公开(公告)号：JP2017044711A

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：JP2016237577

申请日：2016-12-07

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社

Inventor： 伊藤 将師 ,  柴山 勝己 ,  能野 隆文 ,  廣瀬 真樹 ,  川合 敏光 ,  大藤 和人 ,  丸山 芳弘

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/65

Abstract: 【課題】信頼性の低下を抑制可能な表面増強ラマン散乱ユニットを提供する。 【解決手段】 SERSユニット1においては、ピラー81を含む微細構造部8が、基板4の表面4aに沿って延びる支持部7と一体に形成されている。このため、ピラー81が基板4から剥離することが抑制される。また、SERSユニット1においては、支持部7及び微細構造部8が枠部9に囲まれている。このため、基板4等の一部へのダメージが、その枠部9で留められることとなり、微細構造部8へ波及しない。よって、SERSユニット1によれば、ピラー81の剥離を抑制すると共に、微細構造部8へのダメージの波及を防止し、信頼性の低下を抑制することができる。 【選択図】図3

Abstract translation: 为了提供一个表面增强拉曼散射单元能够以抑制可靠性降低。 所述的SERS单元1，包括支柱81的精细结构部分8与沿基板4的表面4a延伸的支撑部7一体地形成。 因此，支柱81是从基板4剥落防止。 在SERS单元1中，支撑部件7和精细结构部8由框架部9包围。 因此，在基板4或类似的部分将损害在框架部9被紧固不会扩散到微结构部8。 因此，根据SERS单元1，同时抑制支柱81的剥离，以防止微结构部8的损伤传播，它是能够抑制可靠性降低。 点域

公开(公告)号：JP6058313B2

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：JP2012178771

申请日：2012-08-10

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社

Inventor： 伊藤 将師 ,  柴山 勝己 ,  能野 隆文 ,  廣瀬 真樹 ,  川合 敏光 ,  大藤 和人 ,  丸山 芳弘

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00