公开(公告)号：KR100726434B1

公开(公告)日：2007-06-11

申请号：KR1020050069374

申请日：2005-07-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 홍영택 ,  장석모 ,  윤석출 ,  김준오 ,  송인상 ,  이상훈 ,  권상욱 ,  정희문 ,  김종석 ,  김재흥

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009

Abstract: 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치가 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 RF MEMS 스위치는 기판, 기판 상부 표면상에 서로 소정의 간격으로 이격되어 증착되는 제1 신호라인 및 제2 신호라인, 기판 상부 표면을 기준으로, 제1 및 제2 신호라인 상 방향에 위치하며, 제1 및 제2 신호라인 각 각과 소정의 간격으로 이격된 액츄에이터, 및 기판 상부 표면을 기준으로, 액츄에이터의 상 방향에 위치하며, 소정의 구동 전압이 인가되면, 액츄에이터를 제1 신호라인 및 제 2 신호라인과 접촉하게 하는 고정부를 포함한다. 이에 의하여 액츄에이터가 기판에 붙는 현상을 방지할 수 있고, 저전압 구동이 가능하고, 삽입손실 및 전력손실을 줄일 수 있다.
콤(comb) 구조, RF MEMS 스위치, 액츄에이터, 신호라인

公开(公告)号：KR100631204B1

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：KR1020050067333

申请日：2005-07-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정희문 ,  김준오 ,  송인상 ,  이상훈 ,  권상욱 ,  홍영택 ,  김종석 ,  김재흥

IPC: H01H59/00

Abstract: An MEMS(Micro Electro Mechanical System) switch and a method of manufacturing the same are provided to increase a contacting force of a contact member by improving a seesaw rotation structure of a movable electrode. At least one stationary electrode(703) is formed on an upper surface of a substrate(701). At least one recovery electrode(705) is formed on the upper surface of the substrate. At least one signal line(707) is formed on the upper surface of the substrate, and has a switching contact. A movable electrode(704) is spaced apart from the upper surface of the substrate, and is connect to the substrate via a resilient connector. At least one contact member is formed on a bottom surface of the movable electrode or a bottom surface of the resilient connector. At least one pivot boss(731) is formed on the bottom of the movable electrode or the upper surface of the substrate.

Abstract translation: 提供MEMS（微机电系统）开关及其制造方法，以通过改进可动电极的跷跷板旋转结构来增加接触构件的接触力。 至少一个固定电极（703）形成在衬底（701）的上表面上。 至少一个恢复电极（705）形成在衬底的上表面上。 至少一个信号线（707）形成在衬底的上表面上，并且具有开关触点。 可动电极（704）与衬底的上表面间隔开，并且经由弹性连接器连接到衬底。 至少一个接触构件形成在可动电极的底表面或弹性连接器的底表面上。 至少一个枢轴凸台（731）形成在可移动电极的底部或基板的上表面上。

公开(公告)号：KR100470591B1

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：KR1020020077851

申请日：2002-12-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조진우 ,  송인섭 ,  김준오 ,  정희문 ,  곽동옥 ,  이상희 ,  신규호 ,  이성희

IPC: G01C19/56

Abstract: 본 발명의 자이로스코프는 감지 질량체와 감지 질량체를 고정 지지하는 회로기판을 구비하는 센서부, 센서부를 밀폐하는 하우징, 및 센서부를 외부 회로와 연결하는 리드선의 역할을 함과 동시에 센서부를 하우징내에 탄성적으로 지지하는 방진부를 포함한다. 방진부는 각각, 센서부를 하우징 내부에 탄성적으로 지지하도록 하우징에 관하여 배치된 스프링부, 및 외부 회로와 연결되도록 하우징 외부로 돌출된 리드 단자부를 구비한 다수의 리드 프레임으로 구성된다. 본 발명의 자이로스코프 제조방법은 각각 스프링부와 리드 단자부를 포함하는 다수의 리드 프레임을 형성한 금속판을 준비하는 단계, 리드 프레임에 하우징의 몸체를 리드 프레임과 일체로 형성하는 단계, 감지 질량체와 회로 기판을 갖는 센서부를 리드 프레임에 고정하는 단계, 및 하우징의 덮개를 하우징의 몸체에 고정하는 단계를 포함한다. 본 발명의 자이로스코프 및 그 제조방법은 별도의 탄성부재를 사용하지 않고 센서부를 방진하는 방진 스프링부를 리드 프레임 형성시 리드 프레임과 일체로 형성한 방진부를 가지므로, 조립 및 제작을 쉽게 함과 동시에 제작 코스트를 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR100465162B1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：KR1020020007052

