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公开(公告)号：CN109450402B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN201811326603.5
申请日：2018-11-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03H11/12
Abstract: 本发明公开了一种十四阶开关电容带通滤波器，所述滤波器包括八阶切比雪夫高通开关电容滤波器、六阶椭圆低通开关电容滤波器、开关电容采样保持电路，所述八阶切比雪夫高通开关电容滤波器的输入端连接差分输入信号Vin+、Vin‑，八阶切比雪夫高通开关电容滤波器的输出端连接第一开关电容采样保持电路的输入端，第一开关电容采样保持电路的输出端连接六阶椭圆低通开关电容滤波器的输入端，六阶椭圆低通开关电容滤波器的输出端连接第二开关电容采样保持电路的输入端，第二开关电容采样保持电路的输出端作为最终输出，实现带通滤波器功能。本发明实现了可调谐、低通带纹波、高过渡带衰减的高精度带通滤波器。
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公开(公告)号：CN109633207B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201811557462.8
申请日：2018-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明公开了一种数字闭环加速度计片上在线自检测系统及方法，所述在线自检测系统包括MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器、数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块，其中：所述MEMS敏感结构由上电极、中间质量块、下电极构成；所述MEMS敏感结构、电荷放大器、环路补偿器、Sigma‑Delta调制器构成闭环负反馈伺服系统；所述闭环负反馈伺服系统与数字自检测激励源、数字运算单元、数字信号处理模块构成数字闭环自检测电路。本发明采用电学静电力激励MEMS敏感结构，可以实现加速度计谐波失真的自检测，避免了传统检测方式中对复杂仪器设备的依赖并能实现在线测量。
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公开(公告)号：CN109738670A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811567085.6
申请日：2018-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125 , G01P21/00 , G01R27/26
Abstract: 本发明公开了一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法，所述测量系统包括平衡式电容电桥与检测接口电路两部分，平衡式电容电桥由第一匹配电容Cref1、第二匹配电容Cref2和MEMS电容式加速度计构成；检测接口电路由第一电荷放大器、第二电荷放大器、仪表放大器、频谱分析仪、第一反馈电容Cf1、第二反馈电容Cf2构成。本发明的测量系统可以实现对MEMS电容式加速度计中敏感电容的驱动和检测以及对不同特征参数的分离提取。本发明的电学测量方法以电学测量系统为基础，配合精确的传感器姿态控制，可以准确的实现MEMS电容式加速度计的特征参数的测量，进而为后续接口电路的设计工作提供参考和指导。
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公开(公告)号：CN103248327B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310203247.9
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03F1/32
Abstract: Σ-Δ闭环加速度计接口电路中的低噪声前置补偿电路，它涉及一种Σ-Δ闭环加速度计接口电路，它解决了目前高阶系统设计导致的稳定性差，后级按比例放大部分的运算放大器低频工作时较高的闪烁噪声与电压失调的问题。输入信号Xinp通过开关S11n、电容C1n、开关S22n、开关S1n、运算放大器OP反向输入端、运算放大器OP的正向输出端、开关S1nd输出信号Youtp，输入信号Xinn通过开关S11p、电容C1p、开关S22p、开关S1p、运算放大器OP正向输入端、运算放大器OP的反向输出端、开关S1pd输出信号Youtn。本发明可保证高阶系统稳定性，降低放大器工作闪烁噪声和失调电压，提高系统信噪比及系统性能。
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公开(公告)号：CN103983910A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410244665.7
