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公开(公告)号：KR100641286B1
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：KR1020050059974
申请日：2005-07-05
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B41J2/045
Abstract: A micro high precision ink jet print head and a method for manufacturing the same using a piezoelectric film type are provided to realize a head structure by using only two silicon substrates without using a sacrificial layer. In a micro high precision ink jet print head using a piezoelectric film type, a reservoir(23) storing ink and a pressure chamber in which a fluid introduced from the reservoir stays before discharge are penetratingly formed at one side and the other side of an upper substrate(200). A lower substrate(300) includes a fluid spraying part(60) composed of a fluid discharging port(61), a fluid spraying port(63), and a spraying diffuser(62), a fluid path(31) connected to the reservoir, and a path diffuser(33) having a cross section gradually increasing from the fluid path to the pressure chamber. And a piezoelectric actuator(50) provides exhausted pressure to the fluid of the pressure chamber.
Abstract translation: 提供了一种微型高精度喷墨打印头及其使用压电膜类型的制造方法，以通过仅使用两个硅衬底而不使用牺牲层来实现头结构。 在使用压电膜型的微型高精度喷墨打印头中，储存墨水的储存器（23）和从储存器引入的流体在排出之前停留的压力室穿透地形成在上部的一侧和另一侧 基板（200）。 下基板（300）包括由流体排出口（61），流体喷射口（63）和喷雾扩散器（62）组成的流体喷射部分（60），连接到该储液器 以及具有从流体路径向压力室逐渐增加的截面的路径扩散器（33）。 并且压电致动器（50）向压力室的流体提供排出的压力。
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公开(公告)号：KR100641042B1
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：KR1020050039410
申请日：2005-05-11
Applicant: 한국생산기술연구원 , 한국파워트레인 주식회사
Abstract: A ventilated clutch using magnetic fluid is provided to selectively transmit and interrupt power according to changes in viscosity of the fluid while achieving air-cooling effect by an air-cooling ventilated disc, and reduce environmental pollution by restraining use of auto gear oil. A ventilated clutch using magnetic fluid comprises a magnetic fluid chamber(10), a clutch housing, an electromagnetic coil(21), and air-cooing ventilation discs(3,4). The magnetic fluid chamber is charged with magnetic fluid(11) composed by mixing liquid carrier, super paramagnetic grain and surfactant. Viscosity of the charged magnetic fluid is changed, thereby transmitting and interrupting power input from an input shaft(5) with respect to an output shaft(21). The clutch housing is mounted with a moving flywheel(6) having the input shaft at one end. The electromagnetic coil is laid in outer circumference of the magnetic fluid chamber formed inside the clutch housing. A rotor(20) is hermetically built in the magnetic fluid chamber by brushes(13,14). The output shaft is supported by a bearing(15) and exposed through the side of the clutch housing. The air-cooling ventilating discs are mounted on both sides of the clutch housing.
Abstract translation: 提供一种使用磁性流体的通风式离合器，通过空冷通风盘实现空冷效果，并根据流体粘度的变化选择性地传递和中断电力，并通过限制使用汽车齿轮油来减少环境污染。 使用磁性流体的通风式离合器包括磁性流体室（10），离合器壳体，电磁线圈（21）和通风盘（3,4）。 磁流体室充有由混合液体载体，超顺磁性颗粒和表面活性剂组成的磁流体（11）。 带电磁流体的粘度发生变化，从而输入和中断从输入轴（5）相对于输出轴（21）输入的动力。 离合器壳体安装有一端具有输入轴的移动飞轮（6）。 电磁线圈被放置在离合器壳体内部形成的磁性流体室的外周中。 转子（20）通过刷子（13,14）密封地构建在磁性流体室中。 输出轴由轴承（15）支撑并通过离合器壳体的侧面暴露。 风冷通风盘安装在离合器壳体的两侧。
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公开(公告)号：KR1020050034304A
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：KR1020030070187
申请日：2003-10-09
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 나노 잉크젯 프린터헤드와 그 제조방법에 관한 것으로, 유체역학적 노즐효과(hydrodynamic focusing effect)를 이용하여 수 nm의 잉크젯을 구현하도록 한 것이다.
본 발명의 나노 잉크젯 프린터헤드는,
다수의 판을 적층하여 구성되는 잉크젯에 있어서, 상, 하부 전극 및 그 사이에 압전판이 삽입되어 가압부가 형성되고, 상기 상부전극의 상측에 보호층이 위치되고, 상기 하부전극의 하측에 탄성판이 배치되어 채널의 상측면을 형성하여 구성되는 위판과 상기 위판의 하측에 채널판이 배치되어 채널의 측면을 형성하고, 상기 채널판의 하측에 하부판이 배치되어 채널의 하측면을 형성하여 구성되는 아래판이 접합되어 채널이 내측에 형성되는 나노 잉크젯 프린터헤드가 구성되고, 상기 채널은 잉크 채널 및 하나 이상의 공기 채널로 구분되어 상기 위판을 관통하는 잉크 공급부 및 공기 공급부와 연결되고, 상기 잉크 채널 및 공기 채널이 한 지점으로 수렴되어 잉크 채널의 잉크와 공기 채널의 공기가 내측 및 외측에 위치한 잉크-공기유동을 생성하는 집� ��부와, 상기 집속부의 잉크-공기유동을 외부로 안내하는 잉크-공기 채널이 형성된다.
