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公开(公告)号:CN101670942A
公开(公告)日:2010-03-17
申请号:CN200910192036.3
申请日:2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B65G49/00 , B65G49/06 , B65G35/06 , H01L21/677 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种基片运载装置,适用于安装在真空腔体内对基片进行传送,所述基片运载装置包括底座、传动组件、驱动电机及基片座,所述基片座上开设有承载基片的凹槽,所述底座的两侧平行地设有轨道,所述基片座枢接有第一滚轮,所述第一滚轮与所述轨道接触,所述传动组件包括齿条及若干齿轮,所述齿轮的中心处向外延伸出齿轮传动轴,所述齿轮传动轴枢接地穿过所述底座,且至少一个所述齿轮的齿轮传动轴连接有所述驱动电机,所述齿条与所述基片座固定连接且与所述齿轮啮合,所述驱动电机驱动所述齿轮,所述齿轮带动所述基片座沿所述轨道滑动。本发明基片运载装置尤其适用于真空环境的基片传送,传送过程安全、定位精确。
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公开(公告)号:CN101656223A
公开(公告)日:2010-02-24
申请号:CN200910041510.2
申请日:2009-07-29
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , G05B19/04
CPC classification number: B25J9/1612 , H01L21/68721 , H01L21/68728
Abstract: 本发明公开了一种多抓手重复智能抓取释放装置,适用于抓取、释放板状物体,包括多个抓手、抓手驱动机构、托板、托板驱动机构、托板传感器及控制系统;所述抓手包括抓持部、抓手固定座、扭转弹簧,抓持部与抓手固定座枢接,扭转弹簧的上支撑点与抓持部抵触,下支撑点与抓手固定座抵触;抓手驱动机构与抓持部连接并驱动抓手打开或关闭;托板承载板状物体;托板驱动机构与托板连接并驱动所述托板移动;托板传感器检测托板的承载信息;控制系统分别与抓手驱动机构、托板驱动机构及托板传感器电连接,处理托板传感器检测的托板的承载信息并控制抓手驱动机构和托板驱动机构的动作。托板传感器与扭转弹簧使本发明及时、智能、重复的抓取释放板状物体。
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公开(公告)号:CN101651114A
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200910042110.3
申请日:2009-08-25
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种精确位置调节装置,包括安装座、工作台、传动机构及驱动机构,所述传动机构包括传动轴、传动带、驱动轮及固定有多个传动轮的安装板,所述传动轴一端与工作台固定连接,另一端固定地穿过安装板并与安装座枢接,多个所述传动轮以传动轴为中心对称分布,所述驱动轮与传动轮位于同一平面上,所述工作台的旋转半径大于驱动轮的旋转半径。所述精确位置调节装置装配简单,维修更换方便,利用驱动轮带动边角固定有传动轮的安装板转动,从而带动工作台转动,实现在驱动轮与工作台具有相同线速度的同时使工作台具有相对驱动轮很小的角速度,使工作台能够平稳、精确、小角度的运转。本发明也公开了一种具有该装置的半导体在线检测系统。
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公开(公告)号:CN101648494A
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200910192014.7
申请日:2009-09-03
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B60B33/00
Abstract: 本发明公开了一种滚轮机构,所述滚轮机构包括安装板、固定轴、滚轮、滚动轴承、轴承衬套以及轴用弹性挡圈,所述固定轴的一端与所述安装板固定连接,所述固定轴的另一端与所述轴用弹性挡圈固定连接,所述轴承衬套套于所述固定轴上且一端与所述安装板抵触,所述滚动轴承具有相互转动的内圈和外圈,所述滚动轴承的内圈套于所述固定轴上并抵触于所述轴承衬套的另一端与所述轴用弹性挡圈之间,所述滚轮固定的套于所述滚动轴承的外圈上。该滚轮可绕该轴自由滚动,既可实现对产品的限位,又可使与之接触的东西随之相对滑动,起到导向或者传送作用,还可以作用车轮使用,结构简单且稳定,使用灵活,使用范围广。
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公开(公告)号:CN101648382A
公开(公告)日:2010-02-17
申请号:CN200910040593.3
申请日:2009-06-26
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B25J19/00
CPC classification number: H01L21/67196 , H01L21/67742
Abstract: 本发明提供了一种集束传输设备,包括底座、腔体、机械手、机械手驱动机构、控制系统、驱动轴、多个侧面法兰及与侧面法兰相互对应的传感器、闸门及闸门驱动机构,腔体呈中空结构,中空结构形成机械手活动腔,驱动轴的一端密封穿过腔体的底部且延伸入机械手活动腔内并与机械手连接,驱动轴另一端与机械手驱动机构连接,机械手驱动机构与控制系统电连接,侧面法兰具有传输通道,侧面法兰设置于腔体的侧壁上且传输通道与机械手活动腔连通,闸门安装于侧面法兰的传输通道内并与闸门驱动机构连接,闸门驱动机构安装于腔体上且与传感器电连接,传感器与控制系统电连接。本发明能充分利用腔体内部空间且其结构紧凑、兼容性高并便于腔体内产品传输。
