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    光学検査装置、半導体素子及び光学検査方法
    71.
    发明专利
    光学検査装置、半導体素子及び光学検査方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019164010A

    公开(公告)日：2019-09-26

    申请号：JP2018051642

    申请日：2018-03-19

    Applicant: 株式会社東芝

    Inventor： 大野 博司

    IPC: G01N21/00

    Abstract: 【課題】非破壊で被検物の内部検査をすることができる光学検査装置を提供する。 【解決手段】実施形態の光学検査装置1は、被検物60の第1の表面領域A11と第1の表面領域A11に隣接している第1の内部領域A12とを含む第1の領域A1を透過し、かつ、第1の内部領域A12内に配置されている吸収体50により吸収される第1の波長λ1の励起光R1を、第1の表面領域A11に照射する励起光発生部10と、第1の表面領域A11外の第2の表面領域A21で反射される第2の波長λ2の検知光R21を、第2の表面領域A21に照射する検知光発生部20と、第2の表面領域A21で反射された検知光R21を受光する受光部30とを備える。 【選択図】 図1

    光学検査装置及び光学検査方法
    72.
    发明专利
    光学検査装置及び光学検査方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019124542A

    公开(公告)日：2019-07-25

    申请号：JP2018004556

    申请日：2018-01-15

    Applicant: 株式会社東芝

    Inventor： 大野 博司 ,  加納 宏弥 ,  岡野 英明

    IPC: G01N21/49 ,  G01N21/41

    Abstract: 【課題】被検物に係る情報を高精度に測定することができる光学検査装置を提供する。 【解決手段】実施形態の光学検査装置1は、波長選択領域が設けられた第1の開口面を有する第1の受光側絞り41(第1の絞り)と、第1の受光側絞り41とは異なる波長選択領域が設けられた第2の開口面を有する第2の受光側絞り44(第2の絞り)と、第1の開口面及び第2の開口面を通過して撮像面21に到達した光線を撮像する撮像素子20と、第1の開口面及び前記第2の開口面を通過する光線を撮像面21へ入射させる受光側レンズ42(第1のレンズ)とを備える。 【選択図】 図17

    物体の表面検査装置
    73.
    发明专利
    物体の表面検査装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019124540A

    公开(公告)日：2019-07-25

    申请号：JP2018004536

    申请日：2018-01-15

    Applicant: 株式会社東芝

    Inventor： 神川 卓大 ,  大野 博司 ,  羽藤 武宏

    IPC: G01B11/30 ,  G01N21/88

    Abstract: 【課題】物体の表面性状を精度良く検査することのできる物体の表面検査装置 を提供する。 【解決手段】本実施形態による物体の表面検査装置は、撮像面を有する撮像素子と、光源と、ミラーおよびレンズを有する光学素子群であって、前記光源から前記物体の前記表面に入射した入射光による前記物体からの正反射光を除く反射光を前記ミラーのミラー面によって反射し、前記ミラー面によって反射された光を前記レンズによって前記撮像素子の撮像面に結像させる、光学素子群と、を備え、前記光源、前記ミラー、前記レンズ、および前記撮像素子は、前記物体から反射される前記入射光の正反射光が前記ミラーおよび前記レンズを介して前記撮像素子の撮像面に入射しないように配置される。 【選択図】図1

    物体認識方法、プログラム、および光学システム
    78.
    发明专利
    物体認識方法、プログラム、および光学システム 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018044828A

    公开(公告)日：2018-03-22

    申请号：JP2016178953

    申请日：2016-09-13

    Applicant: 株式会社東芝

    Inventor： 大野 博司 ,  森野 剛志 ,  高松 伴直

    IPC: G01N21/27

    CPC classification number: G06K9/2018 ,  G06K9/00201 ,  G06K9/2027 ,  G06K9/2036 ,  G06K9/209 ,  G06K9/4661 ,  G06T7/55 ,  G06T2207/30124

    Abstract: 【課題】物体の形状あるいは表面性状を精度よく検知することのできる物体認識方法、プログラム、および光学システムを提供する。 【解決手段】本実施形態の光学システムは、対象物に光を照射する光源を有する照射装置と、撮像素子を有し、前記対象物からの反射光を受光し、第1波長および前記第1波長と異なる第2波長の撮像画像を取得する撮像装置と、前記第1波長の撮像画像と前記第2波長の撮像画像とを比較して前記反射光のフレネル反射成分と散乱成分を抽出分離し、前記フレネル反射成分と前記散乱成分に基づいて前記対象物の表面形状および表面性状の少なくとも1つを取得する処理回路と、を備えている。 【選択図】図1

    レーザ加工装置
    79.
    发明专利
    レーザ加工装置 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018043266A

    公开(公告)日：2018-03-22

    申请号：JP2016179165

    申请日：2016-09-14

    Applicant: 株式会社東芝

    Inventor： 大野 博司 ,  野村 航大 ,  坂井 哲男 ,  千田 格

    IPC: B23K26/122 ,  B23K26/064

    CPC classification number: B23K26/356 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/106 ,  C21D10/005 ,  G02B6/262 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0047 ,  G21C21/00 ,  G21Y2002/103

    Abstract: 【課題】光学素子の損傷を抑制するレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】実施形態によれば、光照射部と、光学素子と、を備えるレーザ加工装置が提供される。前記光照射部は、光源からのレーザ光を先端から出射する。前記光学素子は、前記光照射部の先端との間に間隙を介して設けられた第1透明部材と、第2透明部材と、を有する。前記第1透明部材は、前記光照射部の先端に対向する第1面と、前記第1面に接続されるように設けられた第2面と、を有する。前記第2透明部材は、前記第1透明部材の第2面に対向されるように設けられた平面と、前記第1透明部材を通った光が通過する凸面と、を有する。前記第1面を通る前記レーザ光の光軸と、前記凸面を通る光軸と、は互いに異なるとする。 【選択図】図1

    照明装置
    80.
    发明专利
    照明装置 有权

    公开(公告)号：JP2017208351A

    公开(公告)日：2017-11-24

    申请号：JP2017131480

    申请日：2017-07-04

    Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝マテリアル株式会社

    Inventor： 加藤 光章 ,  大野 博司 ,  久野 勝美 ,  近藤 弘康

    IPC: F21K9/00 ,  F21V5/00 ,  F21V5/04 ,  F21V23/00 ,  F21V29/503 ,  F21V29/85 ,  F21V11/02 ,  F21V8/00 ,  F21Y115/10 ,  F21K9/232

    CPC classification number: F21K9/61 ,  F21K9/232 ,  F21V29/83 ,  F21V29/506 ,  F21V5/04 ,  F21V7/0091

    Abstract: 【課題】発光効率を向上し、かつ、放熱性を向上する照明装置を提供する。 【解決手段】照明装置100Bは、一端に開口を有するグローブ10と、グローブ内に収納されるベース20と、ベース上に配置されたLED光源40と、光源の発光面を覆い、かつ、光源側からグローブの前記一端と反対の方向に延びる延在部を有する導光柱31と、導光柱の端部に配置された散乱体32と、ベースに接続し、導光柱の延在部の側面のうちベースから発光面と散乱体との間に位置する部分で、かつ、導光柱から照射される光の配光角の1/2の内側の領域に位置する部分を覆うカバー24と、ベースに対して光源と反対側に設けられベースを支持する支柱21と、グローブの前記一端において支柱に接続されるグローブコネクタ22と、グローブコネクタに接続される口金コネクタ23と、口金コネクタに接続される口金60と、口金と光源とを接続する配線90と、を備える。 【選択図】図8

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