申请日：2002-02-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정희문

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/007 ,  B81B2203/0118

Abstract: A torsion spring for a MEMS structure has a plurality of beams, each beam having two ends wherein both ends are fixed to a predetermined area, and at least one connection bar disposed at a right angle to a lengthwise direction of the plurality of beams, wherein the at least one connection bar connects the plurality of beams. Preferably, the distance between the connection bars is equal to or greater than the width of one of the plurality of beams. Accordingly, a torsion spring according to the present invention has a bending stiffness greater than a torsional stiffness, which allows easier torsion. Further, a torsion spring according to the present invention may be easily fabricated by etching.

Abstract translation: 用于MEMS结构的扭转弹簧具有多个梁，每个梁具有两端，其两端固定到预定区域，以及至少一个连接杆，所述至少一个连接杆布置在与所述多个梁的长度方向成直角的位置，其中， 该至少一个连接杆连接多个梁。 优选地，连接杆之间的距离等于或大于多个梁中的一个的宽度。 因此，根据本发明的扭转弹簧具有大于扭转刚度的弯曲刚度，其允许更容易的扭转。 此外，根据本发明的扭转弹簧可以通过蚀刻容易地制造。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR100434537B1

公开(公告)日：2004-06-05

申请号：KR1019990011269

申请日：1999-03-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성규 ,  이기방 ,  최재준 ,  정희문

IPC: H01L21/768

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B81C1/0019 ,  B81C1/00507 ,  B81C2201/0115 ,  H01L21/76251 ,  H01L21/76262

Abstract: A multilayered wafer with a thick sacrificial layer, which is obtained by forming a sacrificial layer of oxidized porous silicon or porous silicon and growing an epitaxial polysilicon layer on the sacrificial layer, and a fabrication method thereof are provided. The multilayered wafer with a thick sacrificial layer adopts a porous silicon layer or an oxidized porous silicon layer as a sacrificial layer such that a sufficient gap can be obtained between a substrate and a suspension structure upon the manufacture of the suspension structure of a semiconductor actuator or a semiconductor inertia sensor. Also, in a fabrication method of the wafer according to the present invention, a p -type or n -type wafer doped at a high concentration is prepared for, and then a thick porous silicon layer can be obtained simply by anodic-bonding the surface of the wafer. Also, when polysilicon is grown on a porous silicon layer by an epitaxial process, it is grown faster than when single crystal silicon is grown.

Abstract translation: 提供通过形成氧化多孔硅或多孔硅的牺牲层并在牺牲层上生长外延多晶硅层而获得的具有厚牺牲层的多层晶片及其制造方法。 具有厚牺牲层的多层晶片采用多孔硅层或氧化多孔硅层作为牺牲层，使得在制造半导体致动器的悬架结构时可以在衬底和悬架结构之间获得足够的间隙，或者 半导体惯性传感器。 而且，在根据本发明的晶片的制造方法中，准备以高浓度掺杂的p +型或n +型晶片，然后厚的多孔硅层可以是 只需通过阳极键合晶圆表面即可获得。 此外，当通过外延工艺在多孔硅层上生长多晶硅时，其生长速度比生长单晶硅时快。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR100431004B1

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：KR1020020007244

申请日：2002-02-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정희문 ,  김준오 ,  이병렬 ,  이상우

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: 회전형 비연성 멤스 자이로스코프가 개시된다. 자이로스코프는, X축을 중심으로 요동가능한 구동질량체, Z축을 중심으로 요동가능한 감지질량체, 및 X축을 중심으로 구동질량체와 함께 요동하고 Z축을 중심으로 감지질량체와 함께 요동하는 매개질량체를 구비한다. 구동질량체는 X축을 중심으로 비틀림변형되는 제1비틀림스프링에 의해 기판에 고정되고, 매개질량체는 Z축을 중심으로 굽힘변형되는 제1굽힘스프링에 의해 구동질량체에 연결된다. 감지질량체는 X축을 중심으로 비틀림변형되는 제2비틀림스프링에 의해 매개질량체에 연결되며, 또한 Z축을 중심으로 굽힘변형되는 제2굽힘스프링에 의해 기판에 고정된다. 구동질량체가 구동전극에 의해 X축을 중심으로 소정의 범위에서 진동하는 동안 외부에서 Y축에 대해 각속도가 인가되면, 코리올리힘에 의해 감지질량체가 Z축을 중심으로 회전하고 감지전극은 이를 감지한다. 구동전극은 구동운동만을 하고 감지전극은 감지운동만을 하므로, 자이로스코프의 성능이 향상된다.

