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公开(公告)号：KR101033950B1
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：KR1020080098112
申请日：2008-10-07
Applicant: 김남진
Inventor： 김남진
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205
Abstract: 플라즈마 처리장치가 개시된다. 본 발명의 플라즈마 처리장치는, 플라즈마가 생성되는 공간을 제공하는 반응챔버; 반응챔버의 내부에 마련되어 기판이 안착되는 서셉터; 반응챔버의 상부에 마련되는 복수개의 절연판; 복수개의 절연판이 대응 배치되는 복수개의 개구부가 형성되어 복수개의 절연판을 지지하는 절연판 지지체; 절연판 지지체에 마련되는 적어도 하나의 상부가스분사노즐; 및 반응챔버의 측벽에 마련되는 적어도 하나의 측면가스분사노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 대형 크기의 기판에 대한 시스템에 적용함에 있어서도 기구적인 안정성을 확보하고, 전체적인 플라즈마 증착 균일도를 향상시킬 수 있다.
플라즈마, 절연판, 가스분사노즐, 기구적 안정성, 플라즈마 균일도Abstract translation: 公开了一种等离子体处理设备。 本发明的等离子体处理装置包括：用于提供产生等离子体的空间的反应室; 设置在反应室内以使基板固定的基座; 多个设置在反应室上部的绝缘板; 绝缘板支撑件，其支撑多个绝缘板并具有对应于所述多个绝缘板的多个开口; 至少一个设置在绝缘板支架上的上部气体喷嘴; 并且至少一个设置在反应室侧壁上的侧面气体注入喷嘴。 根据本发明，即使应用于大尺寸基板的系统，也可以确保机械稳定性，并且整体上可以提高等离子体沉积的均匀性。
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公开(公告)号：KR1020100138441A
公开(公告)日：2010-12-31
申请号：KR1020090056983
申请日：2009-06-25
Applicant: 김남진
Inventor： 김남진
IPC: G09F15/00
CPC classification number: G09F15/0012 , G09F15/0018 , G09F15/0025 , G09F15/0062 , G09F15/0068 , G09F2015/0093
Abstract: PURPOSE: An indoor placard supporter is provided to hold placards which vary in size by flexibly changing angles between poles. CONSTITUTION: A first and a fourth pole rotates by mutually engaging gears which are formed in one end. A support body(20) rotatably supports a gear formed in one end part of the first and the fourth pole. A support stand(23) is rotatably fixed to the support body. The support stand supports a placard supporter by using two poles among four poles. A fixing part(22) fixes the placard by being formed in the other end of each pole.
Abstract translation: 目的：提供一个室内标语牌支持者，以通过灵活变化两极之间的角度来保持大小不同的标语牌。 构成：第一和第四极通过在一端形成的相互啮合的齿轮旋转。 支撑体（20）可旋转地支撑形成在第一和第四极的一个端部中的齿轮。 支撑架（23）可旋转地固定到支撑体上。 支架通过在四极之间使用两极支撑支架。 固定部分（22）通过形成在每个极的另一端来固定标牌。
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公开(公告)号：KR1020090102257A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：KR1020080027584
申请日：2008-03-25
CPC classification number: H01J37/3211 , H01L21/3065 , H05H1/46 , H05H2001/4667
Abstract: PURPOSE: An inductively-coupled plasma etching apparatus is provided to minimize the variation of high frequency power distribution occurring in a reaction chamber due to an etching by-product deposited un-uniformly according to the rotation direction of an insulated plate. CONSTITUTION: An inductively-coupled plasma etching apparatus includes a reaction chamber, an antenna system and an insulating plate. The reaction chamber provides a space where plasma is generated. An antenna system(150) induces the electric field that generates the plasma by prepared in the upper part of the reaction chamber. The insulating plate is placed between the reaction chamber and the antenna system, and the antenna system includes first and second lower antennas and first and second upper antennas.
