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公开(公告)号：KR1019980046147A
公开(公告)日：1998-09-15
申请号：KR1019960064440
申请日：1996-12-11
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 거울의 수평도를 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법이 개시되어 있다. 상기 방법은, ⅰ) M×N개의 트랜지스터가 내장되고 일측 상부에 드레인이 형성된 액티브 매트릭스의 상부에 제1 희생층을 형성하는 단계, ⅱ) 상기 제1 희생층의 일부를 식각한 후, 상기 액티브 매트릭스 및 상기 제1 희생층의 상부에 멤브레인, 하부전극, 변형층 및 상부전극을 포함하는 액츄에이터를 형성하는 단계, ⅲ) 상기 액츄에이터의 일측에 상기 액티브 매트릭스에 인가되는 화상 신호 전압을 상기 액츄에이터로 전달하기 위한 비어 컨택을 형성하는 단계, ⅳ) 상기 제1 희생층을 제거하여 제1 에어 갭을 형성하는 단계, ⅴ) 상기 제1 에어 갭이 형성된 결과물 전면에 제2 희생층을 형성하는 단계, ⅵ) 상기 제2 희생층의 상부에 거울을 형성하는 단계, 그리고 ⅶ) 상기 제2 희생층을 제거하여 제2 에어 갭을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 거울이 형성될 표면을 유동성이 좋은 제2 희생층으로 평평하게 만든 후 그 위에 거울을 장착하기 때문에, 액츄에이터들의 초기 휘어짐이나 비균일성에 관계없이 거울 면을 평평하게 하여 광효율을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100134502B1
公开(公告)日：1998-04-23
申请号：KR1019930004519
申请日：1993-03-23
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치용 거울의 제조방법에 관한 것으로, 유리기판상에 분리층과 거울의 크기로 한정된 금속층을 형성하고 그 상부에 접착층을 형성한 후 액츄에이터를 접착시키며, 분리층을 제거하여 기판을 분리시킨 다음 금속층들 사이의 접착층을 제거하여 거울을 만든다. 따라서, 접착층에 의해 거울의 두께를 조절할 수 있어 반사막으로 이용되는 한 개의 금속층을 형성하므로 제조가 간단하며, 또한 분리층과 금속층의 전표면에 접착층을 형성한 후 액츄에이터의 상부들을 동시에 부착하므로 접착이 쉽다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970006691B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930024395
申请日：1993-11-16
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: At a specific area of a driving base material(20), a supporter(21) is formed. In the specific area of the supporter(21), a metal(22) is penetrating longitudinally, and the designated area of the supporter is formed with a signal electrode(metal)(23), a ceramic(piezoelectric)(24) and a bias electrode(25) in turn. A main body is formed in a plate shape and on the surface of the main body, a mirror(27) is installed. Part of the main body(26) front and rear is split into the angle of 90 degree and formed.
Abstract translation: 在驱动基材（20）的特定区域形成有支撑体（21）。 在支撑件（21）的特定区域中，金属（22）纵向穿透，并且支撑件的指定区域形成有信号电极（金属）（23），陶瓷（压电）（24）和 偏置电极（25）。 主体形成为板状，并且在主体的表面上安装有反射镜（27）。 主体部分（26）前后分为90度的角度形成。
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公开(公告)号：KR1019970006689B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930023728
申请日：1993-11-09
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: A method of fabricating an optical path controller of a projection-type image display includes the steps of selectively forming a ceramic layer 21 on a driving substrate 20, forming a sacrificial oxide layer 22 on a predetermined portion of the driving substrate 20 other than the region of the ceramic layer 21, removing a predetermined portion of the ceramic layer 21 and forming a metal layer 23 on the portion where the ceramic layer 21 is removed, selectively forming a signal electrode 24 on a predetermined portion of the ceramic layer 21 and sacrificial oxide layer 22 including the metal layer 23, sequentially forming a ceramic layer 25 and bias electrode 26 on the overall surface of the substrate and removing a predetermined portion of the bias electrode 26, ceramic layer 25, sacrificial oxide layer 22 and ceramic layer 21, placed on a predetermined region between actuators, to expose the driving substrate, forming a photoresist layer 27 on the bias electrode 26, forming a metal layer 28 on the overall surface of the substrate, removing a predetermined portion of the ceramic layers 21 and 25, bias electrode 26, photoresist layer 27 and metal layer 28, placed on a region other than the actuator, to expose the surface of the driving substrate, and removing the photoresist layer 27 ad sacrificial oxide layer 22.