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公开(公告)号:CN101630893A
公开(公告)日:2010-01-20
申请号:CN200910041642.5
申请日:2009-08-04
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H02K49/10
Abstract: 本发明公开了一种真空磁性传动机构,适用于带动真空室内的机械机构旋转,包括驱动装置、主动轴、从动轴、磁流体传动装置、齿轮传动装置及磁力传动装置,磁流体传动装置位于真空室外,主动轴穿过磁流体传动装置并延伸入真空室内且与齿轮传动装置连接,齿轮传动转动装置与磁力传动装置连接,磁力传动装置与从动轴固定连接,从动轴与真空室内的机械机构连接,齿轮传动装置为相邻相互啮合的多个齿轮组成,磁力传动装置为相邻相互磁场作用的多个磁力传动轮组成,驱动装置驱动齿轮传动装置的齿轮旋转,齿轮的旋转带动磁力传动轮旋转,磁力传动轮带动机械机构旋转。本发明传动能耗少、高清洁度、超静音、安装方便、结构简单紧凑。
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公开(公告)号:CN100576326C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200510099464.3
申请日:2005-09-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 一种BD蓝光光盘,其包括:基板,该基板的一个表面用作承载信息的信息面,该信息面上溅镀有反射层;以及保护层,其设置在所述反射层上,用于保护信息面,其中,该BD蓝光光盘还包括另一保护层,该另一保护层设置在所述基板的另一个相对表面上,从而所述基板位于所述两个保护层之间。该BD蓝光光盘的结构能够减小盘片的平直度变化和内部应力的不均匀性。本发明还公开了制造上述BD蓝光光盘的系统以及制造上述BD蓝光光盘的方法。
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公开(公告)号:CN101464210A
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200810220578.2
申请日:2008-12-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司 , 清华大学深圳研究生院
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光栅检测仪,安装于光谱仪发出的准直单色出射光束后,所述光栅检测仪包括光栅、光栅旋转台及光能探测器,光栅可旋转地安装于光栅旋转台上,光栅旋转台位于所述光谱仪与光能探测器之间,其中,在光能探测器与光栅之间还设有透镜,所述透镜满足下述公式:γ≥d×d1/λ×t,γ为透镜的角放大率,d为光栅的光栅常数,λ为光谱仪发出的准直单色出射光束的波长,t为透镜到光能探测器入口的距离,d1为光能探测器入口的直径。具备本发明上述透镜的光栅检测仪一方面能使衍射光束之间不存在互相重叠;另一方面,光能探测器入口只能让一束衍射光束通过,另本比较适合配合通用光谱仪使用,具有普遍的适用性,且具有较高的检测精度。
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公开(公告)号:CN101336018A
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200710076145.X
申请日:2007-06-27
Applicant: 东莞彩显有机发光科技有限公司 , 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种有机电致发光器件的封装压合方法及封装压合设备。本发明的封装压合方法是采用压力均匀的层流气体,作用在构成有机发光器件的两块基板之其中一块基板的一个表面上,使该块基板之另一面与另一块基板紧密压合,固化两基板之间的粘接胶水,使之构成一完整有机发光器件。本发明所提供的设备正是基于上述方法的原理所设计:首先,一块基板被吸附在该设备的上盖板上,让两块基板迭合在一起。然后,向上盖板通入高压气体,由吸附平面的孔洞向原来贴附在该平面上的基板产生均匀的高压层流气流,将基片紧紧的压合在另一基板上。最后,固化两基板间的胶水以实现密封。通过本发明可解决胶线宽度均匀性较差的问题,并且消除了夹具表面平整度对封装良率的影响。
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公开(公告)号:CN101260510A
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200810097817.X
申请日:2008-05-15
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提出一种溅镀方法及溅镀设备。包括:取来待溅镀的盘片并将其抽真空至预真空后,将所述盘片旋转传输到第一溅镀腔。通过第一溅镀腔在磁场的作用下进行溅镀,在达到预定设置的膜厚A时停止溅镀,并将已溅镀的盘片旋转传输到第二溅镀腔,在所述第一溅镀腔和第二溅镀腔内盘片被抽真空至高真空。由所述第二溅镀腔在磁场的作用下将所述已溅镀的膜厚继续溅镀到膜厚B,所述膜厚B为预定设置的要溅镀的总膜厚,膜厚B≥膜厚A,且均为常数。本发明可以使溅镀后的光盘膜层厚度均匀,同时可以在较低功率、较短时间下溅镀薄膜,避免了盘片升温而变形,也降低了光盘生产周期。
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