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公开(公告)号：CN118339767A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202280075834.1
申请日：2022-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件，包括支承基板；压电层(14)，设置在支承构件上，包含铌酸锂或钽酸锂，且具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面；以及IDT电极(11)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)。在沿着支承构件及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。IDT电极(11)具有彼此相互对置的第1汇流条(26)和第2汇流条、一端分别与第1汇流条(26)连接的多个第1电极指、以及一端分别与第2汇流条连接且与多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指(29)。在将压电层(14)的厚度设为d且将相邻的第1电极指和第2电极指(29)的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在压电层(14)设置有至少1个贯通孔(17)。贯通孔(17)中的1个设置于压电层(14)中的第1汇流条(26)与多个第2电极指(29)中的任1根之间的部分。压电层(14)具有缺口侧面(14c)，缺口侧面(14c)与第1主面(14a)及第2主面连接且面向贯通孔(17)，在将缺口侧面(14c)相对于第1主面(14a)及第2主面的法线倾斜的角度设为缺口侧面(14c)的倾斜角度θp时，倾斜角度θp为0°以外。
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公开(公告)号：CN112534718B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201980050917.3
申请日：2019-08-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种相对带宽宽且抑制IDT电极的浪涌击穿的弹性波装置。弹性波装置(1)，在压电体(2)上设置有IDT电极(3)，IDT电极(3)具有第1汇流条(4a)、第2汇流条(5a)、和多根第1电极指(4b)以及第2电极指(5b)，设置有第1电介质膜(2)之间经过第1缝隙(9a)到达第2汇流条(5a)与压电体(2)之间，第2电极指(5b)在交叉宽度的中央与压电体(2)直接接触，第1电介质膜(6)的介电常数比压电体(2)的介电常数低。(6)，使得从第1电极指(4b)的前端部与压电体
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公开(公告)号：CN111726102B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202010205181.7
申请日：2020-03-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够减小杂散的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，其中，层叠有高声速构件(2)、由钽酸锂构成的压电层(3)、IDT电极(4)，在高声速构件(2)传播的体波的声速比在压电层播的快横波体波声速Vsub相对于根据下述的式(1)求出的SH0模式的声速Vsh0和具有SH0模式以上的声速的成为杂散的模式的声速Vsp为Vsh0≤Vsub≤Vsp。(3)传播的弹性波的声速高，在高声速构件(2)传
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公开(公告)号：CN111656685B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201980007835.0
申请日：2019-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备反向速度面为凸的压电性基板(2)、设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)、以及层叠于IDT电极(7)的质量附加膜(8)。IDT电极(7)具有中央区域(B)、第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)、位于这两个边缘区域的外侧的第一间隙区域(Da)、第二间隙区域(Db)、第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)、第一外侧汇流条区域(Ha)、第二外侧汇流条区域(Hb)。质量附加膜(8)至少层叠在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)及第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110800212B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201880042794.4
申请日：2018-06-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 本发明提供一种能够抑制反射器中的阻带响应的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)；IDT电极(6)，设置在压电性基板(2)上；和一对反射器(13、16)，在将弹性波传播方向设为第1方向(x)时，在压电性基板(2)上，该一对反射器设置在IDT电极(6)的第1方向(x)的两侧。在将与第1方向(x)正交的方向设为第2方向(y)时，一对反射器(13、16)分别具有在第2方向(y)上延伸的多个电极指(15、18)。电极指(15、18)具有第2方向上的第1端部(15c、18c)以及第2端部(15d、18d)。第2端部(15d、18d)的电极指宽度比第1端部(15c、18c)的电极指宽度宽。在电极指(15)中，某个任意位置处的电极指宽度为比该任意位置更靠近第1端部(15c、18c)的位置处的电极指宽度以上。
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公开(公告)号：CN116601871A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180066035.3
申请日：2021-09-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/25
Abstract: 能够提供一种弹性波装置，能够在宽频带内抑制高次模式。本发明的弹性波装置(1)具备：硅基板(2)；设置在硅基板(2)上的多晶硅层(3)；直接或间接地设置在多晶硅层(3)上的氧化硅层(5)；直接或间接地设置在氧化硅层(5)上的压电体层(7)；以及设置在压电体层(7)上的IDT电极(8)。硅基板(2)的面方位为(100)、(110)以及(111)中的任一个，在将由IDT电极(8)的电极指间距所规定的波长设为λ时，压电体层(7)的厚度为1λ以下。
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公开(公告)号：CN116097563A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180056362.0
申请日：2021-08-19
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，难以产生特性的劣化。弹性波装置(1)在晶体的Z轴的方向与相对于主面的法线方向不同的压电膜(6)上设置有IDT电极(7)，IDT电极(7)的交叉区域(K)具有中央区域(C)和第一、第二边缘区域(D1、D2)，在第一、第二边缘区域(D1、D2)，第一、第二电介质膜(15、16)层叠在压电膜(6)与第一、第二电极指(13、14)之间，在将第一电介质膜(15)的第一侧面(15a)与压电膜(6)的主面(6a)所成的角度设为(α1)并且将第二电介质膜(16)的第二侧面(16a)与压电膜(6)的主面(6a)所成的角度设为(α2)时，在多根第一、第二电极指(13、14)中的至少一根电极指与压电膜之间，为α1≠α2。
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公开(公告)号：CN115428335A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029551.9
申请日：2021-04-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制横模以及高阶模的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和IDT电极(7)。IDT电极(7)具有中央区域(C)和第1边缘区域(E1)、第2边缘区域(E2)。包含第1边缘区域(E1)、第2边缘区域(E2)且与该区域在弹性波传播方向上重叠的区域为第1扩展边缘区域(Ex1)、第2扩展边缘区域(Ex2)。在第1扩展边缘区域(Ex1)、第2扩展边缘区域(Ex2)中，设置有声速比中央区域(C)低的第1声速调整部(L)、第2声速调整部(M)。第1声速调整部(L)具有第1端部(La)、第2端部(Lb)，第2声速调整部(M)具有第3端部(Ma)、第4端部(Mb)。第1端部(La)～第4端部(Mb)位于第1边缘区域(E1)、第2边缘区域(E2)的外侧。第1端部(La)、第3端部(Ma)和第2端部(Lb)、第4端部(Mb)这两组端部中的至少一组在多个电极指延伸的方向上不重叠。
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公开(公告)号：CN115428334A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029320.8
申请日：2021-04-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 本发明提供一种抑制了由瑞利波造成的响应的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：IDT电极(5)，设置在压电性基板上；以及反射器电极(6、7)，配置在IDT电极(5)的弹性波传播方向两侧，具有隔开间隔配置的多根电极指(6a或者7a)，还具备：电介质膜(10、11)，在设置有反射器电极(6、7)的多根电极指(6a、7a)以及间隔的区域中配置在反射器电极(6、7)与压电性基板之间。
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