申请日：2014-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 高频CV特性测试仪，属于半导体器件特性测量领域，本发明为解决目前市面上C-V特性测试仪低分辨率、低线性度的问题。本发明包括电源模块、人机交互模块、USB通讯模块、单片机控制模块、高频信号产生模块、平方率检波模块和电容检测放大模块；待测电容Cx两端信号被电容检测放大模块放大处理后，输出含有正弦波的信号，待测电容Cx的电容值的大小耦合到信号的幅值之中，正弦波的幅值代表了待测电容Cx的电容值的大小，电容检测放大模块输出的信号送至平方率检波模块中，平方率检波模块留下直流分量，并转换为数字信号作为待测电容Cx的电容值的取值结果送到单片机控制模块中，该值可在人机交互模块上显示，也可以通过USB通讯模块上传至电脑中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103969263A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410244645.X
申请日：2014-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于高频光电导衰减法的少子寿命测试仪，适用于高校等科研单位和相关中小型公司测试硅片少子寿命的仪器，本发明为解决国外少子寿命测试仪对于国内的小型实验室和半导体厂商而言，过于昂贵的问题。本发明包括高频信号发生电路、样品台、光源同步控制电路、峰值检波电路、仪表放大电路、高速ADC采集模块和PC机；样品台上放置待测硅片，光源同步控制电路输出的光束照射在待测硅片上，样品台的一个极板连接高频信号发生电路的高频信号输出端，样品台的另一个极板连接峰值检波电路的输入端，峰值检波电路的输出端连接仪表放大电路的输入端，仪表放大电路的输出端与高速ADC采集模块的输入端，高速ADC采集模块的输出端连接PC机的输入端。
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公开(公告)号：CN103018485B
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201210511274.8
申请日：2012-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/08
Abstract: Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。
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公开(公告)号：CN103178828A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310083673.3
申请日：2013-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0175 , G01P15/00
Abstract: 带谐波失真自检功能的高阶Σ-Δ闭环加速度计接口电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决目前的加速度计接口电路自检功能主要实现模拟输出的加速度计接口电路的自检测，而无法实现直接数字输出的闭环高阶Σ-Δ加速度计接口电路谐波失真自检测的问题。本发明包括加速度计敏感结构、电荷电压转换器、前级放大器、相关双采样与采样保持单元、相位补偿器、自检测单元、第一级积分器、第二级积分器、求和单元、第三级积分器和比较器，通过自检测单元的开关选择工作状态。当处于自检测状态时，自检测单元输出等效的加速度信号，实现自检测功能。当处于检测外界加速度信号的工作状态时，质量块偏离平衡位置，输出电荷信号，实现检测外界加速度信号功能。
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公开(公告)号：CN102904590A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210375535.8
申请日：2012-10-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 中频双路径前馈型带通调制器，属于中频数字通信领域，本发明为解决现有中频前馈型sigma-delta带通调制器时钟频率高、功耗大,难以满足系统低功耗要求的问题。本发明调制器由两级双路径谐振器单元、求和电路单元、比较器单元、选择器单元、正、反一位DAC反馈单元组成，系统输入信号和反馈信号的差值经过两级谐振器滤波，与系统输入信号、第一级双路径谐振器单元输出信号求和，求和电路输出经过比较器进行量化，量化的结果反馈到正、反一位DAC反馈单元，由正、反一位DAC反馈单元和时钟信号决定反馈给第一级双路径谐振器单元的反馈电压，实现输出信号位流跟踪系统输入信号变化。适合于中频数字接收机中的高性能带通调制器电路。
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公开(公告)号：CN101692095A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910072974.X
申请日：2009-09-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P1/00 , G01P15/125
Abstract: 本发明涉及一种带有自检测功能的电容式闭环加速度计接口电路。该电容式微加速度计采用敏感结构和接口电路两片式混合封装。整体电路由数字部分和模拟部分组成，该电路能够实现加速度计的自检测功能。数字部分用于产生模拟电路中开关的控制时序，由振荡器、分频器和组合逻辑组成；模拟部分包括低噪声放大器前端，同向放大器，采样保持部分和PID控制电路。由时序电路产生相应的控制信号完成电路中所有开关的控制。本发明具有电路结构简单，噪声较低，线性度好，抗冲击性和环境适应性强的性能。
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