晶舟及晶舟用板件
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116670810A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202280008356.2

    申请日:2022-01-05

    Inventor: 申暻燮

    Abstract: 根据本公开的技术思想的一方面,公开了一种晶舟,包括:至少一个板件,装载多个晶圆;及多个销对,在至少一个板件沿着第一方向排列,并且分别支撑多个晶圆中的相对应的晶圆。

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