公开(公告)号：CN101573185B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN200780040419.8

申请日：2007-11-01

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05D3/00 ,  B05C5/00 ,  B05D1/26

CPC classification number: H01L21/563 ,  H01L24/27 ,  H01L24/743 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/0401

Abstract: 本发明提供一种不需要计算复杂的参数且容易控制的液体材料的填充方法、装置及程序。本发明涉及一种液体材料的填充方法、用以实施该方法的装置及程序，其特征在于，该液体材料的填充方法，为在衬底与其上载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法；沿工件的外周做成由暂时停止点及非停止区域所构成的涂布图案，通过增减在暂时停止点吐出部的停止时间来进行液体材料的吐出量的校正。

公开(公告)号：CN104401137A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201410669271.6

申请日：2008-10-27

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B41J3/28 ,  G02F1/13

CPC classification number: B41J13/0027 ,  B41J3/28 ,  G02F1/1341 ,  G02F2001/13415

Abstract: [问题]本发明提供在使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边实施液体材料的滴下的技术中，可使喷嘴的移动速度高速化，并且可提高生产性的液体材料的滴下方法、程序以及装置。[解决问题的方法]本发明的液体材料的滴下方法以及用于实施该方法的装置，在基板上排列多个具有滴下点的工件，在多个工件上以吐出装置所具有的喷嘴在直线路径多次纵越或横越的方式，使喷嘴和基板以一定速度一边相对移动一边将吐出信号发送至吐出装置而滴下液体材料，其特征在于，在各个直线路径当滴下点间的最短距离(Lo)不同时，算出在一个直线路径中滴下点间的最短距离(Lo)以及吐出装置实施一次吐出所需要的时间(fo)，并依照(Lo/fo)在各个直线路径设定喷嘴和基板的相对移动速度。

公开(公告)号：CN102717598B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201210186606.X

申请日：2008-02-21

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B41J2/165

CPC classification number: B41J2/16552

Abstract: 本发明涉及一种喷墨喷头涂布控制方法。其中，喷墨涂布控制方法包含：第一步骤，在从喷墨喷头的吐出作业后，将在喷墨喷头内的流路所填充的吐出用液材替换为替换材料；第二步骤，以供应洗净液的单元构件，将在内部的流路已填充替换材料的喷墨喷头的下面覆盖洗净；第三步骤，在刚要开始吐出作业之前，将替换材料再次替换为吐出用液材。

公开(公告)号：CN103889589A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280049422.7

申请日：2012-10-05

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05C5/00 ,  B05D1/26

CPC classification number: B05C11/1034 ,  B05C5/0225 ,  B65D83/0005 ,  H05K3/3484 ,  H05K2203/0126

Abstract: 本发明以提供可容易地进行柱塞的移动速度的调节的液体材料的吐出装置及方法为目的，其包括：液室（50），其与吐出口（11）连通，且被供给有液体材料；柱塞，在后端部形成有活塞（33），前端部在液室（50）内进行进退移动；弹性体（47），其对柱塞提供作用力；及加压室（49），其配设有活塞（33）且被供给有加压气体；通过使柱塞以高速进出移动而自吐出口（11）吐出液体材料，所述弹性体（47）对柱塞朝后退方向施力，且供给至所述加压室（49）的加压气体对活塞（33）提供推进力，由此使柱塞进行进出移动。

公开(公告)号：CN102066008B

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN200980105241.X

申请日：2009-02-18

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05D1/26 ,  B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05B12/008 ,  B05B1/083 ,  H01L21/563 ,  H01L24/16 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16238 ,  H01L2224/27312 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/32052 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/743 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/0401

Abstract: 本发明提供一种不需要复杂的参数计算且对排出部的移动速度不会造成影响的液体材料的涂布方法、其装置及其程序。该涂布方法为一边使喷嘴与工件进行相对移动，一边将液体材料从喷嘴排出，而对工件涂布规定涂布量的液体材料的涂布方法。其特征在于，包括：初期参数设定步骤，将传送排出脉冲信号和暂停脉冲信号的次数规定为总脉冲数，且规定总脉冲数中为了达成涂布量所必要的排出脉冲信号数，而将其余规定为暂停脉冲信号；修正量计算步骤，以预设的修正周期，计测在修正周期时从喷嘴的排出量，并计算出排出量的修正量；以及排出量修正步骤，根据在修正量计算步骤所计算出的修正量，调整排出脉冲信号数和暂停脉冲信号数。

公开(公告)号：CN103596700A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201280023279.4

申请日：2012-04-27

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05C5/02 ,  B05B1/14 ,  B05D1/26

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05D1/26

Abstract: 本发明提供能够使来自连通于吐出口的所有流路的流入量均匀，使涂布间隙的影响为最小限度，并相比于现有技术精度更优良地进行膜状涂布的技术。解决手段是膜状涂布喷嘴，具备：具有分支路构造的分支块（3、4、5）；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件（12）；以及设置多根具有连通于分支路构造的细管流入口（16）及连通于前端构件（12）的吐出口的细管流出口（17）的细管（14）而成的管部（13）；分支块（3、4、5）具备多段由使连通于流入口（16）的流路分支的室所构成的分支部（8），到由设置在同一段的分支部（8）所分支的流路的流出口（17）为止的长度构成为相等；前端构件（12）具有构成吐出口的沟槽部（15），吐出口的端面的短边方向的长度（S）构成为长于细管流出口（17）的内径（D），细管流出口（17）大致等间隔地配设在沟槽部（15）的最里面。

