公开(公告)号：KR1020090049881A

公开(公告)日：2009-05-19

申请号：KR1020070116223

申请日：2007-11-14

Applicant: 서강대학교산학협력단 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 조규만 ,  박영규

IPC: G01N21/23 ,  G01N21/00 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01N21/23 ,  G01N21/1717

Abstract: 본 발명은 시료의 비선형 계수의 균질성을 검사하는 검사 장치에 관한 것이다. 상기 검사 장치는 상기 검사할 시료를 배치하고 X,Y 방향을 따라 이동시키는 스캐너, 상기 스캐너에 배치된 시료에 대하여 광 kerr 효과에 의한 복굴절을 유도시키는 펌핑계, 상기 시료의 복굴절도를 측정하는 간섭계, 및 상기 간섭계로부터 제공되는 복굴절도를 이용하여 비선형 계수값을 계산하는 제어 컴퓨터를 구비한다.
상기 제어 컴퓨터는 시료의 측정 영역에 따라 스캐너를 X,Y 방향으로 이동시키면서 시료의 측정 영역의 모든 위치에 대한 복굴절도를 상기 간섭계로부터 제공받고, 상기 복굴절도 및 상기 펌핑계의 광원 세기값을 이용하여 비선형 계수값을 추출하고, 상기 시료의 측정 영역에 대하여 추출된 모든 비선형 계수값들을 이용하여 3차원 이미지로 작성하여 제공한다.
본 발명에 의하여, 비선형 매질인 시료의 측정 영역에 대한 비선형 계수값들을 이미지화하여 제공함으로써 비선형 계수값의 균질성을 검사할 수 있도록 한다.
복굴절도, 비선형 광학 계수, 스캐너, 호모다인 간섭계