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公开(公告)号：CN112114285A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202011039583.0
申请日：2020-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板及其制作方法，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。
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公开(公告)号：CN111855742A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201911324213.9
申请日：2019-12-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种检测爆炸对人体损伤程度的电子皮肤结构，采用多层堆叠设置的电子皮肤层结构设计，在中间层电子皮肤层上阵列有传感器单元，在最下层层电子皮肤层上阵列有温度传感器和传感器单元，在最上层电子皮肤层上阵列有传感器单元、温度传感器和流速传感器；利用阵列于电子皮肤层上的传感器单元可获取爆炸破片对人体产生的热辐射、破片位置和破坏面积，温度传感器和流速传感器能够实现在爆炸环境下对相互耦合的流场和温度场进行测量，通过对不同层电子皮肤上的热流密度的测量，能够得到不同电子皮肤层的热流密度，判断爆炸环境下热辐射对人体表面的毁伤深度；本发明结构简单，实现对爆炸产生损伤统一监测，为在线实时智能监测提供技术支撑。
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公开(公告)号：CN111537922A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010403189.4
申请日：2020-05-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种原子磁强计的MEMS气室碱金属原子源选择方法，它属于量子精密测量领域。具体为：首先确认MEMS气室内导致原子自旋弛豫的各种机制；然后根据气室内的具体实验参数计算总的弛豫率；最后根据横向弛豫时间以及实现的难易程度，综合比较MEMS气室内各种碱金属原子的优劣，并最终确定充入气室内的碱金属原子源的种类。本发明为原子磁强计中MEMS气室原子源的选择提供了理论依据，并为原子磁强计实现及灵敏度改善提供了理论参考。
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公开(公告)号：CN108225394B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201711425087.7
申请日：2017-12-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01D11/26
Abstract: 本发明公开了一种用于环境监测的防水传感器节点封装盒，封装盒主体分为内层、中层和外层三层结构，内层、中层和外层结构共用外层后壁，封装盒联接前翼与封装盒联接后翼分别与外层前壁和外层后壁连接；封装盒盖同封装盒联接前翼、封装盒联接后翼的连接方式为固定螺栓和固定螺母连接；底部左支座和底部右支座分别置于下壁左右两端，作为封装盒支承件；监测节点模块安装于内层结构之内，各传感器安装于中层结构之上。本发明既不影响传感器对环境数据的监测，又可以实现对节点模块的防水、防尘保护，提高节点模块的使用寿命；封装盒结构简单、制造简便、容易装配；可以实现对多传感器的集成封装，传感器损坏后容易换装。
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公开(公告)号：CN111141221A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911293635.4
申请日：2019-12-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了微位移传感器用光纤探针制备方法及微位移传感器和应用，将端部切平的光纤垂直浸入混合材料溶液中，然后将浸润后的光纤取出使其端面与水平面平行，将光纤另一端通过光纤准直器连接光源，打开光源使光纤的输出功率为0.1uw-5uw，持续时间为1s-16s，利用光纤光源由内之外扩散减弱同时长度方向减弱使光纤端部形成锥结构，最后通过腐蚀得到光纤探针结构，本发明方法简单，基于制备得到的光纤探针结构的双光纤探针微位移传感器，利用光纤尖端结构光谱敏感性，能够实现微位移的精准检测，采用光纤结构灵敏度高、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀、防爆、结构简单、体积小、重量轻，可以用于高压、电气噪声、高温、腐蚀、或其它的恶劣环境，结构简单且成本低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111076836A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911288910.3
申请日：2019-12-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种金属-氧化物型薄膜热电偶及其制备方法，包括基底以及位于基底上的钨铼26薄膜区及氧化铟薄膜区，其中，钨铼26薄膜区与氧化铟薄膜区相接触，该热电偶具有耐高温及高热电输出能力的特点，且制备方法简单。
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公开(公告)号：CN110375802A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910522694.8
申请日：2019-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种环境监测复合封装装置，利用一侧设有开口的封装盒主体将监测模块安装在封装盒主体内，在封装盒主体开口处设有盖板，便于更换不同监测模块，同时在封装盒主体上与设置开口一侧相邻的两侧设有通风口，通风口外侧设有防护罩，防护罩设有与通风口连通朝下设置的开口，利用向下设置的开口结构，实现封装盒主体内通风的同时能够防止落灰和雨水飘入，利用顶板和集雨管连通至pH蓄水池，实现雨水的收集，pH蓄水池采用阶梯孔结构，能够实现快速收集雨水并对雨水pH值进行测量的目的，将监测模块集成在封装盒主体内，减小整体测量装置的体积，利用朝下开设的通风口，实现通风的同时能够达到防水的目的，本装置结构简单实用。
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公开(公告)号：CN109000699A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810587477.2
申请日：2018-06-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种用于室外环境监测装置的封装盒装置，通过设置用于放置室外环境监测装置的固定盒以及用于固定Ph计的Ph计固定环，将室外环境检测装置各模块固定于固定盒内，在箱体两侧和底部均开设有多个通孔，利用上盖密封箱体上端，在上盖两端均设有通风板，通风板上设有与箱体两侧通孔错位设置的通风孔，防止雨水飘入同时最大程度的保证封装盒的空气流通，利于传感器模块对环境参数的测定；在箱体内一侧设有雨水收集槽，箱体外侧与雨水收集槽对应设有集雨槽，雨水收集槽与集雨槽通过通孔连通，将Ph计的测量头设置于导水槽内，从而实现雨水的收集与测量，本装置结构简单、制造简便、容易装配。
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公开(公告)号：CN107014410A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710209760.7
申请日：2017-03-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01D5/353
CPC classification number: G01D5/35312
Abstract: 本发明公开了一种用于光纤F‑P传感器制作的光纤对中和腔长控制装置及方法，通过光纤夹具对光纤进行夹紧，通过陶瓷管夹具对陶瓷管夹紧，通过测微尺调节两个光纤夹具的位置，通过光栅尺记录移动距离，使两个光纤与陶瓷管对中并粘接，完成光纤F‑P传感器的制作。本装置体积小，便于移动，在大大降低成本的同时又增加了实际应用中的便捷性；在保证对中性和腔长的前提下，降低了对操作人员操作水平的要求。
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公开(公告)号：CN106840438A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710100938.4
申请日：2017-02-23
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01K7/12
CPC classification number: G01K7/12
Abstract: 本发明公开了一种基于微流道的钨铼薄膜温度传感器冷端补偿结构，包括热电偶和冷端温度补偿模块；热电偶包括设有热电偶冷端微流道的基底；冷端微流道采用针翅式微流道结构；冷端温度补偿模块包括补偿导线、第一放大器、第二放大器、冷端温度传感器、微控制器和显示模块；微控制器对来自热电偶的电压和冷端温度传感器所输入的电压进行综合处理，转换成温度信号通过显示模块实时显示所测温度。本发明将微流道应用于热电偶基底的冷端部位上并与冷端温度补偿模块相结合，解决了补偿导线与钨铼薄膜热电偶连线的高温失效问题，对热电偶的冷端温度进行补偿，提高了所测温度信号的精度和可靠性，实现精确可靠的高温测量。
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