또한, 본 발명의 나노 잉크젯 프린터헤드 제조방법은,
Si판의 상측에 SiO
2 을 원하는 두께로 증착하는 증착단계와, 상기 증착된 SiO
2 층을 마스크와 자외선으로 원하는 선폭과 형상으로 노광하는 노광단계와, 상기 노광단계를 거친 후 습식 에칭으로 노광된 SiO
2 을 제거하여 원하는 형상의 잉크, 공기, 잉크-공기 채널을 형성시키는 채널형성단계를 포함하는 아래판 제조단계와; 상, 하부 전극 및 그 사이에 압전판이 삽입되어 가압부가 형성되는 단계와, 상기 상부전극의 상측에 보호층이 위치되고, 상기 하부전극의 하측에 탄성판이 위치되는 단계와, 상기 보호층에서 탄성판을 관통하는 잉크 및 공기 공급부를 가공하는 단계를 포함하는 위판 제조단계와; 상기 아래판과 위판을 접착제로 접합하는 단계를 포함하여 구성된다.-
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Patent Agency Ranking66.发明授权
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公开(公告)号：KR101838043B1
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：KR1020150149549
申请日：2015-10-27
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 본발명은, 기판; 상기기판의상면에일정이격거리를두고반복적으로형성된스트라이프형상의나노보조전극; 상기기판과상기나노보조전극을포함하는상면에형성된초박막금속전극; 상기초박막금속전극상면에형성된유기층; 및상기유기층의상면에형성되는음극층을포함하여구성되고,상기초박막금속전극은시드층과금속층을포함하는것을특징으로하는투명전자디바이스및 그제조방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明提供了一种半导体器件，包括：衬底; 条形的纳米辅助电极以预定的距离重复形成在衬底的上表面上; 形成在衬底的上表面和纳米辅助电极上的超薄金属电极; 形成在超薄金属电极的上表面上的有机层; 以及在有机层的上表面上形成的阴极层，以及制造该透明电子器件的方法，其中该超薄金属电极包括种子层和金属层。
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公开(公告)号：KR101801386B1
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：KR1020160061822
申请日：2016-05-20
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: C23C16/48 , C23C16/52 , C23C16/503 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/06 , H01L51/52
Abstract: 본발명의일실시예는레이저와기판의상대적인기울기의제어를위한각도조절이수행될수 있어, 레이저를기판의특정영역에조사하여특정형상의박막을형성할수 있는박막증착장치를제공한다. 본발명의실시예에따른레이저를구비한박막증착장치는증착챔버; 증착챔버와결합하고, 증착물질의가스를분배하는가스공급부; 증착챔버의하단부에설치되고, 증착의대상이되는기판이설치되는지지판; 및증착챔버의내부또는외부에설치되는레이저부;를포함한다.
Abstract translation: 本发明的一个实施例提供了一种薄膜沉积设备，其能够执行角度调整，用于控制激光器和基板的相对倾斜并通过将激光照射到基板的特定区域来形成特定形状的薄膜。 根据本发明实施例的具有激光器的薄膜沉积装置包括沉积室; 气体供应单元，其耦合到所述沉积室并分配所述沉积材料的气体; 支撑板，设置在沉积室的下端并设置有待沉积的衬底; 并且在沉积室内部或外部安装激光器部件。
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公开(公告)号：KR1020170116864A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：KR1020160045066
申请日：2016-04-12
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: H05K3/4664 , H05K1/097 , H05K3/0011 , H05K3/125 , H05K3/1283
Abstract: 본발명은잉크젯인쇄방식으로배선패턴과절연층을번갈아적층하여이루어진다층배선기판및 그제조방법에관한것으로, 기판과, 상기기판의일면상에은(Ag) 나노입자잉크로잉크젯인쇄방식에의해형성된제1 배선패턴과, 상기제1 배선패턴이외부로노출되지않게덮이도록상기기판의일면상에 SU-8 잉크로잉크젯인쇄방식에의해형성된절연층과, 상기절연층의외면상에은 나노입자잉크로잉크젯인쇄방식에의해형성된제2 배선패턴을포함하는다층배선기판및 그제조방법을개시한다.
Abstract translation: 本发明通过交替地层叠由一喷墨打印系统的布线图案和绝缘层由层布线基板和涉及制造方法，基板和在由所述一个侧eeun（Ag）的喷墨印刷方法，在衬底上的纳米颗粒油墨形成的方法 根据权利要求到第一布线图案和第一布线绝缘层图案通过一个喷墨印刷法形成为SU-8的油墨在衬底的表面上，以覆盖不暴露于外部，并且在绝缘层意外侧eeun纳米颗粒墨 公开了包括通过喷墨印刷方法形成的第二布线图案的多层布线板及其制造方法。
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