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公开(公告)号：JP2016172691A
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：JP2016133305
申请日：2016-07-05
Applicant: 株式会社SUMCO
Inventor： 須藤 俊明
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法でのシリカガラスルツボを製造することのできるモールドを得る。 【解決手段】当初の物性パラメータに基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、その一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定する。また、所定の水準を下回っている場合には、シリカガラスルツボの設計データとの一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる改善モールド設計データを設定する。その結果、シリカガラスルツボの設計データおよび測定データの三次元形状の一致度を所定の水準以上に高めることができる。すなわち、シリカガラスルツボの設計データに対する三次元形状の一致度がさらに高いシリカガラスルツボを回転モールド法で製造することのできるモールドが得られる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：为了获得能够通过旋转模具法制造石英玻璃坩埚的模具，具有三维形状与设计数据高度重合的石英玻璃坩埚。解决方案：当三维形状 在基于原始物理参数获得的模拟数据和测量数据之间低于指定水平时，设置改进的物理参数以使得重合度等于或高于指定水平，或者改进的模具设计数据被设置为获得 给出与石英玻璃坩埚的设计数据一致或高于规定水平的模拟数据。 因此，设计数据和石英玻璃坩埚的测量数据之间的三维形状的一致性提高到指定水平或更高。 因此，可以通过旋转模具法制造能够制造石英玻璃坩埚的模具，具有与设计数据一致的三维形状的石英玻璃坩埚。图1
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公开(公告)号：JP2016064931A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193113
申请日：2014-09-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊でシリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を測定する方法及び測定装置を提供する。 【解決手段】測定の対象となるシリカガラスルツボ1にレーザー光を出射する光出射部2と、光出射部2によりシリカガラスルツボ1内に入射されたレーザー光の散乱の状態を示す散乱状況を測定する散乱状況測定部と、を有している。そして、散乱状況測定部は、シリカガラスルツボ1の厚み方向の各位置の散乱状況を測定するよう構成されているシリカガラスルツボ1の厚み方向の層の構造を測定する装置。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在厚度方向上非破坏性地测量石英玻璃坩埚层的结构的方法和测量装置。解决方案：测量二氧化硅玻璃坩埚层的结构的测量装置 厚度方向的厚度方向1包括向作为测定对象的石英玻璃坩埚1发射激光的发光部2，以及测定表示来自该光源的激光的散射状态的散射环境的散射环境测定部 发光部分2进入石英玻璃坩埚1.散射环境测量部分被配置为测量石英玻璃坩埚1的厚度方向上的每个位置处的散射情况。选择的图：图2
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2015180881A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：JP2015097793
申请日：2015-05-13
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: G01N21/3563 , C30B29/06 , G01B11/24
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの赤外吸収スペクトルの三次元分布を高精度に決定する方法を提供する。 【解決手段】内表面側に透明シリカガラス層13を有し、透明シリカガラス層よりも外表面側に気泡含有シリカガラス層15を有するシリカガラスルツボ11の内表面に沿って非接触で内部測距部17を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部からシリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内部測距部と内表面との間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離を関連付けることによって、シリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、赤外吸収スペクトルの三次元分布を決定する工程を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种高精度地确定石英玻璃坩埚的红外吸收光谱的三维分布的方法。解决方案：一种用于确定石英玻璃坩埚的红外吸收光谱的三维分布的方法 包括以下步骤：使内部距离测量单元17沿着内表面侧具有透明石英玻璃层13的石英玻璃坩埚11的内表面和外表面侧的含气泡石英玻璃层15非接触地移动 透明石英玻璃层外面; 在内部距离测量单元的移动路线上的多个测量点处，用激光束沿着倾斜方向照射石英玻璃坩埚的内表面，改变内部距离测量单元和内表面之间的距离以及发射 激光束的方向，通过用激光位移计测量激光束的反射光可以观察到两个峰值，并且测量内部距离测量单元与峰值位置处的内表面之间的内表面距离 在两个峰的内表面侧; 并且通过将每个测量点的三维坐标与内表面距离相关联，并且确定红外吸收光谱的三维分布来获得石英玻璃坩埚的内表面的三维形状。
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公开(公告)号：JP2015155375A
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：JP2015086085
申请日：2015-04-20
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの結晶化容易性を正確に予測することを可能にするシリカ粉の評価方法を提供する。 【解決手段】本発明によれば、シリカ粉を融解温度1700〜1900℃で融解した後に冷却させてガラス化したサンプルを作成するサンプル作成工程と、前記サンプルを1400〜1750℃で30分以上保持した後に冷却するサンプル熱処理工程と、前記サンプル熱処理工程後のサンプルの不透明化の状態を評価するサンプル評価工程とを備えるシリカ粉の評価方法が提供される。 【選択図】図1
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