Abstract translation: 本发明公开了一种旋转式解耦MEMS陀螺仪，其包括可围绕X轴移动的驱动体（10），可围绕Z轴移动的感测体（30），与驱动体一起围绕X轴移动的介质体（20） 轴和感应体围绕Z轴。 驱动体通过绕X轴扭转变形的第一扭力弹簧（51）固定在基板（100）上，并且介质体通过第一弯曲弹簧（61）与驱动体连接，所述第一弯曲弹簧 Z轴。 感测体通过围绕X轴扭转变形的第二扭力弹簧（52）连接到介质体，并且通过围绕Z轴弯曲变形的第二弯曲弹簧（62）固定到基板。 当驱动体通过驱动电极（110）围绕X轴在一定范围内振动时，如果相对于Y轴施加角速度，则感测体通过科里奥利力围绕Z轴旋转，并且感测电极 （130）感测旋转。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR100374786B1

公开(公告)日：2003-03-04

申请号：KR1020000001192

申请日：2000-01-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정희문 ,  이석한

IPC: B41J2/045

Abstract: PURPOSE: An ink jet head using a stacked type piezoelectric actuator is provided to increase ink discharge force at a low voltage by mounting an actuator formed of stacked piezoelectric elements with a chamber in the piezoelectric elements for generating large deformation with respect to the small driving voltage and independently increasing displacement and pressure according to a size of the chamber and a thickness of the piezoelectric elements. CONSTITUTION: An ink jet head using a stacked type piezoelectric actuator includes a nozzle plate(11) formed with a nozzle, a manifold part having a restrictor plate(41) formed with one or a plurality of restrictors(40), a plurality of piezoelectric elements(22) stacked in multiple layers and provided between the nozzle plate and the manifold part, defining a chamber(20) inside for receiving ink, common electrodes and drive electrodes alternately interposed among the piezoelectric elements, and a medium(25) interposed either between the restrictor plate and an end of the piezoelectric elements adjacent to the restrictor plate, or between the nozzle plate and the other end of the piezoelectric elements adjacent to the nozzle plate to be deformed in response to the deformation of the piezoelectric elements.

Abstract translation: 目的：提供一种使用堆叠型压电致动器的喷墨头，通过将由层叠的压电元件形成的致动器与腔室一起安装在用于产生相对于小的驱动电压的大变形的压电元件中来提高在低电压下的墨排出力 并且根据腔室的大小和压电元件的厚度独立地增加位移和压力。 本发明的目的在于提供一种使用叠层型压电致动器的喷墨头，其包括形成有喷嘴的喷嘴板（11），具有由一个或多个限流器（40）形成的限制板（41）的歧管部，多个压电体 在所述喷嘴板和所述歧管部分之间设置的多层结构的元件（22），在所述喷嘴板和所述歧管部分之间限定用于接收墨水的腔室（20），交替地置于所述压电元件之间的公共电极和驱动电极，以及介质（25） 在限流板和与限流板相邻的压电元件的端部之间，或者在喷嘴板和与喷嘴板相邻的压电元件的另一端之间，以响应于压电元件的变形而变形。

公开(公告)号：KR100300965B1

公开(公告)日：2001-10-29

申请号：KR1019990020488

申请日：1999-06-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최재준 ,  강성규 ,  정희문 ,  이기방

IPC: G11B19/20

Abstract: 본발명은광 디스크드라이브의보조구동기(secondary actuator)로서사용되는정전기력(electrostatic force)을이용한미소거울구동기를기재한다. 본발명에따른정전기력을이용한광디스크드라이브의미소거울구동기는미소거울이중심축을기준으로임의의각도까지왕복회전하도록구동되고, 마이크로크기를갖는거울의구동변위가크거나거울의크기가마이크로사이즈에비해상당히커서구동변위가상대적으로증가되더라도, 두도체사이의간격과변위구간의크기에무관하게힘을발생하도록하며거울크기가커질수록힘이더 증가하게되도록, 광디스크드라이브의스윙암의끝단에크기, 무게, 단순성정도를고려하여정전기력을이용한미소거울을구동시키는구동기를거울과일체형으로제작함으로써, 크기와무게를줄일수있으며단순화를꾀 할수 있다.