Abstract translation: 制造投影型图像显示器的光路控制器的方法包括以下步骤：在驱动基板20上选择性地形成陶瓷层21，在驱动基板20的除了区域之外的预定部分上形成牺牲氧化物层22 ，去除陶瓷层21的预定部分并在去除陶瓷层21的部分上形成金属层23，在陶瓷层21的预定部分上选择性地形成信号电极24，并将牺牲氧化物 层22，其包括金属层23，在基板的整个表面上依次形成陶瓷层25和偏置电极26，并且去除偏置电极26，陶瓷层25，牺牲氧化物层22和陶瓷层21的预定部分， 在致动器之间的预定区域上，以暴露驱动基板，在偏置电极26上形成光致抗蚀剂层27，形成金属层 在基板的整个表面上，除去放置在致动器以外的区域上的陶瓷层21和25，偏置电极26，光致抗蚀剂层27和金属层28的预定部分，以暴露驱动的表面 并且去除光致抗蚀剂层27至牺牲氧化物层22。
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公开(公告)号：KR1019970006688B1
公开(公告)日：1997-04-29
申请号：KR1019930023727
申请日：1993-11-09
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: A method of fabricating an optical path controller of a projection-type image display includes the steps of selectively forming a ceramic layer 21 on a driving substrate 20 and forming a sacrificial oxide layer 22 on a predetermined portion of the driving substrate 20, other than the ceramic layer region 21, forming a ceramic layer 23 on the overall surface of the driving substrate, selectively removing a predetermined portion of the ceramic layers 21 and 23 to torm a trench, filling a metal 24 in the trench and forming a signal electrode 25 on the surface of the ceramic layer 23 including the metal region 24, selectively forming a ceramic layer 26 on the ceramic layer 23 including the signal electrode region 25 and forming a bias electrode 27 on an exposed surface of the substrate, selectively removing an unnecessary portion of the bias electrode 27 and ceramic layer 26 to pattern the them by a plurality of pixels, selectively forming a ceramic layer 28 on each bias electrode 27, forming a sacrificial oxide layer 29 on an exposed surface other than the ceramic layer region 28 and forming a ceramic layer 30 on the overall surface of the substrate, patterning the ceramic layer 30 and driving substrate 20 by pixels, removing the sacrificial oxide layers 22 and 29 and forming a mirror 31.
Abstract translation: 制造投影型图像显示器的光路控制器的方法包括以下步骤：在驱动基板20上选择性地形成陶瓷层21，并在驱动基板20的预定部分上形成牺牲氧化物层22，除了 陶瓷层区域21，在驱动基板的整个表面上形成陶瓷层23，选择性地去除陶瓷层21和23的预定部分以覆盖沟槽，填充沟槽中的金属24并形成信号电极25 包括金属区域24的陶瓷层23的表面，在包括信号电极区域25的陶瓷层23上选择性地形成陶瓷层26，并在衬底的暴露表面上形成偏置电极27，选择性地去除 偏置电极27和陶瓷层26通过多个像素对它们进行图案化，在每个偏置电极27上选择性地形成陶瓷层28，形成 在除了陶瓷层区域28之外的暴露表面上形成牺牲氧化物层29，并在基板的整个表面上形成陶瓷层30，将陶瓷层30和驱动基板20图案化成像素，去除牺牲氧化物层22和 并且形成反射镜31。
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公开(公告)号：KR1019970003459B1
公开(公告)日：1997-03-18
申请号：KR1019930017224
申请日：1993-08-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: The signal terminals on one surface of the ceramic wafer(41)is formed, performed dicing to the direction of Y and the first grooves(45) is formed on it. The ceramic wafer(41) is placed on the driving substrate(49) and the other surface of the ceramic wafer(41) is grinded and the modification part(47) are left only. Then a side wall on the side of modification part(47) is formed and after forming a metal layer(57) on the metal film(53), a common bias terminal(59) and the second and the third grooves(61,63) on the surface of the modifier are formed.
Abstract translation: 形成陶瓷晶片（41）的一个表面上的信号端子，对Y的方向进行切割，并在其上形成第一凹槽（45）。 将陶瓷晶片（41）放置在驱动基板（49）上，研磨陶瓷晶片（41）的另一个表面，仅修改部分（47）。 然后形成改性部分（47）一侧的侧壁，并且在金属膜（53）上形成金属层（57）之后，形成公共偏压端子（59）和第二和第三槽（61,63 ）形成在改性剂的表面上。
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公开(公告)号：KR1019970008356A
公开(公告)日：1997-02-24
申请号：KR1019950023347
申请日：1995-07-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H01L21/28
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀 주위를 평탄화시키기 위한 콘택홀 배선 방법을 개시한다. 본 발명은 구동 기판상에 형성된 제1절연층을 패터닝시켜서 콘택홀을 형성시키고 상기 제1절연층상에 제1도전층 및 제2절연층을 순차적으로 형성시키는 제1단계와, 상기 제2절연층을 패터닝시켜서 상기 콘택홀 주위의 상기 제1도전층을 노출시키는 제2단계와, 상기 제2절연층상에 도전체를 적층시켜서 제2도전층을 형성시킨 후 상기 제2도전층의 일부를 절단시키는 제3단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치의 콘택홀 배선 방법에 의해 달성되며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상시킬 수 있다.
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