Abstract translation: 目的：提供一种电感耦合等离子体蚀刻装置，用于最小化由于根据绝缘板的旋转方向不均匀地沉积副产物而在反应室中发生的高频功率分布的变化。 构成：电感耦合等离子体蚀刻装置包括反应室，天线系统和绝缘板。 反应室提供产生等离子体的空间。 天线系统（150）通过在反应室的上部制备而产生产生等离子体的电场。 绝缘板放置在反应室和天线系统之间，天线系统包括第一和第二下部天线以及第一和第二上部天线。
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公开(公告)号：KR1020080099547A
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：KR1020070045221
申请日：2007-05-09
IPC: G01R27/00
CPC classification number: G01R27/02 , G01R13/02 , G01R15/125 , G01R31/025
Abstract: A digital multi meter is provided to automatically light a lead-in guidance lamp, a lead-in warning lamp, and a lead-in sign lamp which were adjacent to each terminal in order to prevent a lead-in error of a test lead cable. A digital multi meter comprises a measurement range, a connector area(210), a test lead cable(220), and a lead-in guidance lamp(230). The connector area includes a common terminal and a multi-terminal. The test lead cable electrically connects between the connector area and a measuring object. The lead-in guidance lamp installed in each terminal comprising the connector area is connected in the configuration range and guides the lead-in of the test lead cable.
Abstract translation: 提供数字多用表以自动点亮与每个端子相邻的导入引导灯，引入警告灯和引入灯，以防止测试导线的导入误差 。 数字多用表包括测量范围，连接器区域（210），测试引线电缆（220）和导入引导灯（230）。 连接器区域包括公共端子和多端子。 测试导线电缆在连接器区域和测量对象之间电连接。 安装在包括连接器区域的每个端子中的导入引导灯在配置范围内连接并且引导测试导线的导入。
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公开(公告)号：KR200427063Y1
公开(公告)日：2006-09-22
申请号：KR2020060016437
申请日：2006-06-19
Abstract: 본 고안은 간판 고정장치에 관한 것으로, 구성요소의 상당부분을 합성수지재로 제작이 가능하도록 하면서도 구조를 단순화시켜 재료비 및 가공비 부담을 줄여줌에 따라 제작비용이 적게 들어가도록 함과 함께 간판의 고정을 숙련공이 아닌 일반인이라도 손쉽게 수행할 수 있도록 함에 따라 작업성 향상에 의한 생산성 증대에도 기여토록 한 것이다.
이를 위해 본 고안은 벽면 등과 같은 고정면에 고정되는 메인보드(101)(111)와, 상기 메인보드와 일정간격 이격되도록 그 네모서리부분이 간격유지구(103)(113)를 사이에 두고 결합된 투명한 재질의 커버판(102)(112)으로 이루어진 것에 있어서, 상기 각 간격유지구(103)(113)에는 그 내경부가 나사산이 형성되지 않은 미끈한 형상의 홈부(103a)(113a)를 가지고 있고, 상기 홈부의 둘레에는 축방향을 따라 적어도 하나의 직선형 가이드홈(103c)(113c)이 형성되며, 상기 홈부에는 그 외경부가 매끄러운 연결봉(105)(115)의 일측부가 여유있게 끼워지고, 상기 연결봉의 일측부 끝단 외경부에는 연결봉(105)(115)을 홈부(103a)(113a)로 끼울 때 상기 홈부에 형성된 직선형 가이드홈(103c)(113c)으로 끼워지면서 축방향으로 안내되도록 가이드돌기(105a)(115a)가 형성되며, 상기 홈부(103a)(113a)의 안쪽 끝단에는 홈부로 끼워진 연결봉(105)(115)을 회전시킬 때 가이드돌기(105a)(115a)가 계속해서 원주방향으로 안내되면서 끼워지도록 직선형 가이드홈(103c)(113c)과 이어지게 원주형 가이드홈(103d)(113d)이 형성되고, 상기 연결봉(105)(115)의 돌출된 타측부 에는 상기 연결봉으로 먼저 끼워진 커버판(102)(112)을 고정시켜 주도록 내경부가 매끄러운 형태의 끼움너트(106)(116)가 압입 고정된 것을 특징으로 하는 간판 고정장치를 제공한 것이다.
간판, 간판 고정, 메인보드, 커버판Abstract translation: 本发明涉及签署持有者，通过部件来简化的主要部分，同时该结构，以使生产的是，招牌的固定在一起，使得生产成本根据变焦降低材料成本和加工的成本负担变低的合成树脂材料的 它旨在通过提高可操作性来提高生产率，因为即使对于不熟练工的普通人也能轻松操作。
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