公开(公告)号：KR1020010068998A

公开(公告)日：2001-07-23

申请号：KR1020000001192

申请日：2000-01-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정희문 ,  이석한

IPC: B41J2/045

Abstract: PURPOSE: An ink jet head using a stacked type piezoelectric actuator is provided to increase ink discharge force at a low voltage by mounting an actuator formed of stacked piezoelectric elements with a chamber in the piezoelectric elements for generating large deformation with respect to the small driving voltage and independently increasing displacement and pressure according to a size of the chamber and a thickness of the piezoelectric elements. CONSTITUTION: An ink jet head using a stacked type piezoelectric actuator includes a nozzle plate(11) formed with a nozzle, a manifold part having a restrictor plate(41) formed with one or a plurality of restrictors(40), a plurality of piezoelectric elements(22) stacked in multiple layers and provided between the nozzle plate and the manifold part, defining a chamber(20) inside for receiving ink, common electrodes and drive electrodes alternately interposed among the piezoelectric elements, and a medium(25) interposed either between the restrictor plate and an end of the piezoelectric elements adjacent to the restrictor plate, or between the nozzle plate and the other end of the piezoelectric elements adjacent to the nozzle plate to be deformed in response to the deformation of the piezoelectric elements.

Abstract translation: 目的：提供一种使用堆叠式压电致动器的喷墨头，以通过将具有腔室的堆叠压电元件形成的致动器安装在压电元件中以相对于小的驱动电压产生大的变形来提高低电压下的墨水排出力 并且根据室的尺寸和压电元件的厚度独立地增加位移和压力。 构成：使用堆叠型压电致动器的喷墨头包括形成有喷嘴的喷嘴板（11），具有形成有一个或多个限制器（40）的限制板（41）的歧管部件，多个压电 元件（22）堆叠成多层并且设置在喷嘴板和歧管部分之间，在内部限定一个腔室（20），用于接收墨水，公共电极和驱动电极，交替插入在压电元件之间;以及介质（25） 在节流板与邻近节流板的压电元件的端部之间，或在喷嘴板与邻近喷嘴板的压电元件的另一端之间，以响应于压电元件的变形而变形。

公开(公告)号：KR1020000075084A

公开(公告)日：2000-12-15

申请号：KR1019990019454

申请日：1999-05-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 최재준 ,  정희문 ,  이기방

IPC: G02B26/10

Abstract: PURPOSE: A micro mirror scanner and a production method thereof are provided to reduce a linear resistance by a driving coil and to drive at low current and large amplitude with a resonance. CONSTITUTION: A substrate(1000) is divided to central/peripheral/connecting areas. A groove(101) is formed in the central area. An electrode layer(100) and a first mask layer(1002) are formed in the substrate. A driving coil(600) is formed on an electrode inside the groove. After removing the first mask layer, two terminal areas and a second mask layer are formed. A terminal layer and a first wiring layer are formed by etching an uncovered part of the second mask layer. The second mask layer is removed and an insulating layer is formed. A mirror layer is formed in the central area. The central area is supported in the peripheral area with the connecting area by etching between the central area and the peripheral area.

Abstract translation: 目的：提供一种微型反射镜扫描器及其制造方法，以通过驱动线圈来减小线性电阻并且以低谐振的低电流和大幅度驱动。 构成：将基板（1000）分为中央/外围/连接区域。 在中央区域形成有凹槽（101）。 在基板上形成电极层（100）和第一掩模层（1002）。 驱动线圈（600）形成在槽内的电极上。 在去除第一掩模层之后，形成两个端子区域和第二掩模层。 通过蚀刻第二掩模层的未覆盖部分来形成端子层和第一布线层。 去除第二掩模层并形成绝缘层。 在中心区域形成镜层。 中央区域通过在中心区域和周边区域之间的蚀刻而被支撑在具有连接区域的外围区域中。