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公开(公告)号:CN1295028C
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN03155153.X
申请日:2003-08-22
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 一种液晶显示器的制造方法,该方法通过加工条件的配合来提高光阻材料的利用率,同时加快生产速度、降低制造成本,并具有较佳涂布均匀性。本发明的制造方法首先以一流延涂布机将动态表面张力介于25~35dyne/cm之间的感旋光性树脂组成物经由狭长模头涂布在至少一边的边长大于800mm的基板上,以形成一膜厚L1的湿涂膜,然后对湿涂膜进行预烤以蒸发溶媒,并形成一膜厚L2的预烤涂膜。其中膜厚L1大于8μm,但小于25μm,且膜厚L1/膜厚L2=3.2~15,该基板及狭长模头并以50~120mm/sec的相对速度移动,且上述感旋光性树脂组成物与基板的接触角介于8~25度之间。
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公开(公告)号:CN1584742A
公开(公告)日:2005-02-23
申请号:CN03155152.1
申请日:2003-08-22
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039 , G02F1/1345 , H01L29/786
Abstract: 本发明提供了一种适用以流延涂布方式涂布在液晶显示器的大型基板上的正型感光性树脂组成物,涂布后无线形残痕(包括水平线形残痕及垂直线形残痕)、无云状残痕、面内涂布均匀性佳及边缘膜厚偏差值低,包含:(1)碱可溶性树脂(A)、(2)邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、及(3)溶剂(C)。其中,该感光性树脂组成物于25℃所测得的粘度介于2.0~5.0cps,固形分含量介于6~16重量%,且该感光性树脂组成物与大型基板的接触角在25度以下。
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公开(公告)号:CN1412243A
公开(公告)日:2003-04-23
申请号:CN01136524.2
申请日:2001-10-15
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 本发明是在提供一种适合应用在液晶显示器的制造上的正型感光性树脂组成物,其包含:(1)酚醛清漆树脂A,其是由5~40重量%的邻-甲酚、20~80重量%的间-甲酚,以及10~60重量%的对-甲酚混合制得;及(2)邻萘醌二叠氮磺酸类酯化物感光剂B,该感光剂B包含平均酯化度80%以上的2,3,4-三羟基二苯甲酮与1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯化物B-1,以及平均酯化度80%以上的2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮与1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯化物B-2混合而成。该树脂组成物具有较高的经时稳定性,同时感度、耐热性及减少残渣等特性皆优于习知者。
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公开(公告)号:CN111381438B
公开(公告)日:2023-06-20
申请号:CN201911268402.9
申请日:2019-12-11
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物,其包括树脂(A)、光酸产生剂(B)及溶剂(C)。本发明更包括应用此化学增幅型正型感光性树脂组成物所制得的保护膜,及包括此保护膜的组件。此保护膜具有良好的感度及耐化性,且可应用于薄膜晶体管基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材。
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公开(公告)号:CN109799680B
公开(公告)日:2023-03-10
申请号:CN201811343915.7
申请日:2018-11-05
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法。化学增幅型正型感光性树脂组成物包括树脂(A)、酚醛清漆树脂(B)、光酸产生剂(C)和溶剂(D),其中树脂(A)包含树脂(A‑1)和树脂(A‑2),树脂(A‑1)是由第一混合物反应而得,第一混合物包括单体(a‑1‑1)及单体(a‑1‑2),单体(a‑1‑1)含有如式(a‑1‑1a)的结构:单体(a‑1‑2)含有环状醚基。树脂(A‑2)是由第二混合物反应而得,第二混合物包括单体(a‑2‑1),单体(a‑2‑1)含有聚氧伸烷基链。化学增幅型正型感光性树脂组成物具有良好的感度,且其所形成的光阻图案具有良好的矩形性。
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公开(公告)号:CN109062007B
公开(公告)日:2023-03-10
申请号:CN201810576157.7
申请日:2018-06-06
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种正型感光性聚硅氧烷组成物及其应用。正型感光性聚硅氧烷组成物包含聚硅氧烷(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、溶剂(C)以及含受阻胺基的硅化合物(D)。使用正型感光性聚硅氧烷组成物所制得的薄膜可具有良好的耐热性和密着性。
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公开(公告)号:CN108241257B
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN201711391383.X
申请日:2017-12-21
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种感度及矩形性优异的化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法。化学增幅型正型感光性树脂组成物包含,由单体混合物共聚合而得且含有酸解离性保护基的树脂、酚醛清漆树脂、光酸产生剂以及溶剂。其中,酚醛清漆树脂是由甲酚类芳香族羟基化合物与醛类化合物聚缩合而得,且基于凝胶渗透色层分析法所测得的酚醛清漆树脂分子量的积分面积100%,酚醛清漆树脂中的甲酚二核体面积介于0.5%至6%。
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公开(公告)号:CN107561863B
公开(公告)日:2022-09-16
申请号:CN201710480604.4
申请日:2017-06-22
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/075
Abstract: 本发明是有关一种正型感光性树脂组成物及由该正型感光性树脂组成物所形成的保护膜,其用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材,所述保护膜具有绝缘性佳的特性。所述正型感光性树脂组成物包含碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、选自由热酸发生剂及热碱发生剂所组成的群组的至少一种的化合物(C)、环状硅氧烷化合物(D)以及溶剂(E)。
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公开(公告)号:CN107870516B
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN201710685789.2
申请日:2017-08-11
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039 , G03F7/008 , G03F7/004 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组成物、图案化膜及凸块的制造方法。一种正型感光性树脂组成物,包含酚醛系树脂组分(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯系化合物(B)、甘油酯系组分(C)及溶剂(D)。该甘油酯系组分(C)包括结构式(1)所示的甘油酯系化合物(C‑1),结构式(1)R1、R2及R3如说明书与权利要求书中所定义。
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