公开(公告)号：CN103118802A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201180042922.3

申请日：2011-09-14

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05C11/10 ,  B05C5/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1341

CPC classification number: B01D19/00

Abstract: 技术问题：提供一种不需要将液体材料贮存部与吐出装置物理连接，能够有效地防止颗粒的产生和混入的液体自动供给机构以及具备其的涂布装置。解决手段：一种液体自动供给机构以及具备其的涂布装置，其特征在于，具备贮存液体材料的液体贮存部、具有供给贮存在液体贮存部的液体材料的供给口的供给部、具有接受从供给部排出的液体材料的接受口和气泡除去机构的接受部、以及使接受部移动的接受部驱动装置，接受部移动至接受口位于供给口的正下方的接受位置，从供给口接受液体材料的滴下供给，并将气泡被气泡除去机构除去了的液体材料供给至吐出装置。

公开(公告)号：CN101646502B

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN200880007562.1

申请日：2008-03-04

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05C5/00 ,  B05D1/26

CPC classification number: B23K3/0623 ,  B05C5/0225 ,  B41J2/04586 ,  B41J2/04588 ,  B41J2/14 ,  B41J2002/041 ,  B41J2202/05

Abstract: 本发明的目的在于提供一种排出动作时，柱塞前端将以非接触的状态保持于液室的内壁上的液滴排出技术，特别地，目的在于提供一种即使为焊锡膏等的掺入填充剂的液材，仍可进行良好排出的液滴排出装置及方法。本发明的液滴排出装置及方法中，液滴排出装置包括：液室，具有将液材排出的排出口；贯通孔，连通于上述液室；柱塞，插通于上述贯通孔中，并且上述柱塞的前端部在上述液室内进行前进后退动作；柱塞移动机构，使上述柱塞产生前进后退动作；以及柱塞定位机构，规定上述柱塞的前端部的位置；并且，通过使上述柱塞的前端部与上述液室的内壁以非接触状态使上述柱塞进行进入移动与进入停止，以便对液材赋予惯性力而以液滴状态排出；上述液滴排出装置的特征在于，上述柱塞定位机构将进入停止时的柱塞的前端部的位置，规定于其进入方向的液室的内壁附近。

公开(公告)号：CN102869994A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201180018042.2

申请日：2011-03-24

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: G01N35/10 ,  B01J4/02

CPC classification number: B01L3/0293 ,  B01L3/0265 ,  B01L2200/0673 ,  B01L2400/0478 ,  B01L2400/0487 ,  B01L2400/0633 ,  B05B15/55 ,  B05B15/555 ,  G01N35/10 ,  G01N35/1004 ,  G01N2035/1041

Abstract: 本发明是提供一种能够高精度地抛射吐出微量液滴而且能够没有混淆问题地吐出不同种类的试样·试剂的装置以及方法。所述装置是一种吸引多次进行吐出的分量的吐出液体并连续性地抛射吐出微量液滴的吐出装置，具备：喷嘴部、将被调压过的压力传递介质提供给喷嘴部侧的存积部、将被调压过的加压气体提供给存积部侧的加压部、泵机构、连通喷嘴部、存积部以及泵机构的分支部、连通或者切断分支部和喷嘴部的吐出阀、连通或者切断分支部和存积部的供给阀；在关闭吐出阀并且打开供给阀的状态下，将由加压部进行调压过的加压气体提供给存积部侧，并将由存积部进行调压的压力传递介质提供给供给阀侧，接着通过在规定的时机开闭吐出阀从而连续性地抛射吐出微量的液滴。

公开(公告)号：CN102762312A

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN201080062921.0

申请日：2010-11-29

Applicant: 武藏工业株式会社

Inventor： 生岛和正

IPC: B05C5/00 ,  B05C13/00 ,  B23P21/00

CPC classification number: B05B13/0463 ,  B05B12/122 ,  B05B15/52 ,  B05B15/80

Abstract: 本发明提供一种具有工件搬送机构的全自动作业用装置，是可载置于桌上使用的作业装置。本案发明的桌上型作业装置将工件与作业头一边进行相对移动一边对工件进行所期望的作业，其特征为，具备有：基台；作业部，配置在基台上，具有作业头及作业头驱动机构；装载机，一体地配置于桌上型作业装置的侧部；卸载机，一体地配置于桌上型作业装置的侧部；搬送部，其配置于基台上，将由装载机所供给的工件搬送至卸载机；及控制部；上述搬送部具有将工件固定在作业位置的固定机构，上述作业部具有配置于作业位置上方的作业头，控制部被构成为包含配置在基台内的第一控制部及配置于桌上型作业装置的侧部或上部的第二控制部。