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公开(公告)号：FR2890439A1
公开(公告)日：2007-03-09
申请号：FR0509174
申请日：2005-09-08
Inventor： BAVOUX BERNARD , DANEL JEAN SEBASTIEN , ROBERT PHILIPPE , PAULY MAXIME
Abstract: Cette structure de capteur notamment pour un environnement sévère dans un véhicule automobile, est caractérisée en ce qu'elle comporte un corps de capteur (1) comportant à une extrémité, un élément (2) sensible à la grandeur à mesurer dans l'environnement sévère et à une autre extrémité, un circuit (3) de raccordement de celui-ci, placé hors de l'environnement sévère, séparés physiquement l'un de l'autre, raccordés par des moyens de transmissions d'informations radiofréquences et entre lesquels sont prévus des moyens (4) perméables aux informations, de protection du circuit de raccordement (3) à l'encontre de l'environnement.
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公开(公告)号：FR2864341B1
公开(公告)日：2006-03-24
申请号：FR0315031
申请日：2003-12-19
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
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公开(公告)号：FR2864340B1
公开(公告)日：2006-03-24
申请号：FR0315029
申请日：2003-12-19
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: The micro-component has a hermetic micro-cavity (6) delimited by a cover comprising two layers (4, 7). A third layer (9) is disposed between the layers (4, 7). An additional micro-cavity (11) communicating with an opening in the layer (7) is disposed between the layers (4, 7). An additional opening adjacent to the cavity (11) is formed in the layer (9), offcentered with respect to an opening (5) and delimited by the layer (7). An independent claim is also included for a process of fabricating a hermetic micro-cavity of a micro-component.
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公开(公告)号：FR2857153B1
公开(公告)日：2005-08-26
申请号：FR0350278
申请日：2003-07-01
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
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公开(公告)号：FR2864341A1
公开(公告)日：2005-06-24
申请号：FR0315031
申请日：2003-12-19
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: The micro-component has a hermetic micro-cavity (6) delimited by a cover (4) with an opening (5). A sealing layer (9) delimiting the micro-cavity is formed on the cover. A stopper (8) enclosing the opening and a part of the cover in the periphery of the opening is disposed on the sealing layer. The sealing layer is formed of a glass or polymeric material susceptible to deformation by fluctuation. An independent claim is also included for a process of fabricating a micro-cavity of a micro-component.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：FR2864340A1
公开(公告)日：2005-06-24
申请号：FR0315029
申请日：2003-12-19
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: The micro-component has a hermetic micro-cavity (6) delimited by a cover comprising two layers (4, 7). A third layer (9) is disposed between the layers (4, 7). An additional micro-cavity (11) communicating with an opening in the layer (7) is disposed between the layers (4, 7). An additional opening adjacent to the cavity (11) is formed in the layer (9), offcentered with respect to an opening (5) and delimited by the layer (7). An independent claim is also included for a process of fabricating a hermetic micro-cavity of a micro-component.
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公开(公告)号：FR2857153A1
公开(公告)日：2005-01-07
申请号：FR0350278
申请日：2003-07-01
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
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公开(公告)号：FR2831705A1
公开(公告)日：2003-05-02
申请号：FR0113796
申请日：2001-10-25
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: The invention concerns a variable capacitance MEMS-based micro-capacitor comprising: at least a fixed electrode (3) arranged on one side of a substrate (1), bending means relative to the substrate surface and comprising at least a mobile electrode (5) located opposite the fixed electrode (3), a solid dielectric material layer interposed between the fixed electrode and the mobile electrode, means (5, 6, 7) for applying a bending force to the bending means to move the mobile electrode (5) relative to the fixed electrode (3) to obtain between said electrodes a variable capacitance based on the applied bending force, said bending means being designed to enclose the dielectric material layer between the mobile electrode and the fixed electrode so as to obtain a variable enclosed dielectric material layer.
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公开(公告)号：FR3105415B1
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：FR1915477
申请日：2019-12-23
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： POLIZZI JEAN-PHILIPPE , ROBERT PHILIPPE , LOI SARA , PAGANI ALBERTO
IPC: G01L9/00
Abstract: Capteur autonome à membrane L’invention concerne un capteur autonome à membrane déformable comprenant un boitier (10) en deux parties (11, 12) assemblées entre elles et configurées pour former une cavité (100) étanche, un détecteur (20) configuré pour détecter une déformation de la membrane (13, 13a, 13b) déformable, un système de communication (21) sans fil configuré pour communiquer une donnée de déformation de la membrane (13, 13a, 13b) en dehors du boitier (10), et un système d’alimentation électrique (22) configuré pour alimenter le détecteur (20) et/ou le système de communication (21), le capteur étant caractérisé en ce que l’une au moins parmi les première et deuxième parties (11, 12) comprend une première zone (z1) présentant une épaisseur e1 et une deuxième zone (z2) présentant une épaisseur e2 telle que e2
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公开(公告)号：FR3104861A1
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：FR1914510
申请日：2019-12-16
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： SANSA PERNA MARC , ROBERT PHILIPPE
IPC: H03H9/02
Abstract: Dispositif d’horloge La présente description concerne un dispositif (902) générateur de signaux d’horloge comportant : un élément résonnant micro-électromécanique (504) ; et au moins un élément de transduction nano-électromécanique (512). Figure pour l'abrégé : Fig. 9
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