配置成二维阵列结构的多个像素(123)，接收透过波长可变干涉滤波器(5)的光；以及接收光波长获取部，其针对拍摄部(122)的各像素(123)，获取入射至该像素的光的中心波长，接收光波长获取部获取由各像素接收的光的基于射向一对反射膜的入射位置处的入射角的中心波长。
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公开(公告)号：CN104006880A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410059701.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高无线通信中的通信速度的分光测定装置、通信系统以及使用该分光测定装置的色彩管理系统。通信系统（1）具备：发送终端（8），其显示多种颜色的编码图案被二维排列的色码；波长可变干涉滤波器（5），其对来自显示于发送终端（8）的图像的光进行分光；拍摄部（拍摄元件（32）以及光量获取部（62）），其拍摄被波长可变干涉滤波器（5）分光的光，获取分光图像；测色部（63），其在获取了针对色码的多个波长的分光图像的情况下，基于各分光图像的各像素中的光量值，来测定各像素的分光光谱；以及分光测定装置（2），其具有基于各像素的像素位置和分光光谱，来检测编码图案的配置并对色码进行解码的译码部（64）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102798972A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210144872.6
申请日：2012-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J1/04 , G01J1/0488 , G01J3/26 , G01J2003/1247 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器模块以及光分析装置，该滤光器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，设置在固定基板的与可动基板相对的面上；第二反射膜，设置在可动基板上，隔着间隙与第一反射膜相对；第一电极，覆盖所述第一反射膜，延伸至第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在可动基板的与固定基板相对的面上，并与第一电极的一部分相对，其中，第一电极由透光性材料形成，第一电极与第二反射膜电连接，处于等电位。
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公开(公告)号：CN102636829A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210033130.6
申请日：2012-02-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块和光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；以及第二电极，设置在第二基板的与第一基板相对的面上；并且第二基板具备设置了第二反射膜的可动部、以及保持可动部并允许可动部在基板的厚度方向移动的连接保持部，连接保持部围绕可动部连续地形成且其厚度尺寸小于可动部的厚度尺寸，第二电极设置在第二基板的厚度尺寸比连接保持部大的部分。
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公开(公告)号：CN100436135C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610004250.8
申请日：2006-02-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种静电激励器，具备：构成一方的电极的振动板(12)、和形成与振动板(12)隔着间隙(20)对置的对置电极(17)的电极基板(3)，对置电极(17)在形成于电极基板(3)上的平面形状为大致长方形的槽部(19)中形成，且静电激励器形成为随着向槽部(19)的长边方向的中央部，间隙(20)变大的多段的面。这样便提供一种以很低的驱动电压便可驱动的静电激励器以及其制造方法、应用该静电激励器的液滴喷头以及其制造方法、搭载该液滴喷头的液滴喷吐装置、搭载所述静电激励器的设备。
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公开(公告)号：CN101284448A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810089669.7
申请日：2008-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14411
Abstract: 本发明提供液滴喷出头、液滴喷出装置和它们的喷出控制方法，能够进行更有效地使喷出量变化等的喷出控制。该液体喷出头包括：喷嘴(31)，将液体作为液滴喷出；多个喷出室(上游侧喷出室(21A)、下游侧喷出室(21B))，各喷出室分别具有进行移位并对液体加压的振动板(22)(上游侧振动板(22A)、下游侧振动板(22B))，串联设置在与喷嘴(31)连通的液体的流道上；以及个别电极(12)，与各喷出室(21)的振动板(22)相对，在其与各振动板(22)之间产生静电力，使各振动板(22)移位，其中，由各振动板(22)的位移引起的排除体积不同。
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公开(公告)号：CN101249748A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810005959.9
申请日：2008-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 本发明提供了一种能够小型化、能够容易地实现高密度化、多喷嘴化的液滴喷出头及其制造方法，进而提供通过装载本发明的液滴喷出头、能够实现装置的小型化、能够应对高精细·高品位的液滴喷出与高速驱动的液滴喷出装置。该液滴喷出头为以下构造：与喷出液滴的多个喷嘴孔(5)的各个喷嘴孔分别连接的喷出室(6)、能够变位地对形成在喷出室底壁的振动板(8)进行驱动的执行器(14)、和与所述喷出室的各喷出室公用地连通的储存部(17)分别划分形成在不同的平面上，为了将与储存部的形成面(13)垂直的方向的投影面包含在所述喷出室以及所述执行器的形成面(11、12)内，将所述喷出室、所述执行器和所述储存部按照该顺序层叠配置。
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