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公开(公告)号：KR101761980B1
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：KR1020140070041
申请日：2014-06-10
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01J1/04
Abstract: 본발명의실시예는회절이미지기반의광검사시스템에관한것이다. 본실시예에따른광검사시스템은, 샘플설치기의광검사샘플에광을조사하는광 공급기, 광검사샘플의회절이미지를감지하는이미지감지기, 광검사샘플의검사이미지를회절이미지로부터획득하는이미지처리기를포함할수 있다. 여기서, 광공급기또는샘플설치기중 적어도하나는광검사샘플의검사이미지를고해상도로획득할수 있도록광의조사각도를변경시키는구조로형성될수 있다.
Abstract translation: 本发明的实施例涉及基于衍射图像的光检测系统。 本实施例系统的光学检查，用于获得所述光供给，光学检查样本的图像传感器，用于从所述衍射图像中的样本安装检测照射光的衍射图像到光学测试样品的光学测试样品的扫描图像的图像处理器 在可以包含。 这里，光源和样品安装器中的至少一个可以以改变光的照射角度的结构形成，从而以高分辨率获得光检查样品的检查图像。
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公开(公告)号：KR1020070014024A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：KR1020060068421
申请日：2006-07-21
Applicant: 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/26 , H01J2237/0805 , H01J2237/31749
Abstract: An emitter for an ion source and a method for manufacturing the same are provided to achieve an ideal temperature distribution of the emitter, thereby minimizing vaporization of a source material from a storage part. An emitter for a liquid metal ion source includes a wire(110) having a substantially curved portion(115) and a wire surface(120). At least a portion of the wire surface is tapered at the curved portion to form an emitter tip. The tapered portion of the wire surface is an outer surface of the wire. The tapered portion forms a cone when viewed along an optical axis of the emitter. A diameter of the wire in the tapered portion is smaller than that of the wire outside the tapered portion. Microchannels are provided on the wire surface in a portion of the tapered portion.
Abstract translation: 提供了用于离子源的发射器及其制造方法，以实现发射器的理想温度分布，从而最小化来自存储部件的源材料的蒸发。 用于液体金属离子源的发射器包括具有基本弯曲部分（115）和线表面（120）的线（110）。 线表面的至少一部分在弯曲部分处成锥形以形成发射极尖端。 线表面的锥形部分是导线的外表面。 当沿着发射器的光轴观察时，锥形部分形成锥体。 锥形部分中的线的直径小于锥形部分外侧的线的直径。 微通道设置在锥形部分的一部分的线表面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160003347A
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：KR1020140070041
申请日：2014-06-10
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01J1/04
Abstract: 본발명의실시예는회절이미지기반의광검사시스템에관한것이다. 본실시예에따른광검사시스템은, 샘플설치기의광검사샘플에광을조사하는광 공급기, 광검사샘플의회절이미지를감지하는이미지감지기, 광검사샘플의검사이미지를회절이미지로부터획득하는이미지처리기를포함할수 있다. 여기서, 광공급기또는샘플설치기중 적어도하나는광검사샘플의검사이미지를고해상도로획득할수 있도록광의조사각도를변경시키는구조로형성될수 있다.
Abstract translation: 本发明的实施例涉及一种基于衍射图像的光学检测装置。 根据本发明的光学检查装置可以包括向样品安装者的光检查样品照射光的光供应器，检测光检查样品的衍射图像的图像检测器，获得检查图像的检查图像的图像处理器 来自衍射图像的光检测样品。 这里，光供给器和样品安装器中的至少一个可以具有用于改变光的照射角度的结构，以获得具有高分辨率的光检查样品的检查图像。
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公开(公告)号：KR100829652B1
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：KR1020060068421
申请日：2006-07-21
Applicant: 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/26 , H01J2237/0805 , H01J2237/31749
Abstract: 액체 금속 이온 소스를 위한 이미터(100)가 제공되며, 상기 이미터는 실질적으로 만곡된 부분(115) 및 표면(120)을 포함하는 와이어(110)를 포함하고, 상기 와이어 표면(120)의 적어도 일부분(125)은 이미터 팁을 형성하도록 상기 실질적으로 만곡된 부분(115)에서 테이퍼링된다. 또한, 이러한 이미터를 위한 제조 방법이 제공된다.
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公开(公告)号：KR100366073B1
公开(公告)日：2003-03-06
申请号：KR1019950038226
申请日：1995-10-30
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사
IPC: H01J1/04
Abstract: PURPOSE: A cathode for an electron tube is provided to lengthen a lifetime of the cathode by adding La oxide, Mg oxide, and Mn oxide to an electron emission material layer. CONSTITUTION: A cathode is formed with a metallic base material(2), a sleeve(3), and an electron emission material layer(1). The metallic base material(2) is formed by using Ni as the principal element. The sleeve(3) is located at a lower portion of the metallic base material(2) in order to fix and support the metallic base material(2). A heater(4) is installed in the inside of the sleeve(3). The electron emission material layer(1) is formed on an upper portion of the metallic base material(2). The electron emission material layer(1) is formed by using Ba as the principal element. The electron emission material layer(1) further comprises La, Mg, and Mn oxide.
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公开(公告)号：KR1019970023526A
公开(公告)日：1997-05-30
申请号：KR1019950038226
申请日：1995-10-30
Applicant: 삼성에스디아이 주식회사
IPC: H01J1/04
Abstract: 본 발명은 전자관용 음극에 관한 것으로서, 니켈은 주성분으로 하는 금속 기재상에 바륨을 주성분으로 하는 알칼리토류 금속 산화물을 함유하는 전자방출물질층이 형성되어 있는 전자관용 음극에 있어서, 상기 전자방출물질층이 La, Mg 및 Mn 산화물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자관용 음극이 개시되어 있다. 본 발명에 의하면, 수명 특성과 컷오프 드리프트 특성이 개선됨은 물론, 기존 음극이 제조공정과 100% 호환성이 있는 전자관용 음극을 제조할 수 있다.
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